反应腔室内衬及反应腔室的制作方法

技术总结
一种反应腔室内衬和反应腔室，反应腔室内衬包括第一内衬体、第二内衬体和调节连接件，调节连接件用于沿第一内衬体和第二内衬体的高度方向连接第一内衬体和第二内衬体，并调节第一内衬体和所述第二内衬体之间的距离。该反应腔室内衬采用分体式结构，使得相同规格的内衬体可适用于不同配置机台、不同工艺的反应腔体，且便于拆卸。

技术研发人员：罗大龙
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2018.01.24
技术公布日：2018.09.04