基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质与流程

本发明涉及一种用于恰当地搬送收纳基板的盒的基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质。

背景技术：

在进行半导体晶圆等基板的处理的处理系统中，通过使用被称作前开式晶圆传送盒(foup：frontopeningpod)的高机密性的盒，能够使基板搬送时的机密保持性和安全性提高。在该前开式晶圆传送盒的盒主体设置有用于使基板出入的开口部，在该开口部可装卸地装设能够利用闩锁机构上锁的盖(例如参照专利文献1)。

在上述处理系统中，开口部被盖封闭的状态的盒被载置于载置台，利用具有钥匙的盖装卸机构来将盒的盖解锁以开放开口部。然后，在开口部开放的状态下，从盒内取出基板，进行基板的处理。将处理后的基板再次收纳于盒内，之后，通过盖装卸机构来利用盖再次封闭盒的开口部并上锁。经过这一系列的处理而密闭的盒在收纳有处理后的基板的状态下被从载置台搬出。

在上述的处理系统中，在盖相对于收纳基板的盒主体没有恰当地装设以及上锁的情况下，存在在之后搬送盒时基板飞出至盒外而落下的担忧。

由于各种原因导致盖相对于盒主体没有恰当地装设和上锁。例如，有时应该在封闭盒主体的开口部的位置上锁并与盖装卸机构分离的盖由于设置于盒的上锁机构等的故障而不与盖装卸机构分离，而是与盖装卸机构一同移动至退避位置。在该情况下，本来应该由盖封闭的盒主体的开口部成为开放的状态，因此有可能导致在之后搬送盒时基板飞出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-358197号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

本发明是鉴于上述的情况而完成的，其目的在于提供一种能够确认在用于收纳基板的盒中是否恰当地装设有盖的基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质。

用于解决问题的方案

本发明的一个方式涉及一种基板收纳处理装置，其具备：载置部，其用于配置盒，所述盒用于收纳基板，并且所述盒具有开口部和以相对于该开口部可装卸的方式装设于该开口部的盖；盖装卸机构，其进行盖相对于被配置在载置部的盒的开口部的装卸，所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在开口部的位置的盖接触的装设位置和不与被配置在开口部的位置的盖接触的退避位置之间移动；盖保持传感器部，其用于探测是否由盖装卸机构保持着盖；以及控制部，其基于盖保持传感器部的探测结果来判定有无与盖的装卸有关的异常。

本发明的其它方式涉及一种基板收纳处理方法，在基板收纳处理装置中判定有无与盖的装卸有关的异常，所述基板收纳处理装置具备：载置部，其用于配置盒，所述盒用于收纳基板，并且所述盒具有开口部和以相对于该开口部可装卸的方式装设于该开口部的盖；以及盖装卸机构，其进行盖相对于被配置在载置部的盒的开口部的装卸，所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在开口部的位置的盖接触的装设位置和不与被配置在开口部的位置的盖接触的退避位置之间移动，所述基板收纳处理方法包括以下的工序：利用盖保持传感器部探测是否由盖装卸机构保持着盖；以及基于盖保持传感器部的探测结果来判定有无与盖的装卸有关的异常。

本发明的其它方式涉及一种计算机可读取的记录介质，所述记录介质记录有用于执行上述的基板收纳处理方法的程序，所述程序用于使计算机执行以下的过程：利用盖保持传感器部探测是否由盖装卸机构保持着盖；以及基于盖保持传感器部的探测结果来判定有无与盖的装卸有关的异常。

发明的效果

根据本发明，能够确认在用于收纳基板的盒中是否恰当地装设有盖。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的处理系统的一例的概要俯视图。

图2是表示图1的处理系统所具备的基板收纳处理装置的主要部分的概要结构图。

图3是表示盒的开口部没有被盖关闭的状态的截面图。

图4是表示盒的开口部被盖关闭的状态的截面图。

图5是盒的概要立体图。

图6是盖装卸机构的概要立体图。

图7a是简略地表示盖装卸异常判定中的正常状态的盒和盖装卸机构的截面图，表示盖装卸机构配置于装设位置的状态。

图7b是简略地表示盖装卸异常判定中的正常状态的盒和盖装卸机构的截面图，表示盖装卸机构配置于退避位置的状态。

图8a是简略地表示盖装卸异常判定中的异常状态的盒和盖装卸机构的截面图，表示盖装卸机构配置于装设位置的状态。

图8b是简略地表示盖装卸异常判定中的异常状态的盒和盖装卸机构的截面图，表示盖装卸机构配置于退避位置的状态。

图9a是表示第一实施方式所涉及的基板收纳处理方法的流程图。

图9b是表示第一实施方式所涉及的基板收纳处理方法的流程图。

图10是第一实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。

图11a是表示在正常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置于退避位置的状态。

图11b是表示在正常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置在退避位置与装设位置之间的状态。

图11c是表示在正常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置于装设位置的状态。

图12a是表示在异常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置于退避位置的状态。

图12b是表示在异常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置在退避位置与装设位置之间的状态。

图12c是表示在异常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置于装设位置的状态。

图13是第二实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。

图14是第三实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。

图15是简略地表示第四实施方式所涉及的盒和盖装卸机构的截面图。

图16是简略地表示第五实施方式所涉及的盒和盖装卸机构的截面图。

图17a是简略地表示第六实施方式所涉及的盒和盖装卸机构的截面图，表示正常状态。

图17b是简略地表示第六实施方式所涉及的盒和盖装卸机构的截面图，表示异常状态。

具体实施方式

下面参照附图来说明本发明的实施方式。

本发明能够应用于能够相对于用于收纳基板的盒的开口部可装卸地装设盖的所有系统。在以下的实施方式中例示性地说明对进行以下处理的处理系统应用本发明的情况，该处理系统进行收纳处理前的多个基板的盒的搬入、对从盒取出来的基板的处理、处理后的基板相对于盒的重新收纳、以及收纳处理后的多个基板的盒的搬出。

