半导体装置用基板的制作方法

文档序号:25040624发布日期:2021-05-14 15:42阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种半导体装置用基板,其具备:陶瓷烧结体,形成为板状,具有第1主面和第2主面;第1电路板,配置在所述第1主面上,由铜或铝构成;和第2电路板,配置在所述第2主面上,由铜或铝构成,所述陶瓷烧结体包含al、zr、y以及mg,将陶瓷烧结体中的mg的以mgo换算的含量设为s1质量%,并将zr的以zro2换算的含量设为s2质量%的情况下,下述的式(1)成立,将第1电路板的厚度设为t1mm,将第2电路板的厚度设为t2mm,并将所述陶瓷烧结体的厚度设为t3mm的情况下,下述的式(2)、(3)、(4)成立,-0.004
×
s2+0.171<s1<-0.032
×
s2+1.427
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(1)1.7<(t1+t2)/t3<3.5
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(2)t1≥t2
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(3)t3≥0.25
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(4)。2.根据权利要求1所述的半导体装置用基板,其中,在所述陶瓷烧结体中,下述的式(5)成立,7.5≤s2≤25
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(5)。3.根据权利要求1所述的半导体装置用基板,其中,在所述陶瓷烧结体中,下述的式(6)成立,17.5≤s2≤23.5
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(6)。4.根据权利要求1~3中任一项所述的半导体装置用基板,其中,在所述陶瓷烧结体中,下述的式(7)成立,0.08<s1<1.18
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(7)。
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