技术特征：
技术总结
本发明的目的在于提供一种不使构造复杂化、就能够防止气体的扩散、进行高效的基板处理的基板保持件和使用了该基板保持件的基板处理装置。一种基板保持件，其具有：顶板；底板；以及多根支柱，其以端部与该顶板的外缘部和该底板的外缘部连结的方式设置，该基板保持件能够将基板保持成多层，在该基板保持件中，所述顶板和所述支柱的与所述顶板连结的部分中的位于最外侧的部分形成得比所述底板和所述支柱的与所述底板连结的部分中的位于最外侧的部分小。
技术研发人员：大冈雄一;吉冈伸高
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2018.06.19
技术公布日：2019.01.04