量子级联激光器的制作方法

文档序号:16478396发布日期:2019-01-02 23:50阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及量子级联激光器。一种量子级联激光器,包括:衬底,所述衬底包括衬底端面;半导体层叠体,所述半导体层叠体具有在轴向方向上延伸的层叠体端面和芯;第一电极,所述第一电极被设置在半导体层叠体上;第二电极,所述第二电极被设置在衬底的背表面上;绝缘膜,所述绝缘膜被设置在层叠体端面和第一电极上;以及第一金属膜,所述第一金属膜被设置在层叠体端面、绝缘膜和第一电极上,绝缘膜位于第一金属膜与半导体层叠体之间。衬底端面和层叠体端面沿着与轴向方向交叉的参考平面延伸。衬底端面具有布置在从衬底的背表面到主表面的方向上的第一区和第二区,并且第一金属膜具有在第二区上的端部。

技术研发人员:桥本顺一
受保护的技术使用者:住友电气工业株式会社
技术研发日:2018.06.20
技术公布日:2019.01.01
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