图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的处理系统的一例的概要俯视图。图2是表示图1的处理系统所具备的基板收纳处理装置100的主要部分的概要结构图。

图1所示的处理系统具备用于配置收纳多张(例如25张)半导体晶圆w(以下称作晶圆w)的盒10的盒交接站1、以及对从盒交接站1取出来的晶圆w实施处理的处理单元2。

图1所示的处理单元2包括实施抗蚀剂涂布和显影处理等处理的第一处理部2a、在晶圆w的表面形成有透过光的液层的状态下使晶圆w的表面浸液曝光的第二处理部2b、以及在第一处理部2a与第二处理部2b之间进行晶圆w的交接的接口部2c。但是，不对处理单元2的具体的结构进行限定，处理单元2能够对晶圆w实施任意的处理。

盒交接站1具有载置部11、分隔壁13和基板搬送机构20。

在载置部11中设置多个(例如四个)盒载置台12，盒10被载于各盒载置台12。配置于盒载置台12上的盒10被未图示的夹持机构可装卸地夹持。分隔壁13用于划分出载置部11和基板搬送机构20的配置部6，并且所述分隔壁13具有比盒10的开口部10b大的开口13a。设置有与盒载置台12相同数量的开口13a，所述开口13a被设置在与配置于对接(日文：ドック)位置的盒载置台12上的盒10的开口部10b对应的位置。基板搬送机构20从配置于盒载置台12上的盒10搬出晶圆w，并且将结束了处理的晶圆w搬入配置于盒载置台12上的盒10。晶圆w相对于盒10的搬出和搬入经由形成于盒10的开口部10b和形成于分隔壁13的开口13a来进行。

盒载置台12具有可动基部12c，所述可动基部12c设置为沿着铺设于载置部11的在y轴方向上延伸的导轨11a滑动自如，所述盒载置台12设置为能够通过与可动基部12c连结的移动机构14来沿y轴方向移动。各盒载置台12能够使盒10在与分隔壁13抵接的对接位置和从分隔壁13后退的非对接位置之间沿着导轨11a进退移动。

如图2所示，在盒载置台12的上表面中央设置有定位销12a，在定位销12a的附近配置有传感器12b。当将盒10载置于盒载置台12上时，定位销12a与盒10的底部的凹部(未图示)嵌合以定位盒10。当盒10载置于盒载置台12时，传感器12b探测到盒10，将该探测信号发送至控制部60。

图3是表示盒10的开口部10b没有被盖10c关闭的状态的截面图。图4是表示盒10的开口部10b被盖10c关闭的状态的截面图。图5是盒10的概要立体图。

盒10具备能够收纳多张(例如25张)晶圆w的盒主体10a、在进行晶圆w相对于盒主体10a的搬入和搬出时使晶圆w通过的开口部10b、以及可装卸地装设于开口部10b的盖10c。在盖10c的表面部的左右两个部位设置有钥匙孔部10d。在盖10c的上下端部的左右两个部位(共四个部位)以可突出退回的方式设置有闩锁10f。通过这些闩锁10f与设置于盒主体10a的开口部10b的内侧面(尤其上下表面)的左右两个部位(共四个部位)的卡定孔10e嵌合来进行盖10c的上锁。

即，钥匙部31卡合于钥匙孔部10d，通过与钥匙孔部10d卡合的钥匙部31来将闩锁10f配置在上锁位置和解锁位置。更具体地说，当与钥匙孔部10d卡合的钥匙部31转动90度时，位于盖10c的内方的闩锁10f同时向上下突出，闩锁10f与卡定孔10e嵌合。因而，在从开口部10b拆卸下来的盖10c(参照图3)中，闩锁10f基本上位于盖10c的内方侧。另一方面，在将盖10c安装于开口部10b(参照图4)并使钥匙部31与钥匙孔部10d卡合的状态下，当钥匙部31转动90度时，闩锁10f向盖10c的上下方向突出而与卡定孔10e嵌合，盖10c相对于开口部10b被上锁。

接着对盖装卸机构30进行说明，所述盖装卸机构30进行盖10c相对于在载置部11的盒载置台12配置的盒10的开口部10b的装卸。

图6是盖装卸机构30的概要立体图。在从开口部10b拆卸下盖10c的情况下，盖装卸机构30通过与钥匙孔部10d卡合的钥匙部31而将闩锁10f配置在解锁位置，利用吸附保持部32保持盖10c。另一方面，在对开口部10b安装盖10c的情况下，盖装卸机构30在将盖10c配置在开口部10b的位置的状态下，通过与钥匙孔部10d卡合的钥匙部31来将闩锁10f配置在上锁位置。

更具体地说，盖装卸机构30如图2和图6所示那样具备闸板33。在闸板33的表面部的左右两个部位突出地设置钥匙部31，并且在两个部位设置有垫片状的吸附保持部32。闸板33被支承构件35支承，支承构件35设置为能够通过升降机构34(参照图2)升降。另外，闸板33通过y轴驱动机构37(参照图2)经由直线导轨36而在盖10c的安装和拆卸方向(即y轴方向)上移动。具体地说，盖装卸机构30设置为能够在与被配置在开口部10b的位置的盖10c接触的装设位置和不与配置在开口部10b的位置的盖10c接触的退避位置之间移动。

吸附保持部32为用于吸附保持盖10c的保持单元。吸附保持部32如图2所示那样经由配管32a来与产生用于吸附的负压的负压单元即真空泵32b连接，能够通过吸引来保持盖10c。在配管32a设置有测量吸附保持部32的吸引压的压力传感器32c，压力传感器32c的测量结果被发送至控制部60。像这样，压力传感器32c作为测量吸附保持部32保持盖10c时作用于该盖10c的吸引压的吸引压传感器来发挥功能。

