一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构的制作方法

本实用新型涉及半导体湿式制程设备技术领域，尤其涉及一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构。

背景技术：

现有的半导体湿式制程机台在制程当中，由于工件制程后，工件会因静电关系将环境当中的微尘粒子落尘吸附到表面，不但会造成制程上缺陷，而且会进一步影响后续产品的质量。

技术实现要素：

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供了一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，通过在壳体的右侧设置离子风刀，可以有效清除加工元件表面因静电而附着的微尘粒子，避免了后续制程上的缺陷，保证了产品的质量，通过电机带动螺纹杆转动，从而带动安装板和离子风刀上升和下降，实现对离子风刀高度的调整，便于满足不同工作环境中的高度需求。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，包括壳体和用于传送加工元件的传动机构，所述壳体的右壁中部开设有出料口，所述传动机构设置在壳体的内侧，所述传动机构的右端穿过出料口并延伸至壳体右侧，所述壳体的右壁上端固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有电机，所述电机的输出轴端固定连接有螺纹杆，所述支撑板的两侧均开设有通孔，所述通孔内设有滑杆，所述滑杆的上端固定连接有限位板，所述滑杆的下端固定连接有安装板，所述安装板的上表面开设有螺纹孔，所述安装板的右侧固定连接有连接杆，所述连接杆的右侧固定安装有离子风刀。

进一步地，所述螺纹孔贯穿安装板的上表面和底面。

进一步地，所述螺纹孔与螺纹杆螺纹配合。

进一步地，所述离子风刀的风口朝向垂直于传动机构的上表面。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过在壳体的右侧设置离子风刀，可以有效清除加工元件表面因静电而附着的微尘粒子，避免了后续制程上的缺陷，保证了产品的质量；通过电机带动螺纹杆转动，从而带动安装板和离子风刀上升和下降，实现对离子风刀高度的调整，便于满足不同工作环境中的高度需求。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构的结构正视图；

图2是本实用新型一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构的结构侧视图；

图3是本实用新型一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构中安装板和滑杆的立体结构图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，包括壳体1和用于传送加工元件2的传动机构3，所述壳体1的右壁中部开设有出料口4，所述传动机构3设置在壳体1的内侧，所述传动机构3的右端穿过出料口4并延伸至壳体1右侧，所述壳体1的右壁上端固定连接有支撑板5，所述支撑板5的上表面固定安装有电机6，所述电机6的输出轴端固定连接有螺纹杆7，所述支撑板5的两侧均开设有通孔8，所述通孔8内设有滑杆9，使滑杆9只能在通孔8内沿竖直方向上下滑动，保证了安装板11的稳定，所述滑杆9的上端固定连接有限位板10，防止滑杆9向下滑动过程中脱离通孔8，所述滑杆9的下端固定连接有安装板11，所述安装板11的上表面开设有螺纹孔12，所述安装板11的右侧固定连接有连接杆13，所述连接杆13的右侧固定安装有离子风刀14。

其中，所述螺纹孔12贯穿安装板11的上表面和底面，所述螺纹孔12与螺纹杆7螺纹配合，通过螺纹杆7的正向和反向旋转实现开设有螺纹孔12的安装板11的上升和下降，所述离子风刀14的风口朝向垂直于传动机构3的上表面。

本实用新型的工作原理及方式：

启动电机6带动螺纹杆7正向或反向转动，由于螺纹杆7与螺纹孔12螺纹配合，故带动安装板11上升和下降，安装板11通过连接杆13带动离子风刀14上升和下降，实现对离子风刀14高度的调整；

传动机构传送加工元件2穿过出料口4，当加工元件2经过离子风刀14正下方时，离子风刀14出风口吹出带有负离子的风，对加工元件2表面因静电而附着的微尘粒子进行中和并将其吹除。

本实用新型通过在壳体的右侧设置离子风刀，可以有效清除加工元件表面因静电而附着的微尘粒子，避免了后续制程上的缺陷，保证了产品的质量；通过电机带动螺纹杆转动，从而带动安装板和离子风刀上升和下降，实现对离子风刀高度的调整，便于满足不同工作环境中的高度需求。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。