一种石英晶舟的制作方法

文档序号:17948370发布日期:2019-06-18 23:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石英晶舟,包括两个侧框架(2)及连接于两个所述侧框架(2)之间的两个侧柱(4)及底柱(3),所述侧柱(4)位于所述底柱(3)的外侧上方且平行于所述底柱(3),其特征在于,所述底柱(3)上间隔设置有若干底槽(31),相邻两个所述底槽(31)之间的距离沿所述底柱(3)的延伸方向逐渐增大,两个所述侧柱(4)相对的一侧设置有与所述底槽(31)间距对应的侧槽(41)。

2.根据权利要求1所述的石英晶舟,其特征在于,相邻两个所述底槽(31)之间的距离沿所述底柱(3)的延伸方向等差增大。

3.根据权利要求2所述的石英晶舟,其特征在于,每个所述底槽(31)与其相邻的两个所述底槽(31)之间的距离的差值为0.15~0.25mm。

4.根据权利要求1所述的石英晶舟,其特征在于,相邻的所述底槽(31)之间的距离沿所述底柱(3)的延伸方向等比增大。

5.根据权利要求4所述的石英晶舟,其特征在于,每个所述底槽(31)距下一个所述底槽(31)的距离为其距上一个所述底槽(31)的距离的1.01~1.027倍。

6.根据权利要求1所述的石英晶舟,其特征在于,所述底槽(31)的数量为200~500个。

7.根据权利要求1所述的石英晶舟,其特征在于,所述侧槽(41)在竖直方向上相对其对应的所述底槽(31)偏移一定距离。

8.根据权利要求7所述的石英晶舟,其特征在于,所述侧槽(41)与所述底槽(31)之间的连线在竖直方向上的倾斜角度为75°~85°。

9.根据权利要求7所述的石英晶舟,其特征在于,所述底槽(31)的槽口朝向所述底柱(3)的延伸方向倾斜。

10.根据权利要求1所述的石英晶舟,其特征在于,所述侧框架(2)为一矩形框架,两根所述侧柱(4)连接于所述矩形框架的侧杆(21)上,所述底柱(3)连接于所述矩形框架的底杆(22)上。

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