另外，如图2所示，在盖装卸机构30设置有关闭传感器38a和打开传感器38b。关闭传感器38a设置于在由吸附保持部32吸附保持的盖10c被配置在盒10的开口部10b的位置的状态下能够探测到盖装卸机构30的位置。打开传感器38b设置于不探测被配置在装设位置的盖装卸机构30但能够探测配置于退避位置的盖装卸机构30的位置。将关闭传感器38a和打开传感器38b的探测信号发送至控制部60。

另外，如图2所示，在分隔壁13的开口13a的上下缘设置有异常检测传感器39a、39b。异常检测传感器39a、39b不仅能够探测从盒10突出的状态的晶圆w，也能够探测从开口部10b突出的盖10c，从而探测晶圆w和盖10c是否被恰当地配置。例如，当在开口部10b被盖10c覆盖的状态下使盖装卸机构30后退至打开传感器38b能够探测到该盖装卸机构30的情况下，有时盖10c倾斜而使开口部10b成为半开的状态。在该情况下，通过由异常检测传感器39a、39b探测到倾斜的盖10c，能够检测出盖10c处于异常状态。像这样，能够根据异常检测传感器39a、39b的探测结果来确认盖10c是否被恰当地配置。此外，异常检测传感器39a、39b的探测信号被发送至控制部60。

上述的移动机构14、钥匙部31的上锁操作和解锁操作、升降机构34、y轴驱动机构37以及真空泵32b被控制部60进行驱动控制。

控制部60除了运算部61以外，还包括读取部63、存储部64、以及保存用于执行各处理工序的程序和数据的控制程序保存部62。另外，控制部60包括用于通知基于各种传感器的探测信号的异常状态的显示部67、以及插入安装于读取部63中并且存储有使控制部60执行控制程序的软件的计算机可读取的记录介质68。控制部60与输入部65和用于显示处理工序画面的监视器部66连接。具有上述的结构的控制部60基于控制程序将控制信号输出到上述各部。

此外，运算部61能够通过硬件和软件的组合来实现。例如，能够使用通用计算机作为硬件，使用用于使该通用计算机动作的程序来作为软件。软件可以保存在能够由硬件读取的任意的记录介质68(即非暂时性的计算机可读取的记录介质)中。即，软件可以保存于固定地设置在计算机中的硬盘等记录介质68中，或者软件可以保存于光盘、快闪存储器、软盘或存储卡等可装卸地安装于计算机的记录介质68中。记录介质68中保存的控制程序被安装于控制部60来被使用。因而，可以在记录介质68中记录用于使计算机执行在以下说明的基板收纳处理方法中进行的各过程的程序。

<基板收纳处理装置和基板收纳处理方法>

在具有上述的结构的处理系统中设置有具备盖保持传感器部和异常判定部的基板收纳处理装置100。盖保持传感器部能够由各种传感器构成，直接或间接地探测是否由盖装卸机构30保持着盖10c。异常判定部由控制部60构成，基于盖保持传感器部的探测结果进行有无与盖10c的装卸有关的异常的判定(即盖装卸异常判定)。下面对这样的基板收纳处理装置100的代表性的实施方式进行说明。

[第一实施方式]

在本实施方式中，压力传感器32c作为盖保持传感器部工作。即，控制部60(即异常判定部)基于压力传感器32c的测量结果来进行与盖10c的装卸有关的盖装卸异常判定。

图7a和图7b是简略地表示盖装卸异常判定中的正常状态的盒10和盖装卸机构30的截面图，图7a表示盖装卸机构30配置于装设位置的状态，图7b表示盖装卸机构30配置于退避位置的状态。图8a和图8b是简略地表示盖装卸异常判定中的异常状态的盒10和盖装卸机构30的截面图，图8a表示盖装卸机构30配置于装设位置的状态，图8b表示盖装卸机构30配置于退避位置的状态。

在盒10和盖装卸机构30正常地动作的情况下，在通过钥匙部31将闩锁10f配置于上锁位置后，当盖装卸机构30从装设位置(参照图7a)移动至退避位置(参照图7b)时，在盖10c被装设于开口部10b的状态下，仅有盖装卸机构30移动至退避位置。即，配置于退避位置的盖装卸机构30不保持盖10c。

另一方面，在盒10和/或盖装卸机构30的动作存在异常的情况下，有时即使钥匙部31进行用于使闩锁10f配置于上锁位置的上锁动作，实际上闩锁10f也没有配置于上锁位置，盖10c未恰当地安装于开口部10b。在该情况下，当盖装卸机构30从装设位置(参照图8a)移动至退避位置(参照图8b)时，有时盖10c与盖装卸机构30一同移动至退避位置。即，盖装卸机构30在保持着盖10c的状态下从装设位置移动至退避位置，与盖10c一同配置于退避位置。

由控制部60进行的上述的盖装卸异常判定是用于检测图8a和图8b所示的异常行为的判定。即，在本来盖10c被装设于开口部10b的状态下应该仅有盖装卸机构30移动至退避位置的情况下，通过检测盖装卸机构30是否与盖10c一同移动至退避位置来判定有无盖装卸异常。

在本实施方式中，在盖装卸机构30配置于退避位置的状态下，真空泵32b工作并利用压力传感器32c进行测量，获取表示由吸附保持部32带来的吸引压的配管32a的压力。然后，控制部60基于根据压力传感器32c的测量结果导出的“配置于退避位置的盖装卸机构30是否保持着盖10c”的估计来进行盖装卸异常判定。

