技术总结
晶圆的计数装置，包括计数单元、滚动单元和辅助单元，所述计数单元包括定位块和光电传感器，所述定位块上设置若干个隔块，于所述隔块的同一侧设置光电传感器，所述光电传感器包括发射端和接收端，发射端和接收端交替设置，光电传感器外接计数线路板，在定位块两侧方向上分别设置同所述定位块平行的滚动单元和辅助单元，所述滚动单元包括滚动轴和隔板结构，所述滚动轴上均匀设置若干个所述隔板结构，所述的辅助单元对晶圆提供一个辅助支撑作用，包括设置有若干个凹槽的支撑轴。该装置结构简单易自动化操作，可以很好的配合装载晶圆的花篮进行计数，有效弥补晶圆计数装置的缺失，降低人工成本的同时提高生产效率。
技术研发人员：钱勇;张志峰
受保护的技术使用者：上海精典电子有限公司
技术研发日：2018.11.12
技术公布日：2019.06.04