光脉冲展宽器、激光装置及电子器件的制造方法与流程

本公开涉及光脉冲展宽器、激光装置以及电子器件的制造方法。

背景技术：

激光退火装置是对在玻璃基板上形成的无定形(非晶)硅膜照射从准分子激光器等激光装置输出的具有紫外线区域的波长的脉冲激光，使其改性为多晶硅膜的装置。通过将非晶硅膜改性为多晶硅膜，能够制作tft(薄膜晶体管)。该tft用于比较大的液晶显示器。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-148549号公报

专利文献2：日本特开2002-075831号公报

专利文献3：美国专利申请公开第2007/0280308号说明书

技术实现要素：

本公开的一个方面的光脉冲展宽器具备：分离光学元件，其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；反射光学系统，其引导第一反射光，使第一反射光入射到分离光学元件的与第一面相反侧的第二面；以及保持部件，其具有开口面积比包含在反射光学系统中的反射光学元件的反射面的面积小的贯通孔，配置在反射光学元件的背面侧，保持反射光学元件。

本公开的一个方面的激光装置具备：激光谐振器；激光腔，其配置于激光谐振器，收容激光气体；一对放电电极，它们配置于激光腔；以及光脉冲展宽器，其配置在从激光谐振器输出的脉冲激光的光路上。光脉冲展宽器具备：分离光学元件，其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；反射光学系统，其引导第一反射光，使第一反射光入射到分离光学元件的与第一面相反侧的第二面；以及保持部件，其具有开口面积比包含在反射光学系统中的反射光学元件的反射面的面积小的贯通孔，配置在反射光学元件的背面侧，保持反射光学元件。

本公开的一个方面的电子器件的制造方法包含如下步骤：由激光装置生成脉冲激光；将脉冲激光输出到激光退火装置；以及在激光退火装置内向基板上照射脉冲激光，以制造电子器件。激光装置具备：激光谐振器；激光腔，其配置于激光谐振器，收容激光气体；一对放电电极，它们配置于激光腔；以及光脉冲展宽器，其配置在从激光谐振器输出的脉冲激光的光路上。光脉冲展宽器具备：分离光学元件，其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；反射光学系统，其引导第一反射光，使第一反射光入射到分离光学元件的与第一面相反侧的第二面；以及保持部件，其具有开口面积比包含在反射光学系统中的反射光学元件的反射面的面积小的贯通孔，配置在反射光学元件的背面侧，保持反射光学元件。

附图说明

下面，仅仅作为例子，参照附图说明本公开的几个实施方式。

图1示意性地表示比较例的激光装置1和激光退火装置40的结构。

图2a概略地表示本公开的第一实施方式的光脉冲展宽器16a的结构。图2b放大表示图2a的iib-iib线处的射束截面和从iib-iib线的位置观察到的保持架。图2c放大表示图2a的iic-iic线处的射束截面和从iic-iic线的位置观察到的保持架。图2d放大表示图2a的iid-iid线处的射束截面。