下面对以下的例子进行说明：在进行与上述的盖装卸异常判定不同的第一异常判定(参照图9a的s14)和第二异常判定(参照图9a的s18～s20)的异常判定处理中，一起进行上述的盖装卸异常判定。第一异常判定是在盖10c配置于开口部10b的位置并且闩锁10f配置于上锁位置的状态下使盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置移动后，基于异常检测传感器39a、39b的探测结果进行的有无与盖10c的装卸有关的异常的判定。第二异常判定是在使盖装卸机构30朝向装设位置移动后，在使吸附保持部32执行用于保持盖10c的吸引的状态下基于压力传感器32c的测量结果而进行的有无与盖10c的装卸有关的异常的判定。但是，上述的盖装卸异常判定可以不与第一异常判定和/或第二异常判定一同进行，也可以与第一异常判定和第二异常判定无关地单独地进行。

图9a和图9b为表示第一实施方式所涉及的基板收纳处理方法的流程图。

如上述那样，基于来自控制部60的控制信号，将处理后的晶圆w收纳于配置在对接位置的盒10内，使由盖装卸机构30保持着的盖10c移动至盒10的开口部10b来由盖10c关闭开口部10b，利用闩锁10f将盖10c上锁(图9a的步骤s11)。该状态为如果使盖装卸机构30和/或载置部11后退则能够将钥匙部31从钥匙孔部10d拔出的状态。

接着，使盖装卸机构30从装设位置向退避位置后退(s12)。此时，利用闩锁10f将盖10c上锁，如果钥匙部31与钥匙孔部10d之间没有干涉，则盖装卸机构30在不保持盖10c的状态下移动。

然后，利用打开传感器38b探测盖装卸机构30是否配置于退避位置。在由打开传感器38b探测到被配置于退避位置的盖装卸机构30的情况下(s13的“是”)，处理进入下一个步骤s14。另一方面，在打开传感器38b没有探测到盖装卸机构30的情况下(s13的“否”)，估计为盖装卸机构30没有被配置于退避位置。在该情况下，由控制部60输出错误(盖装卸机构打开错误)的信号(参照图13的“错误输出(a)”)，控制部60的存储部64存储错误信息，处理进入下一个步骤s14。

在步骤s14中，由异常检测传感器39a、39b探测有无盖10c从开口部10b的位置飞出或晶圆w从盒主体10a飞出这样的异常，从而进行收纳晶圆w的盒10是否处于可靠地闭盖的状态的判定(即第一异常判定)(s14)。在异常检测传感器39a、39b什么也没探测到的情况下(s14的“否”)，判定为不存在异常，处理进入下一个步骤s15。另一方面，在异常检测传感器39a、39b探测到物体的情况下(s14的“是”)，判定为盖10c的状态存在异常。在该情况下，由控制部60输出盖装卸机构关闭错误的信号并产生警报(s14-1)，对操作者通知异常。在被通知异常的操作者将晶圆w恰当地收纳于盒主体10a并将盖10c配置于恰当的位置之后，处理进入下一个步骤s15。

在步骤s15中进行盖装卸异常判定。在本实施方式中，如上述那样基于压力传感器32c的测量结果来进行盖装卸异常判定。

图10是第一实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。

在本实施方式的盖装卸异常判定处理中，首先在盖装卸机构30被配置于退避位置的状态下，开始吸附保持部32针对盖10c的吸附处理，真空泵32b工作以使配管32a为负压。在该状态下利用压力传感器32c进行测量，测量结果被发送至控制部60(图10的s15-1)。在压力传感器32c的测量值处于适当的压力范围内的情况下(s15-2为“是”)，控制部60判定为不存在盖装卸异常(s15-3)，在压力传感器32c的测量值没有处于适当的压力范围内的情况下(s15-2为“否”)，控制部60判定为存在盖装卸异常(s15-4)。

此外，此处所说的“适当的压力范围”是指在吸附保持部32没有保持盖10c的情况下所设想的吸附保持部32的吸引压(即配管32a的负压)的范围。在上述的盖装卸异常判定中，考虑为在正常状态下配置于退避位置的盖装卸机构30没有保持盖10c(参照图7b)，在异常状态下配置于退避位置的盖装卸机构30保持着盖10c(参照图8b)。因而，在配管32a处于吸附保持部32能够保持盖10c的程度的负压的状态的情况下，估计为吸附保持部32保持着盖10c，判定为盖装卸机构30和盖10c处于异常状态。另一方面，在配管32a不处于吸附保持部32能够保持盖10c的程度的负压的状态的情况下，估计为吸附保持部32没有保持盖10c，从而判定为盖装卸机构30和盖10c处于正常状态。

在上述的盖装卸异常判定处理中判定为不存在异常的情况下(图9a的s16的“否”)，处理进入下一个步骤s17。另一方面，在上述的盖装卸异常判定处理中判定为存在异常的情况下(s16的“是”)，由控制部60输出错误的信号(参照图9a的“错误输出(b)”)，控制部60的存储部64存储错误信息，处理进入下一个步骤s17。

在步骤s17中，使处于退避位置的盖装卸机构30朝向装设位置移动，使盖装卸机构30前进以使盖装卸机构30的钥匙部31插入盖10c的钥匙孔部10d。然后，利用关闭传感器38a进行盖装卸机构30的探测。在关闭传感器38a探测到盖装卸机构30被配置于装设位置的情况下(s18的“是”)，控制部60估计为钥匙部31正常地与钥匙孔部10d进行了卡合，判定为不存在异常，处理进入下一个步骤s19。另一方面，在关闭传感器38a没有探测到盖装卸机构30被配置于装设位置的情况下(s18的“否”)，控制部60估计为钥匙部31没有恰当地与钥匙孔部10d卡合，判定为存在异常。在该情况下，由控制部60输出错误的信号(参照图9a的“错误输出(c)”)，控制部60的存储部64存储错误信息，处理进入下一个步骤s19。

