一种石英晶舟的制作方法

文档序号:17948370发布日期:2019-06-18 23:50阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于太阳能电池片制备技术领域,公开了一种石英晶舟。该石英晶舟包括两个侧框架及连接于两个所述侧框架之间的两个侧柱及底柱,所述侧柱位于所述底柱的外侧上方且平行于所述底柱,所述底柱上间隔设置有若干底槽,相邻两个所述底槽之间的距离沿所述底柱的延伸方向逐渐增大,两个所述侧柱相对的一侧设置有与所述底槽间距对应的侧槽。在扩散时,底槽较密集的一端置于进气的炉尾处,随着炉管内气体沿炉尾向炉口的方向浓度降低,底槽之间的距离逐渐增大,从而提高气体浓度较低处硅片所能够接触的气体量,最终提高石英晶舟上不同硅片之间的方阻的均匀性,提高生产质量,减少返工成本。

技术研发人员:吴华德;熊光涌
受保护的技术使用者:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
技术研发日:2018.11.27
技术公布日:2019.06.18

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