图3表示本公开的第一实施方式的第一变形例的射束截面和保持架。

图4表示本公开的第一实施方式的第二变形例的射束截面和保持架。

图5表示本公开的第一实施方式的第三变形例的射束截面和保持架。

图6概略地表示本公开的第二实施方式的第一例的光脉冲展宽器16e的结构。

图7概略地表示本公开的第二实施方式的第二例的光脉冲展宽器16f的结构。

图8概略地表示本公开的第二实施方式的第三例的光脉冲展宽器16g的结构。

图9概略地表示本公开的第二实施方式的第四例的光脉冲展宽器16h的结构。

图10概略地表示本公开的第二实施方式的第五例的光脉冲展宽器16i的一部分的结构。

图11概略地表示本公开的第二实施方式的第六例的光脉冲展宽器16j的一部分的结构。

图12概略地表示本公开的第二实施方式的第七例的光脉冲展宽器16k的结构。

图13概略地表示本公开的第二实施方式的第八例的光脉冲展宽器16m的结构。

图14概略地表示本公开的第二实施方式的第一、第三、第五、及第七例中使用的冷却水配管的结构。

图15概略地表示本公开的第二实施方式的第二、第四、第六、及第八例中的散热片的结构。

具体实施方式

<内容>

1.比较例

1.1结构

1.1.1激光腔

1.1.2光脉冲展宽器

1.1.3脉冲能量计测部

1.1.4激光退火装置

1.2动作

1.2.1控制部

1.2.2激光腔

1.2.3光脉冲展宽器

1.2.4脉冲能量计测部

1.2.5换气装置

1.2.6激光退火装置

1.3课题

2.用具有贯通孔的保持架保持凹面镜的光脉冲展宽器

2.1结构

2.2作用

2.3开口部的形状的第一变形例

2.4开口部的形状的第二变形例

2.5开口部的形状的第三变形例

2.6其他变形例

3.壳体具备冷却机构的光脉冲展宽器

3.1将具备冷却介质流路的冷却板安装于壳体的例子

3.2将具备散热片的冷却板安装于壳体的例子

3.3将具备冷却介质流路的冷却板配置在壳体的开口处的例子

3.4将具备散热片的冷却板配置在壳体的开口处的例子

3.5具备冷却介质流路和光衰减器的冷却板

3.6具备散热片和光衰减器的冷却板

3.7在壳体上形成有冷却介质流路的例子

3.8在壳体上形成有散热片的例子

3.9冷却水配管的例子

3.10散热片中的槽的方向

4.补充

在下文中，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。以下说明的实施方式示出了本公开的几个例子，并没有限定本公开的内容。此外，各实施方式中说明的结构和动作的全部未必都是作为本公开的结构和动作所必须的。另外，对相同的构成要素标注相同的参照标号，省略重复的说明。

1.比较例

1.1结构

图1示意性地表示比较例的激光装置1以及激光退火装置40的结构。图1所示的激光装置1包括：激光腔10、放电电极11a和11b、充电器12、脉冲功率模块(ppm)13、后视镜14、输出耦合镜15。激光装置1还包括光脉冲展宽器16、脉冲能量计测部17、激光控制部19以及壳体20。激光装置1是输出用于入射到激光退火装置40等外部装置的紫外线区域的脉冲激光的准分子激光装置。

在图1中，示出从与放电电极11a及11b之间的放电方向垂直的方向观察到的激光装置1。从激光装置1输出的脉冲激光的行进方向为+z方向。放电电极11a和11b之间的放电方向是+v方向或-v方向。-v方向与重力的方向大致一致。h方向是与z方向和v方向两者垂直的方向。另外，在不需要区分正负的情况下，省略正负的符号。

1.1.1激光腔

激光腔10例如封入有激光气体，该激光气体含有作为稀有气体的氩气或氪气、作为卤素气体的氟气或氯气、作为缓冲气体的氖气或氦气。

在激光腔10的两端设置有窗口10a和10b。在激光腔10形成有开口，电绝缘部28堵塞该开口。在电绝缘部28中埋入有多个导电部29。

在激光腔10内配置有放电电极11a和11b。放电电极11a由电绝缘部28支撑，与导电部29电连接。放电电极11b被激光腔10的构成部件支撑，并且被电连接。激光腔10的构成部件与接地电位连接。

脉冲功率模块13与导电部29连接。脉冲功率模块13包括未图示的充电电容器和开关13a。在脉冲功率模块13的充电电容器上连接有充电器12。

后视镜14和输出耦合镜15构成激光谐振器。后视镜14包括高反射膜。后视镜14在激光腔10的外部被收容在壳体149内。输出耦合镜15包括形成在透明基板上的部分反射膜。输出耦合镜15在激光腔10的外部被收容在壳体159内。