在步骤s19中，为了由吸附保持部32吸附保持盖10c而开启真空泵32b以使配管32a呈负压，在该状态下，利用压力传感器32c进行测量，测量结果被发送至控制部60。在压力传感器32c的测量值处于适当的压力范围内的情况下(s20的“是”)，控制部60估计为由吸附保持部32恰当地保持着盖10c，判定为不存在与盖10c的装卸有关的异常，处理进入下一个步骤s21(参照图9b)。另一方面，在压力传感器32c的测量值不处于适当的压力范围内的情况下(s20的“否”)，控制部60估计为吸附保持部32没有恰当地保持盖10c，判定为存在与盖10c的装卸有关的异常。在该情况下，由控制部60输出错误的信号(参照图9a的“错误输出(d)”)，控制部60的存储部64存储错误信息，处理进入下一个步骤s21。

此外，此处所说的“适当的压力范围”是指在吸附保持部32保持着盖10c的情况下所设想的吸附保持部32的吸引压(即配管32a的负压)的范围。在该异常判定(即第二异常判定)中，在正常状态下，配置在装设位置的盖装卸机构30相对于配置在开口部10b的位置的盖10c恰当地接触，由盖装卸机构30恰当地吸附保持着盖10c。另一方面，在异常状态下，盖装卸机构30在装设位置没有与盖10c恰当地接触，盖装卸机构30没有恰当地吸附保持盖10c。作为这样的异常状态，能够举出例如钥匙部31没有与钥匙孔部10d恰当地卡合的情况(例如钥匙孔部10d的朝向不恰当的情况、盖装卸机构30倾斜而没有与盖10c恰当地接触的情况等)、盖10c没有配置于开口部10b的情况等。

接着，为了从吸附保持部32的吸附保持状态释放盖10c，停止真空泵32b来解除配管32a的负压。在该状态下，利用压力传感器32c进行测量，该测量的结果被发送至控制部60(s21)。在压力传感器32c的测量值处于适当的压力范围内的情况下(s22的“是”)，控制部60估计为盖10c从吸附保持状态被恰当地释放，判定为不存在异常，处理进入下一个步骤s23。另一方面，在压力传感器32c的测量值没有处于适当的压力范围内的情况下(s22的“否”)，控制部60估计为盖10c没有从吸附保持状态被恰当地释放，判定为存在异常。在该情况下，由控制部60输出错误信号并产生警报(s22-1)，向操作者通知异常。在被通知异常的操作者解除配管32a的负压状态和吸附保持部32对盖10c的吸附保持后，处理进入下一个步骤s23。

在配管32a的负压状态和吸附保持部32对盖10c的吸附保持被解除后，对移动机构14进行驱动来使载置于盒载置台12的盒10后退至非对接位置(s23)。

在将盒10配置于非对接位置后，控制部60判断上述的一系列的确认动作中有无异常。当在上述的一系列的确认动作中不存在异常的情况下(s24的“否”)，由于盖10c将开口部10b恰当地封闭且被上锁，因此盒10被盒载置台12解除夹持，由未图示的盒搬送机构从载置部11搬出盒10(s25)。

另一方面，当在上述的一系列的确认动作中存在异常的情况下(s24的“是”)，为了确认而将盒载置台12上的盒10解除夹持(s26)，控制部60使显示部67显示存储部64中存储的错误信息(s27)。通过该显示，能够确认(a)盖装卸机构打开错误(参照s13的“否”)、(b)盖装卸错误(参照s16的“是”)、(c)盖装卸机构关闭错误(参照s18的“否”)、以及(d)vac开启错误(参照s20的“否”)。

操作者基于错误信息进行盒10的确认和盒10的适当化，将处于恰当的状态的盒10载置于盒载置台12(s28)。之后，解除错误信息的显示(s29)，在盖10c恰当地封闭开口部10b且被上锁的状态下，盒10被盒载置台12解除夹持，通过未图示的盒搬送机构从载置部11搬出盒10(s30)。

如上述那样，在第一异常判定中，当在盖10c被配置于开口部10b的位置的状态下使盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置移动后，控制部60基于异常检测传感器39a、39b的探测结果来判定有无与盖10c的装卸有关的异常。另外，在第二异常判定中，在第一异常判定后且使盖装卸机构30朝向装设位置移动后，控制部60基于在使吸附保持部32执行用于保持盖10c的吸引的状态下进行的压力传感器32c的测量的结果来判定有无与盖的装卸有关的异常。然后，控制部60基于压力传感器32c的测量的结果，根据盖装卸机构30是否保持着盖10c来进行盖装卸异常判定。像这样，通过进行第一异常判定和第二异常判定这样的两次盖装卸异常判定，能够以非常高的可靠性确认在收纳晶圆w的盒10中恰当地装设了盖10c。

此外，在上述的基板收纳处理装置100和基板收纳处理方法中，在盖装卸机构30被配置于退避位置的状态下进行盖装卸异常判定，但可以在盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置移动的期间内进行上述的盖装卸异常判定。另外，可以在盖装卸机构30从退避位置朝向装设位置移动的期间内进行上述的盖装卸异常判定。即，可以是，如果处于正常的状态，则在盖装卸机构30不与配置于开口部10b的盖10c接触的位置和定时(即盖装卸机构30配置于装设位置以外的位置、以及配置于装设位置以外的位置的定时)由压力传感器32c进行测量，基于该测量的结果进行盖装卸异常判定。

[第二实施方式]

在本实施方式中，对与上述的第一实施方式相同或类似的结构标注相同的标记，省略其详细的说明。

在本实施方式中，关闭传感器38a和异常检测传感器39a、39b作为盖保持传感器部工作，控制部60(即异常判定部)基于关闭传感器38a和异常检测传感器39a、39b的探测结果来进行与盖10c的装卸有关的盖装卸异常判定。

