晶圆的计数装置的制作方法

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及对花篮中的晶圆进行计数的装置。

背景技术：

在集成电路制造过程中，晶圆在各个不同设备中进行流转，对于晶圆只是进行简单的传送，例如在晶圆的送片系统中，只是负责对晶圆进行简单传送，对于晶圆的送入和取出数量都没有自动统计装置，需要进行人工统计，极大的增加了统计成本，降低了制造效率。

因此，针对以上缺陷，需要对现有技术进行有效创新。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种晶圆的计数装置，该装置结构简单易自动化操作，可以很好的配合装载晶圆的花篮进行计数，有效弥补晶圆计数装置的缺失，降低人工成本的同时提高生产效率。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

晶圆的计数装置，包括计数单元、滚动单元和辅助单元，所述计数单元包括定位块和光电传感器，所述定位块上设置若干个隔块，于所述隔块的同一侧设置光电传感器，当晶圆插入隔块间时，便于光电传感器对晶圆进行计数，所述光电传感器包括发射端和接收端，发射端和接收端交替设置，光电传感器外接计数线路板，晶圆处于光电传感器的发射端和接收端之间,阻挡了光电传感器发射端发出的光线，由此实现晶圆的计数，在定位块两侧方向上分别设置同所述定位块平行的滚动单元和辅助单元，所述滚动单元包括滚动轴和隔板结构，所述滚动轴上均匀设置若干个所述隔板结构，通过滚动轴的滚动带动晶圆的旋转，直至晶圆上的缺口或平边旋转到同一方向，保证了晶圆放置的统一性，所述的辅助单元对晶圆提供一个辅助支撑作用，包括设置有若干个凹槽的支撑轴；

相应的，隔块的间隔同装载晶圆的花篮侧壁上的竖形插槽对应设置，保证花篮内的晶圆可以对应插入隔块形成的间隔中；

相应的，隔板结构和凹槽均同隔块对应设置，隔板结构所形成的间隔和凹槽均同对应的隔块间形成的间隔处于同一条直线上，保证对应设置的隔块、隔板结构和凹槽共同作用于一个晶圆上；

相应的，所述光电传感器设置有两列，每列所述光电传感器同所述定位块平行排列，从其中一列光电传感器的第二个光电传感器开始设置另一列光电传感器；

相应的，所述发射端和接收端各设置25个，一个发射端对应一个接收端，适用于6吋的花篮；

相应的，滚动轴表面涂覆乳胶，增加滚动轴同晶圆间的摩擦力，便于滚动轴带动晶圆的旋转；

相应的，计数装置还包括对接底座，对接底座同定位块平行设置，用于同装载晶圆的花篮实现对接定位；

相应的，计数装置还包括压块，压块同定位块垂直设置；

相应的，压块底下设置导轨，导轨的导向同定位块平行，压块在导轨上移动以便对花篮进行夹紧定位。

本实用新型的有益效果为：

其一，计数单元可以自动对装载于花篮中的晶圆进行计数，降低了人工计数成本，提高了计数的效率及准确率；

其二，滚动轴带动花篮中的晶圆旋转，将晶圆中的缺口或平边统一旋转到同一个方向，实现对晶圆位置调整，这种晶圆位置的统一会有助于提高工艺重复性，减少处理后同批晶圆片之间的差异。

附图说明

图1是本实用新型一实施例所述的计数装置的立体结构示意图；

图2是本实用新型一实施例所述的计数装置的俯视结构示意图；

图3是计数单元、滚动单元和辅助单元处的结构放大图；

图4是计数单元的剖面结构示意图；

图中：

100、计数单元；200、滚动单元；300、辅助单元；

1、定位块；2、隔块；3、光带传感器；31、发射端；32、接收端；4、计数线路板；5、晶圆；6、滚动轴；7、隔板结构；8、凹槽；9、对接底座；10、压块。

具体实施方式

如图1-4所示，在本实用新型的一个实施例中，晶圆的计数装置包括计数单元100、滚动单元200和辅助单元300，计数单元100包括定位块1和光电传感器3，定位块1上设置若干个隔块2，隔块2的间隔同装载晶圆5的花篮侧壁上的竖形插槽对应设置，保证花篮内的晶圆5可以对应插入隔块2形成的间隔中，于隔块2的同一侧设置光电传感器3，当晶圆5插入隔块2间时，便于光电传感器3对晶圆5进行计数，光电传感器3包括发射端31和接收端32，发射端31和接收端32交替设置，光电传感器3设置有两列，每列光电传感器3同定位块1平行排列，从其中一列光电传感器3的第二个光电传感器3开始设置另一列光电传感器3，在本实施例中，光电传感器3设置25个，其中发射端31和接收端32各设置25个，一个发射端31对应一个接收端32，光电传感器3的信号数为25，用于6吋晶圆5的计数，光电传感器3外接计数线路板4，晶圆5处于光电传感器3的发射端31和接收端32之间,阻挡了光电传感器3发出的光线，由此实现晶圆5的计数，在定位块1两侧方向上分别设置同定位块1平行的滚动单元200和辅助单元300，滚动单元200包括滚动轴6和隔板结构7，滚动轴6上均匀设置若干个隔板结构7，还可以在滚动轴6表面涂覆乳胶，增加滚动轴6同晶圆5间的摩擦力，便于滚动轴6带动晶圆5的旋转，保证晶圆5上的缺口或平边旋转到同一方向，例如旋转至滚动轴6后停止该晶圆5的旋转，保证了晶圆5放置的统一性，辅助单元300对晶圆5提供一个辅助支撑作用，包括设置有若干个凹槽8的支撑轴，隔板结构7和凹槽8均同隔块2对应设置，隔板结构7所形成的间隔和凹槽8均同对应的隔块2间形成的间隔处于同一条直线上，保证对应设置的隔块2、隔板结构7和凹槽8共同作用于一个晶圆5上；

计数装置还包括对接底座10和压块9，对接底座10同定位块9平行设置，用于同装载晶圆5的花篮实现对接定位，压块9同定位块1垂直设置，压块9底下设置导轨，导轨的导向同定位块1平行，压块9在导轨上移动以便对花篮进行夹紧定位。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。