1.1.2光脉冲展宽器

光脉冲展宽器16配置在从输出耦合镜15输出的脉冲激光的光路上。光脉冲展宽器16包括分束器160和第一～第四凹面镜161～164。分束器160和第一～第四凹面镜161～164容纳在壳体169的内部。

分束器160由使脉冲激光以高透射率透射的caf2基板构成。在分束器160的第一面上涂覆有部分反射膜，该部分反射膜使脉冲激光的一部分反射而使脉冲激光的另一部分透射，在分束器160的与第一面相反一侧的第二面上涂覆有反射防止膜，该反射防止膜使脉冲激光以高透射率透射。分束器160对应于本公开中的分离光学元件。第一～第四凹面镜161～164构成本公开的反射光学系统。第一～第四凹面镜161～164中的每一个对应于本公开中的反射光学元件。第一～第四凹面镜161～164中的每一个都由配置在第一～第四凹面镜161～164各自的背面侧的保持架26保持。保持架26固定在壳体169的与纸面平行的壁面上。

作为壳体169的材质，例如使用在铝的表面镀镍的材质。镀镍即使表面氧化也形成稳定的层，剥落或产生灰尘的情况少，因此壳体169内部的反射光学元件等的劣化被抑制。或者，作为化学稳定的金属，也可以使用金或铂。

1.1.3脉冲能量计测部

脉冲能量计测部17配置在通过了光脉冲展宽器16的脉冲激光的光路上。脉冲能量计测部17包括分束器171和光传感器172。分束器171和光传感器172被收容在壳体179的内部。壳体159、169及179的内部相互连通。

激光腔10、壳体149、159、169及179收容在壳体20内。壳体20具有吸气口21、换气装置22和风速传感器27。

1.1.4激光退火装置

激光退火装置40包括激光退火控制部41、蝇眼透镜42、高反射镜43、聚光光学系统44、驱动机构45和台46。复眼透镜42包含形成在透明基板上的多个透镜。复眼透镜42和聚光光学系统44构成柯拉照明。在台46上搭载形成有非晶硅膜的玻璃基板等被照射物s。驱动机构45构成为能够使台46在hz面内移动。

1.2动作

1.2.1控制部

激光退火装置40所包含的激光退火控制部41控制驱动机构45及激光退火装置40的其他构成要素。另外，激光退火控制部41对激光装置1发送目标脉冲能量的设定信号及振荡触发信号。

激光装置1中包含的激光控制部19从激光退火控制部41接收目标脉冲能量的设定信号和振荡触发信号。激光控制部19根据目标脉冲能量的设定信号来设定充电器12的充电电压。另外，激光控制部19根据振荡触发信号，向脉冲功率模块13的开关13a发送触发信号。

脉冲功率模块13从激光控制部19接收到触发信号时，根据充电器12所充的电能生成脉冲状的高电压，将该高电压施加到放电电极11a和11b之间。

1.2.2激光腔

当在放电电极11a和11b之间施加高电压时，在放电电极11a和11b之间产生放电。通过该放电的能量，激光腔10内的激光气体被激励而跃迁到高能级。被激励的激光气体在此后向低能级跃迁时，放出与其能级差对应的波长的光。在激光腔10内产生的光通过窗口10a和10b向激光腔10的外部射出。

从激光腔10射出的光在后视镜14和输出耦合镜15之间往复，每次通过放电电极11a和放电电极11b之间的激光增益空间时被放大。放大后的光的一部分经由输出耦合镜15作为脉冲激光输出。

1.2.3光脉冲展宽器

从输出耦合镜15输出的脉冲激光作为入射光b0沿+z方向入射到分束器160的第一面。入射光b0的一部分透过分束器160的第一面，进而透过第二面，从第二面作为第一透射光b1向+z方向射出。入射光b0的另一部分由分束器160的第一面反射，从第一面作为第一反射光b10向-v方向射出。