异常检测传感器39a、39b是用于探测在盖装卸机构30的路径中的装设位置与退避位置之间的特定的位置处有无物体的传感器。另一方面，关闭传感器38a是用于探测有无盖装卸机构30的传感器，关闭传感器38a探测配置于装设位置的盖装卸机构30，但不探测配置于退避位置的盖装卸机构30。在图2所示的装置中，具有筒状的壳体的y轴驱动机构37通过调整被设置为盖装卸机构30的一部分的活塞从该壳体突出的突出量，来在y轴方向上驱动盖装卸机构30整体。在该装置结构中，关闭传感器38a检测y轴驱动机构37的壳体内的盖装卸机构30的活塞的前端位置，由此探测盖装卸机构30是否被配置于装设位置。

图11a～图11c是表示在正常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构30、关闭传感器38a以及异常检测传感器39a、39b的配置关系的概要图，图11a表示盖装卸机构30配置于退避位置的状态，图11b表示盖装卸机构30配置于退避位置与装设位置之间的状态，图11c表示盖装卸机构30配置于装设位置的状态。图12a～图12c是表示在异常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构30、关闭传感器38a以及异常检测传感器39a、39b的配置关系的概要图，图12a表示盖装卸机构30配置于退避位置的状态，图12b表示盖装卸机构30配置于退避位置与装设位置之间的状态，图12c表示盖装卸机构30配置于装设位置的状态。

在盖装卸异常判定中，正常的状态的盖装卸机构30没有保持盖10c，因此在盖装卸机构30配置于退避位置的期间内，异常检测传感器39a、39b探测不到物体，异常检测传感器39a、39b的探测信号为关(参照图11a)。然后，在盖装卸机构30从退避位置朝向装设位置移动的途中，异常检测传感器39a、39b探测到盖装卸机构30(参照图11b)，与该探测定时相应地从异常检测传感器39a、39b向控制部60发送表示探测开的探测信号。然后，当盖装卸机构30到达装设位置时，关闭传感器38a探测到盖装卸机构30的活塞30a(参照图11c)，与该探测定时相应地从关闭传感器38a向控制部60发送表示探测开的探测信号。

另一方面，在盖装卸异常判定中，在盖装卸机构30保持盖10c而盖装卸机构30处于异常的状态的情况下，即使在盖装卸机构30被配置于退避位置的期间内异常检测传感器39a、39b探测不到物体(参照图12a)，异常检测传感器39a、39b也在盖装卸机构30从退避位置朝向装设位置移动的途中探测到盖10c(参照图12b)，与该探测定时相应地从异常检测传感器39a、39b向控制部60发送表示探测开的探测信号。像这样，在盖装卸机构30处于异常的状态的情况下，异常检测传感器39a、39b在盖装卸机构30之前探测盖10c。因而，在以盖装卸机构30从退避位置开始移动的定时为基准的情况下，图12b所示的异常检测传感器39a、39b的探测定时比图11b所示的异常检测传感器39a、39b的探测定时早。

然后，当盖装卸机构30到达装设位置时，关闭传感器38a探测到盖装卸机构30的活塞30a(参照图12c)，与该探测定时相应地从关闭传感器38a向控制部60发送表示探测开的探测信号。像这样，图12c所示的关闭传感器38a与图11c所示的关闭传感器38a同样地探测盖装卸机构30的活塞30a。因而，在以盖装卸机构30从退避位置开始移动的定时为基准的情况下，图12c所示的关闭传感器38a的探测定时与图11c所示的关闭传感器38a的探测定时相同。

因此，关于从异常检测传感器39a、39b的探测定时起至关闭传感器38a的探测定时为止的时间(即两个探测定时的时间差)，在盖装卸机构30处于异常的状态的情况(参照图12)下比盖装卸机构30处于正常的状态的情况(参照图11)下长。

因此，本实施方式的控制部60(即异常判定部)在盖装卸机构30从退避位置朝向装设位置移动时，基于异常检测传感器39a、39b在退避位置与装设位置之间的特定的位置探测到物体的定时与关闭传感器38a探测到盖装卸机构30的定时的时间差，进行盖装卸异常判定。

图13为第二实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。

在本实施方式的盖装卸异常判定处理中，首先盖装卸机构30从退避位置朝向装设位置开始移动(图13的s41)。然后，控制部60获取异常检测传感器39a、39b变为探测开的定时(s42)，还获取关闭传感器38a变为探测开的定时(s43)，从而获取异常检测传感器39a、39b变为探测开的定时与关闭传感器38a变为探测开的定时的时间差(s44)。然后，控制部60在该时间差处于适当的时间范围内的情况下(s45的“是”)，判定为不存在盖装卸异常(s46)，在该时间差不处于适当的时间范围内的情况下(s45的“否”)，判定为存在盖装卸异常(s47)。此外，此处所说的“适当的时间范围”是指在吸附保持部32没有保持盖10c的情况下所设想的上述的时间差的范围。该“适当的时间范围”可能由于盖装卸机构30的移动速度、盖装卸机构30和盖10c的尺寸、以及异常检测传感器39a、39b和关闭传感器38a的探测位置等各种原因而变动，但代表性地可以将0.5秒～1.5秒左右的时间范围设为“适当的时间范围”。

此外，图13所示的本实施方式的盖装卸异常判定可以与上述的第一异常判定(参照图9a的s14)和/或第二异常判定(参照图9a的s18～s20)一同进行，也可以与第一异常判定和第二异常判定无关地单独地进行。当在图9a和图9b所示的处理中进行盖装卸异常判定的情况下，优选在盖装卸机构30从装设位置后退至退避位置(参照图9a的s12)后进行上述的第一实施方式的盖装卸异常判定(参照图9a的s15)，在盖装卸机构30从退避位置朝向装设位置前进时(参照图9a的s17)进行本实施方式的盖装卸异常判定。

