1.一种光脉冲展宽器，其具备：
分离光学元件，其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；
反射光学系统，其引导所述第一反射光，使所述第一反射光入射到所述分离光学元件的与所述第一面相反侧的第二面；以及
保持部件，其具有开口面积比包含在所述反射光学系统中的反射光学元件的反射面的面积小的贯通孔，配置在所述反射光学元件的背面侧，保持所述反射光学元件。
2.根据权利要求1所述的光脉冲展宽器，其中，
所述贯通孔的开口部的第一方向的开口宽度比与所述第一方向垂直的第二方向的开口宽度长。
3.根据权利要求2所述的光脉冲展宽器，其中，
所述开口部是大致长方形。
4.根据权利要求3所述的光脉冲展宽器，其中，
所述开口部是角部具有圆角的大致长方形。
5.根据权利要求2所述的光脉冲展宽器，其中，
所述开口部为大致椭圆形。
6.根据权利要求2所述的光脉冲展宽器，其中，
所述贯通孔是长孔。
7.根据权利要求1所述的光脉冲展宽器，其中，
所述反射光学系统包括多个反射光学元件，
在所述多个反射光学元件各自的背面侧配置有所述保持部件。
8.根据权利要求7所述的光脉冲展宽器，其中，
保持所述多个反射光学元件所包含的第一反射光学元件的所述保持部件具有第一开口部，该第一开口部的第一方向的开口宽度比与所述第一方向垂直的第二方向的开口宽度长，
保持所述多个反射光学元件所包含的第二反射光学元件的所述保持部件具有第二开口部，该第二开口部的第三方向的开口宽度比与所述第三方向垂直的第四方向的开口宽度长，
所述第一方向和所述第三方向是大致相同的方向。
9.根据权利要求1所述的光脉冲展宽器，其中，该光脉冲展宽器还具备：
受光部，其配置在入射到所述反射光学元件的脉冲激光的光路轴的延长线上；以及
冷却所述受光部的冷却机构。
10.根据权利要求9所述的光脉冲展宽器，其中，
所述冷却机构包含形成于所述受光部的冷却介质流路。
11.根据权利要求9所述的光脉冲展宽器，其中，
所述冷却机构包含形成于所述受光部的散热片。
12.根据权利要求9所述的光脉冲展宽器，其中，
所述受光部包含光衰减器。
13.一种激光装置，其具备：
激光谐振器；
激光腔，其配置于所述激光谐振器，收容激光气体；
一对放电电极，它们配置于所述激光腔；以及
光脉冲展宽器，其配置在从所述激光谐振器输出的脉冲激光的光路上，
所述光脉冲展宽器具备：
分离光学元件，其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；
反射光学系统，其引导所述第一反射光，使所述第一反射光入射到所述分离光学元件的与所述第一面相反侧的第二面；以及
保持部件，其具有开口面积比包含在所述反射光学系统中的反射光学元件的反射面的面积小的贯通孔，配置在所述反射光学元件的背面侧，保持所述反射光学元件。
14.根据权利要求13所述的激光装置，其中，
所述保持部件具有开口面积比从所述激光谐振器输出的脉冲激光的射束截面的面积大的所述贯通孔。
15.根据权利要求13所述的激光装置，其中，
所述激光装置还具备在收容所述光脉冲展宽器的壳体的周围产生气流的空冷机构，
在收容所述光脉冲展宽器的壳体形成有包含槽的散热片，
由所述空冷机构在所述壳体的周围产生的气流的方向与所述槽的方向为同一方向。
16.根据权利要求13所述的激光装置，其中，
所述激光装置是输出紫外线区域的脉冲激光的准分子激光装置。
17.一种电子器件的制造方法，其包含如下步骤：
由激光装置生成脉冲激光；
将所述脉冲激光输出到激光退火装置；以及
在所述激光退火装置内向基板上照射所述脉冲激光，
所述激光装置具备：
激光谐振器；
激光腔，其配置于所述激光谐振器，收容激光气体；
一对放电电极，它们配置于所述激光腔；以及
光脉冲展宽器，其配置在从所述激光谐振器输出的脉冲激光的光路上，
所述光脉冲展宽器具备：
分离光学元件，其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；
反射光学系统，其引导所述第一反射光，使所述第一反射光入射到所述分离光学元件的与所述第一面相反侧的第二面；以及
保持部件，其具有开口面积比包含在所述反射光学系统中的反射光学元件的反射面的面积小的贯通孔，配置在所述反射光学元件的背面侧，保持所述反射光学元件。