第一～第四凹面镜161～164将第一反射光b10作为反射光b11、b12、b13、b14依次反射，并使反射光b14沿-v方向入射至分束器160的第二面。沿-v方向入射到分束器160的第二面的反射光b14的至少一部分透过分束器160的第二面，被第一面反射，再次透过第二面，从而作为第二反射光b2向+z方向射出。另外，配置第一～第四凹面镜161～164，以使从分束器160的第一面射出的第一反射光b10经由第一～第四凹面镜161～164而转印到分束器160的第一面。这样，第一透射光b1和第二反射光b2的光路重合。

第一透射光b1和第二反射光b2具有与由第一～第四凹面镜161～164形成的迂回光路的光路长度对应的时间差。通过使第一透射光b1和第二反射光b2的光路重合，光脉冲展宽器16扩展脉冲激光的脉冲宽度。

沿-v方向入射到分束器160的第二面的反射光b14的另一部分也可以作为第二透射光b20从分束器160的第一面向-v方向射出，再次沿着上述的迂回光路。

1.2.4脉冲能量计测部

脉冲能量计测部17所包含的分束器171使通过了光脉冲展宽器16的脉冲激光以高透射率向激光退火装置40透射，并且将脉冲激光的一部分向光传感器172的受光面反射。光传感器172检测入射到受光面的脉冲激光的脉冲能量，将检测到的脉冲能量的数据输出到激光控制部19。

激光控制部19基于从脉冲能量计测部17接收到的脉冲能量的数据，控制充电器12的充电电压。由此，脉冲激光的脉冲能量被反馈控制。

1.2.5换气装置

换气装置22排出壳体20内部的空气。代替排出的空气，新的空气从吸气口21流入壳体20的内部。由此，在壳体20的内部产生单点划线的箭头所示的气流，壳体20的内部被换气。风速传感器27计测壳体20的内部的气体的流速，将计测数据发送到激光控制部19。激光控制部19根据计测到的气体的流速控制换气装置22。

1.2.6激光退火装置

在激光退火装置40中，蝇眼透镜42及聚光光学系统44使被照射物s的表面的脉冲激光的光强度分布均匀化。驱动机构45使台46以规定速度移动，以使脉冲激光照射到被照射物s的各规定位置。当对形成有非晶硅膜的玻璃基板照射规定脉冲宽度及规定强度的脉冲激光时，非晶硅膜的一部分熔融。然后，使熔融的非晶硅膜结晶，改性为多晶硅膜。由此，能够制造包含tft的电子器件。

1.3课题

分别入射到光脉冲展宽器16的第一～第四凹面镜161～164的脉冲激光的一部分有时透过各个反射面。透过反射面的脉冲激光的能量被保持架26吸收，使保持架26的温度上升。保持架26的温度上升而热膨胀或变形，从而第一～第四凹面镜161～164的位置或姿势变化。若第一～第四凹面镜161～164的位置或姿势变化，则由各个镜反射的反射光的光路轴偏移。例如，存在第一透射光b1和第二反射光b2的光路轴不同轴的情况。

在下述实施方式中，第一～第四凹面镜161～164由具有贯通孔的保持架保持。即使脉冲激光的一部分透过第一～第四凹面镜161～164的各个反射面，由于在保持架的贯通孔通过，也能够抑制保持架的温度上升。

2.用具有贯通孔的保持架保持凹面镜的光脉冲展宽器

2.1结构

图2a概略地表示本公开的第一实施方式的光脉冲展宽器16a的结构。图2b放大表示图2a的iib-iib线处的射束截面和从iib-iib线的位置观察到的保持架36。图2c放大表示图2a的iic-iic线处的射束截面和从iic-iic线的位置观察到的保持架36。图2d放大表示图2a的iid-iid线处的射束截面。在图2b和图2c中，凹面镜161～164的外部形状由点划线表示。

