技术特征:
技术总结
本发明涉及一种p‑GaN基增强型HEMT器件,包括:衬底;在所述衬底上的过渡层;在所述过渡层上的沟道层;在所述沟道层上的势垒层;在所述势垒层上的p‑GaN层;以及,在所述势垒层和所述p‑GaN层上的源极、漏极、栅极和介质层;所述势垒层包括势垒层A和势垒层B,所述势垒层A与所述势垒层B交替层叠;所述势垒层A的禁带宽度大于所述势垒层B的禁带宽度。在势垒层较厚的情况下,获得了较大正值的阈值电压,提高了HEMT器件的工作效率。
技术研发人员:金峻渊;魏进
受保护的技术使用者:英诺赛科(珠海)科技有限公司
技术研发日:2018.03.16
技术公布日:2018.09.07