激光振荡器的制作方法

文档序号:17477916发布日期:2019-04-20 06:14阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供一种相比于现有技术能够进行用于在保持经济性的同时使发光元件保持更长的寿命的结露应对的激光振荡器。激光振荡器具备:激光产生部;热交换器;冷却水旁通回路;冷却水回路,与激光产生部、热交换器及冷却水旁通回路连接;壳体,收纳激光产生部、热交换器、冷却水旁通回路和冷却水回路;冷却水循环部,利用冷却水回路使冷却水循环到激光产生部、热交换器和冷却水旁通回路;第一阀,调整向激光产生部供给的冷却水的流量;第二阀,调整向热交换器供给的冷却水的流量;第三阀,调整向冷却水旁通回路供给的冷却水的流量;露点测定部,测定壳体内部的露点;水温测定部,测定冷却水的水温;控制部,基于露点和水温来控制第一阀、第二阀和第三阀。

技术研发人员:前田道德
受保护的技术使用者:发那科株式会社
技术研发日:2018.10.08
技术公布日:2019.04.19
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