在第一实施方式中，保持第一～第四凹面镜161～164的各个保持架36具有贯通孔36a。保持件36对应于本公开的保持部件。

如图2d所示，入射光b0具有v方向的射束宽度比h方向的射束宽度长的长方形的射束截面。该射束截面的形状与放电电极11a和11b之间的激光增益空间的形状对应。

入射到第一凹面镜161的第一反射光b10的一部分有时作为透射光t10透过第一凹面镜161。

入射到第二凹面镜162的反射光b11的一部分有时作为透射光t11透过第二凹面镜162。

入射到第三凹面镜163的反射光b12的一部分有时作为透射光t12透过第三凹面镜163。

入射到第四凹面镜164的反射光b13的一部分有时作为透射光t13透过第四凹面镜164。

如图2b及图2c所示，透射光t10～t13具有z方向的射束宽度比h方向的射束宽度长的长方形的射束截面。该射束截面的形状与入射光b0通过分束器160绕与h方向平行的轴旋转90度后的形状对应。

因此，各保持架36的贯通孔36a的开口部成为z方向的开口宽度比h方向的开口宽度长的形状。各保持架36的贯通孔36a的开口部的长度方向都是z方向，是同一方向。另外，在图2b及图2c所示的例子中，各保持架36的贯通孔36a的开口部为长方形。另外，所谓同一方向并不意味着严格意义上的同一方向。例如，即使在为了形成环状的迂回光路而将第一～第四凹面镜161～164相互倾斜配置的情况下，各保持架36的贯通孔36a的开口部的长度方向也只要是大致相同的方向即可。另外，长方形也可以不是严格按照数学定义的长方形。例如，如后所述，也可以是角部具有圆角的长方形。

其他方面与上述比较例相同。

2.2作用

根据以上的结构，透射光t10～t13通过各反射镜的保持架36的贯通孔36a。由此，抑制保持架36的温度上升。

并且，贯通孔36a的开口面积大于从激光谐振器输出并入射到光脉冲展宽器16a的入射光b0的射束截面的面积。因此，贯通孔36a的开口面积比透射光t10～t13的射束截面的面积大。由此，抑制透射光t10～t13的一部分照射到保持架36，抑制保持架36的温度上升。

通过抑制保持架36的温度上升，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定，第一透射光b1和第二反射光b2的光路轴稳定。由此，能够将第一透射光b1和第二反射光b2的光路轴维持为大致同轴。

如图2b和图2c所示，贯通孔36a的开口面积小于第一～第四凹面镜161～164的各个反射面的面积。因此，第一～第四凹面镜161～164的各个反射面的相反侧的背面可以由保持架36可靠地保持。

2.3开口部的形状的第一变形例

图3表示本公开的第一实施方式的第一变形例的射束截面和保持架。图3与图2b同样地放大示出图2a的iib-iib线处的射束截面和从iib-iib线的位置观察到的保持架。

在图3所示的例子中，各保持架36的贯通孔36b的开口部是角部具有圆角的长方形。贯通孔36b的开口部也可以是4个角部全部具有圆角的长方形。

其他方面与参照图2a～图2d说明的内容相同。

2.4开口部的形状的第二变形例

图4表示本公开的第一实施方式的第二变形例的射束截面和保持架。图4与图2b同样地放大示出图2a的iib-iib线处的射束截面和从iib-iib线的位置观察到的保持架。

在图4所示的例子中，各保持架36的贯通孔36c是长孔。长孔是指细长的孔。长孔的开口部的两端也可以具有圆角。

其他方面与参照图2a～图2d说明的内容相同。

2.5开口部的形状的第三变形例

图5表示本公开的第一实施方式的第三变形例的射束截面和保持架。图5与图2b同样地放大示出图2a的iib-iib线处的射束截面和从iib-iib线的位置观察到的保持架。