[第三实施方式]

在本实施方式中，对与上述的第二实施方式相同或类似的结构标注相同的标记，省略其详细的说明。

在本实施方式中，与上述的第二实施方式同样地，关闭传感器38a和异常检测传感器39a、39b作为盖保持传感器部工作，控制部60(即异常判定部)基于关闭传感器38a和异常检测传感器39a、39b的探测结果进行与盖10c的装卸有关的盖装卸异常判定。

但是，本实施方式的控制部60(即异常判定部)在盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置移动时，基于关闭传感器38a探测不到盖装卸机构30的定时与异常检测传感器39a、39b在装设位置与退避位置之间的特定的位置处探测不到物体的定时的时间差来进行盖装卸异常判定。

在以盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置开始移动的定时为基准的情况下，关于异常检测传感器39a、39b探测不到物体的定时(即探测关定时)，相比于由盖装卸机构30保持着盖10c的情况，在盖装卸机构30没有保持盖10c的情况下早。另一方面，在以盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置开始移动的定时为基准的情况下，关于关闭传感器38a探测不到盖装卸机构30(即活塞30a)的定时(即探测关定时)，在盖装卸机构30保持着盖10c的情况和盖装卸机构30没有保持盖10c的情况下相同。

因此，关于从关闭传感器38a的探测关的定时起至异常检测传感器39a、39b的探测关的定时为止的时间(即两个探测关定时的时间差)，相比于盖装卸机构30不保持盖10c而处于正常的状态的情况，在盖装卸机构30保持盖10c而处于异常的状态的情况下长。

图14是第三实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。

在本实施方式的盖装卸异常判定处理中，首先，盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置开始移动(图14的s51)。然后，控制部60获取关闭传感器38a变为探测关的定时(s52)，还获取异常检测传感器39a、39b变为探测关的定时(s53)，从而获取关闭传感器38a变为探测关的定时与异常检测传感器39a、39b变为探测关的定时的时间差(s54)。然后，控制部60在该时间差处于适当的时间范围内的情况下(s55的“是”)，判定为不存在与盖10c的装卸有关的异常(s56)，在该时间差不处于适当的时间范围内的情况下(s55的“否”)，判定为存在与盖10c的装卸有关的异常(s57)。此外，此处所说的“适当的时间范围”是指在吸附保持部32没有保持盖10c的情况下所设想的上述的时间差的范围。

此外，图14所示的本实施方式的盖装卸异常判定可以与上述的第一异常判定(参照图9a的s14)和/或第二异常判定(参照图9a的s18～s20)一同进行，也可以与第一异常判定和第二异常判定无关地单独地进行。当在图9a和图9b所示的处理中进行本实施方式的盖装卸异常判定的情况下，优选在盖装卸机构30从装设位置向退避位置后退的期间(参照图9a的s12)内进行盖装卸异常判定。

[第四实施方式]

在本实施方式中，对与上述的第一实施方式相同或类似的结构标注相同的标记，省略其详细的说明。

图15是简略地表示第四实施方式所涉及的盒10和盖装卸机构30的截面图。

在本实施方式中，在盒载置台12上设置有重量传感器70。重量传感器70用于测量在载置部11的盒载置台12配置的盒10的重量，将测量结果发送至控制部60。

本实施方式的控制部60(即异常判定部)基于重量传感器70的测量结果来进行盖装卸异常判定。在盖10c配置于开口部10b的位置且被上锁的情况下，盒10的重量也包括盖10c的重量。另一方面，在盖10c没有配置于开口部10b的位置的情况下，盒10的重量不包括盖10c的重量。因而，相比于盖装卸机构30不保持盖10c而处于正常的状态的情况(参照图7b)，在盖装卸机构30保持盖10c而处于异常的状态的情况(参照图8b)下，由重量传感器70测量出的盒10的重量轻。

因而，本实施方式的控制部60获取在盖装卸机构30从装设位置离开的期间内进行的重量传感器70的测量的结果，在该测量结果处于适当的重量范围内的情况下判定为不存在盖装卸异常，在该测量结果不处于适当的重量范围内的情况下判定为存在盖装卸异常。此外，此处所说的“适当的重量范围”是指在盖装卸机构30没有保持盖10c的情况下所设想的盒10的重量、即收纳处理后的晶圆w并被盖10c密闭的盒10的重量的范围。

此外，本实施方式的盖装卸异常判定可以与上述的第一异常判定(参照图9a的s14)和/或第二异常判定(参照图9a的s18～s20)一同进行，也可以与第一异常判定和第二异常判定无关地单独地进行。当在图9a和图9b所示的处理中进行本实施方式的盖装卸异常判定的情况下，优选在盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置开始移动后(参照图9a的s12)、且在盖装卸机构30从退避位置朝向装设位置移动(参照图9a的s17)而盖装卸机构30被配置于装设位置之前，进行盖装卸异常判定。即，优选在盖装卸机构30被配置于装设位置以外的位置的期间内进行本实施方式的盖装卸异常判定。

此外，图15所示的重量传感器70直接测量盒10的重量，但也可以使用间接测量盒10的重量的传感器作为重量传感器。例如，可以使用测量盒10和盒载置台12的重量的重量传感器。

[第五实施方式]

在本实施方式中，对与上述的第一实施方式相同或类似的结构标注相同的标记，省略其详细的说明。

图16是简略地表示第五实施方式所涉及的盒10和盖装卸机构30的截面图。

在本实施方式中，设置有与配置在盒载置台12上的盒10的内部(即盒主体10a内)连通的气体流入路72和气体流出路73、以及检测气体流出路73的压力并将检测结果发送至控制部60的压力传感器74。从气体供给部75经由气体流入路72来向盒10的内部输送气体，盒10的内部的气体向气体流出路73流出。

