双氧化层PERC电池的制作方法

文档序号:17878615发布日期:2019-06-13 10:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种双氧化层PERC电池,包括单晶硅本体,其特征在于:所述的单晶硅本体的绒面金字塔的表面具有复合氧化层;所述的复合氧化层包括先与绒面金字塔的塔尖以及棱角处反应的湿氧氧化层和后用于碱抛光时起掩膜作用的干氧氧化层;所述的湿氧氧化层设置于干氧氧化层的内侧。

2.如权利要求1所述的双氧化层PERC电池,其特征在于:所述的干氧氧化层是由干氧制备的致密氧化层;所述的干氧氧化层的厚度为20~30nm。

3.如权利要求1所述的双氧化层PERC电池,其特征在于:所述的湿氧氧化层是由湿氧制备的疏松氧化层;所述的湿氧氧化层的厚度为200~300nm。

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