在图5所示的例子中，各保持架36的贯通孔36d的开口部为椭圆形。另外，椭圆形也可以不是严格按照数学定义的椭圆形。

其他方面与参照图2a～图2d说明的内容相同。

2.6其他变形例

在第一实施例中，说明了在保持第一～第四凹面镜161～164的各个保持架36中形成有贯通孔的情况，但是本公开不限于此。在保持第一～第四凹面镜161～164中的至少一个的保持架36中形成有贯通孔即可。例如，在第一～第四凹面镜161～164中在脉冲激光的光路上游侧的镜的位置偏移对光轴偏移产生较大影响的情况下，优选在保持第一凹面镜161的保持架36形成贯通孔。

3.壳体具备冷却机构的光脉冲展宽器

3.1将具备冷却介质流路的冷却板安装于壳体的例子

图6概略地表示本公开的第二实施方式的第一例的光脉冲展宽器16e的结构。

透射光t10～t13有时通过保持架36的贯通孔36a入射到光脉冲展宽器16e的壳体169。当透射光t10～t13入射时，有时壳体169的温度上升。特别是，在位于第一反射光b10及反射光b12的光路轴的延长线上的壳体169的底板部和位于反射光b11及反射光b13的光路轴的延长线上的壳体169的顶板部，温度上升。壳体169的一部分温度上升时，有时壳体169变形，保持在壳体169上的保持架36及第一～第四凹面镜161～164的位置或姿势变化。

因此，在第一例中，在壳体169的底板部及顶板部分别安装有冷却板31e。冷却板31e在内部具备作为冷却机构的冷却介质流路32。例如从后述的冷却水配管向冷却介质流路32供给冷却水。在冷却介质流路32中吸热后的冷却水向冷却水配管排出。壳体169的底板部和顶板部以及冷却板31e对应于本公开的受光部。

由此，接收透射光t10～t13的受光部被冷却，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定。

其他方面与第一实施方式相同。在图6中示出在保持架36上形成有贯通孔36a的情况，但也可以形成参照图3～图5说明的贯通孔36b～36d的任一个。

3.2将具备散热片的冷却板安装于壳体的例子

图7概略地表示本公开的第二实施方式的第二例中的光脉冲展宽器16f的结构。

在第二例中，在壳体169的底板部及顶板部分别安装有冷却板31f。冷却板31f在外表面具备作为冷却机构的散热片33。散热片33具有多个槽，与不具有槽的情况相比增大表面积从而促进散热。壳体169的底板部和顶板部以及冷却板31f对应于本公开的受光部。

由此，接收透射光t10～t13的受光部被冷却，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定。

其他方面与参照图6说明的第一例相同。

3.3将具备冷却介质流路的冷却板配置在壳体的开口处的例子

图8概略地表示本公开的第二实施方式的第三例中的光脉冲展宽器16g的结构。

在第三例中，在壳体169的底板部及顶板部分别形成有开口，在该开口配置有冷却板31g。因此，冷却板31g对应于本公开的受光部。在壳体169和冷却板31g之间配置有o形环34，壳体169的开口被密封。

冷却板31g在内部具备冷却介质流路32。冷却介质流路32在冷却板31g的厚度方向上配置在接近透射光t10～t13照射的内表面侧的位置。由此，受光部被高效地冷却。于是，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定。

作为冷却板31g的材质，例如使用铜系合金、铝系合金或不锈钢(sus)。由于铜对紫外线的吸收率及热传导率高，难以劣化，所以特别优选铜系合金。

其他方面与参照图6说明的第一例相同。

3.4将具备散热片的冷却板配置在壳体的开口处的例子

图9概略地表示本公开的第二实施方式的第四例的光脉冲展宽器16h的结构。

在第四例中，在壳体169的底板部及顶板部分别形成有开口，在该开口配置有冷却板31h。冷却板31h相当于本公开的受光部。冷却板31h在外表面具备散热片33。散热片33具有多个槽，与不具有槽的情况相比增大表面积从而促进散热。

