技术总结
本实用新型公开了一种RTA退火托盘，涉及半导体发光二极管芯片制造技术领域，包括托盘本体，所述托盘本体的上表面外侧边安装有第一加强筋，且托盘本体的上表面位于第一加强筋的内侧位置处安装有用于放置样品的托盘槽体，所述托盘本体的上表面靠近托盘槽体的一侧位置处安装有第二加强筋。本实用新型设计的一种RTA退火托盘，在实际使用时，主要用于四元系AlGaInP LED芯片的退火工艺，可以保证退火温场的均匀性，从而获得电压均匀的LED芯片，解决传统托盘温场不均导致芯片边缘或者外围电压异常的现象，极大提升了产品光电性能和良率，而且在RTA退火托盘的外侧和上表面均加装有加强筋，可以进一步增强托盘本体的牢固性，提高其使用寿命。
技术研发人员：白继锋;赵敏博;陈杏;王向武;张银桥;汪洋
受保护的技术使用者：南昌凯迅光电有限公司
技术研发日：2018.11.13
技术公布日：2019.06.25