此外，对从气体流入路72输送至盒10的内部的气体不特别进行限定，但代表性地从气体流入路72向盒10的内部输送氮等非活性气体。另外，对从气体流入路72向盒10的内部流入的气体流入量和从盒10的内部向气体流出路73流出的气体流出量不特别进行限定。但是，以如下的方式构成各要素：在由盖10c密闭盒10的状态下，通过使气体从气体流入路72向盒10的内部流入，能够使盒10的内部的气压和气体流出路73内的气压上升。

另外，盒10的内部的气压与气体流出路73的气压不必一定一致，由压力传感器74探测出的气体流出路73的气压与盒10的内部的气压具有相关性。因而，压力传感器74直接测量气体流出路73的气压，还间接测量盒10的内部的气压。

像这样，在本实施方式中，设置有向在载置部11的盒载置台12配置的盒10内供给气体的气体供给部75以及测量盒10内的气压的压力传感器74。而且，本实施方式的控制部60(即异常判定部)基于气体供给部75向盒10内供给气体的期间或供给气体后的压力传感器74的测量结果来进行盖装卸异常判定。

在盖10c配置于开口部10b的位置且被恰当地上锁的情况下，盒10被密闭，通过从气体供给部75向盒10内供给气体，盒10内的气压上升。另一方面，在盖10c没有恰当地配置于开口部10b的位置的情况下，开口部10b的一部分或全部被开放，因此即使从气体供给部75向盒10内供给气体，盒10内的气压也不会上升或该气压的上升是微小的。

因而，本实施方式的控制部60获取在盖装卸机构30从装设位置离开的期间内进行的压力传感器74的测量的结果，在该测量结果处于适当的气压范围内的情况下判定为不存在盖装卸异常，在该测量结果不处于适当的气压范围内的情况下判定为存在盖装卸异常。此外，此处所说的“适当的气压范围”是指在由盖10c密闭盒10的状态下从气体供给部75向盒10内供给气体的情况下所设想的盒10内的气压的范围。

此外，本实施方式的盖装卸异常判定可以与上述的第一异常判定(参照图9a的s14)和/或第二异常判定(参照图9a的s18～s20)一同进行，也可以与第一异常判定和第二异常判定无关地单独地进行。当在图9a和图9b所示的处理中进行本实施方式的盖装卸异常判定的情况下，优选在盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置开始移动后(参照图9a的s12)、且在盖装卸机构30从退避位置朝向装设位置移动(参照图9a的s17)而盖装卸机构30被配置于装设位置之前进行。即，优选在盖装卸机构30被配置于装设位置以外的位置的期间内进行本实施方式的盖装卸异常判定。

[第六实施方式]

在本实施方式中，对与上述的第一实施方式相同或类似的结构标注相同的标记，省略其详细的说明。

图17a和图17b是简略地表示第六实施方式所涉及的盒10和盖装卸机构30的截面图，图17a表示正常状态，图17b表示异常状态。

在本实施方式中，设置有直接探测由配置于退避位置的盖装卸机构30保持的盖10c的盖探测传感器80来作为盖保持传感器部，盖探测传感器80的测量结果被发送至控制部60。

本实施方式的控制部60(即异常判定部)基于盖探测传感器80的探测结果来进行盖装卸异常判定。在盖装卸异常判定中，考虑为在正常的状态下配置于退避位置的盖装卸机构30没有保持盖10c(参照图7b)，在异常的状态下配置于退避位置的盖装卸机构30保持着盖10c(参照图8b)。在盖装卸机构30配置于退避位置的状态下，在盖装卸机构30没有保持盖10c的情况下，盖探测传感器80探测不到物体，处于探测关的状态(参照图17a)。另一方面，在盖装卸机构30配置于退避位置的状态下，在盖装卸机构30保持着盖10c的情况下，盖探测传感器80探测到盖10c，将表示探测开的探测信号从盖探测传感器80发送至控制部60(参照图17b)。

因而，在盖装卸机构30配置于退避位置的状态下，在没有从盖探测传感器80接收到表示探测开的探测信号的情况下，本实施方式的控制部60判定为不存在盖装卸异常，在从盖探测传感器80接收到表示探测开的探测信号的情况下判定为存在盖装卸异常。

此外，本实施方式的盖装卸异常判定可以与上述的第一异常判定(参照图9a的s14)和/或第二异常判定(参照图9a的s18～s20)一同进行，也可以与第一异常判定和第二异常判定无关地单独地进行。当在图9a和图9b所示的处理中进行本实施方式的盖装卸异常判定的情况下，优选在盖装卸机构30从装设位置朝向退避位置移动(参照图9a的s12)到盖装卸机构30配置于退避位置的期间内进行盖装卸异常判定。

<变形例>

本发明并不限定于上述的实施方式和变形例，也可以包括施加了本领域人员能够想到的各种变形的各种方式，由本发明起到的效果也不限定为上述的事项。因而，在不脱离本发明的技术思想和主旨的范围内，能够对权利要求书和说明书中记载的各要素进行各种添加、变更和部分削除。

例如，可以将上述的实施方式中的两个以上的实施方式组合，来基于多个方式进行盖装卸异常判定。

另外，在上述的实施方式中，对进行抗蚀剂涂布和显影处理等处理的处理单元2应用本发明的实施方式所涉及的基板收纳处理装置和基板收纳处理方法，但本发明也能够应用于进行其它处理的装置和方法中。例如，也能够对进行基板的清洗处理和蚀刻处理等半导体处理的处理装置和处理方法应用本发明。

附图标记说明

10：盒；10b：开口部；10c：盖；11：载置部；30：盖装卸机构；32c：压力传感器；39a、39b：异常检测传感器；60：控制部；w：晶圆。