由此，接收透射光t10～t13的受光部被冷却，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定。

其他方面与参照图8说明的第三例相同。

3.5具备冷却介质流路和光衰减器的冷却板

图10概略地表示本公开的第二实施方式的第五例的光脉冲展宽器16i的一部分的结构。

在第五例中，在壳体169的底板部及顶板部分别形成有开口，在该开口配置有冷却板31i。冷却板31i相当于本公开的受光部。在冷却板31i形成有光衰减器35。光衰减器35具有槽，该槽的间隔朝向里侧变窄。当透射光t10～t13入射到该槽时，透射光t10～t13在槽的侧面反复进行反射及吸收而衰减。由此，能够由冷却板31i高效地吸收透射光t10～t13的能量。

冷却板31i被包括冷却介质流路32的冷却机构冷却。

由此，接收透射光t10～t13的受光部被冷却，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定。

其他方面与参照图8说明的第三例相同。

3.6具备散热片和光衰减器的冷却板

图11概要表示本公开的第二实施方式的第六例中的光脉冲展宽器16j的一部分的结构。

在第六例中，在壳体169的底板部及顶板部分别形成有开口，在该开口配置有冷却板31j。冷却板31j相当于本公开的受光部。冷却板31j在外表面具备散热片33。散热片33具有多个槽，与不具有槽的情况相比增大表面积从而促进散热。

由此，接收透射光t10～t13的受光部被冷却，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定。

其他方面与参照图10说明的第五例相同。

3.7在壳体上形成有冷却介质流路的例子

图12概略地表示本公开的第二实施方式的第七例的光脉冲展宽器16k的结构。

在第七例中，在壳体169的底板部及顶板部各自的内部形成有冷却介质流路32。壳体169的底板部和顶板部对应于本公开中的受光部。

由此，接收透射光t10～t13的受光部被冷却，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定。

其他方面与参照图6说明的第一例相同。

3.8在壳体上形成有散热片的例子

图13概略地表示本公开的第二实施方式的第八例中的光脉冲展宽器16m的结构。

在第八例中，在壳体169的底板部及顶板部各自的外表面形成有散热片33。壳体169的底板部和顶板部对应于本公开中的受光部。散热片33具有多个槽，与不具有槽的情况相比增大表面积从而促进散热。

由此，接收透射光t10～t13的受光部被冷却，第一～第四凹面镜161～164的位置和姿势稳定。

其他方面与参照图12说明的第七例相同。

3.9冷却水配管的例子

图14概略地表示本公开的第二实施方式的第一、第三、第五、及第七例中使用的冷却水配管的结构。

在与冷却介质流路32连接的冷却水配管23上例如配置有热交换器24及泵25。热交换器24及泵25也可以设置在激光装置1的外部。在冷却介质流路32中吸热后的冷却水被排出到冷却水配管23，在热交换器24中被排热。然后，该冷却水通过泵25返回到冷却介质流路32。由此，能够高效地冷却受光部。

3.10散热片中的槽的方向

图15概略地表示本公开的第二实施方式的第二、第四、第六、及第八例中的散热片的结构。

在参照图1说明的换气装置22在壳体20的内部产生气流的情况下，优选壳体169周围的气流的方向是与散热片33的槽的方向大致相同的方向。由此，气体沿着散热片33的槽不停滞地流动，能够高效地冷却受光部。换气装置22相当于本公开的空冷机构。

4.补充

上述说明不是限制，仅是例示。因此，本领域技术人员显而易见的是，可以在不脱离权利要求书的情况下对本公开的实施方式进行变更。此外，本领域技术人员显而易见的是，本公开的实施方式被组合使用。

除非另有说明，否则在本说明书和权利要求书中使用的术语应当被解释为“非限制性的”术语。例如，术语“包括”或“包括”应当被解释为“不限于被记载为包括的部分”。术语“具有”应该解释为“不限于被记载为具有的部分”。不定冠词“一个”应被解释为表示“至少一个”或“一个或多个”。术语“a、b和c中的至少一个”应当解释为“a”、“b”、“c”、“a+b”、“a+c”、“b+c”或“a+b+c”。进而，应该解释为还包含它们与“a”、“b”、“c”以外的部分的组合。