1.一种具有(20-2-1)面的半极性氮化镓的外延层，包括：第一半极性氮化镓外延层以及第二半极性氮化镓外延层，其中
第一半极性氮化镓外延层生长于图案化蓝宝石衬底上，而第二半极性氮化镓外延层采用氢化物气相外延(HVPE)方法生长在第一半极性氮化镓外延层的背向图案化蓝宝石衬底的表面上，第一半极性氮化镓外延层以及第二半极性氮化镓外延层背向图案化蓝宝石衬底的一面都具有(20-2-1)取向；以及
第一半极性氮化镓外延层的面向图案化蓝宝石衬底的通过化学-机械抛光法(CMP)进行平坦化处理的表面具有(20-2-1)取向。
2.根据权利要求1所述的具有(20-2-1)面的半极性氮化镓的外延层，其中第二半极性氮化镓外延层不小于0.5mm。