氢效应试验箱和系统的制作方法

本发明属于电子元器件可靠性评价技术领域，尤其涉及一种氢效应试验箱和系统。

背景技术：

半导体元器件的制作过程中涉及的工艺很多，有些工艺过程需要在氢气气氛中进行，如镀镍和镀金等。同时，在这些工艺过程中还需要使用很多材料，例如烧结用的金锡焊料、铅锡和无铅焊料等，粘结用的导电胶会让绝缘胶，键合使用的金丝、金带和硅铝丝，还例如装配中使用的ltcc(lowtemperatureco-firedceramic，低温共烧陶瓷)基板、氧化铝陶瓷基板、环氧板和罗杰斯板等板材，用于芯片的可伐合金、钼铜合金和钨铜镀金垫片等，再有用于调试使用的缩醛烘干胶和吸波材料，用于粘固使用的硅橡胶和环氧胶等，这些材料在生产制造和使用过程中都可能会吸附氢，因此，氢气也极易成为密封器件内腔的残余气体。

然而，密封腔内部气氛中的氢气会对电子元器件产生较大的影响。比如半导体器件的栅极肖特基金属化层常会用到金属钯或铂，当器件处于氢气气氛中时，部分氢分子会在表面金属钯或铂的催化下分解为氢原子，氢原子会扩散进入器件沟道内抑制沟道中的施主杂质硅，降低沟道载流子的浓度，从而降低器件的漏极电流、跨导和增益，氢原子还会吸附于金属钯或铂的表面，与钯或铂相互作用导致器件产生明显的形貌变化和相移，氢原子还会穿过钯或铂的金属层并吸附到金属/半导体界面形成偶极层，造成半导体电势漂移，从而降低肖特基势垒高度等现象，导致器件的质量事故，严重制约了我国核心武器装备的可靠性提升。

近年来，氢气对电子元器件性能的影响越来越受到重视。但是，传统的氢效应试验系统的氢气浓度多由人工控制，定量输入进试验箱，控制精度低，无法准确评估氢气对器件性能的影响。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明实施例提供了一种氢效应试验箱和系统，以解决现有技术中氢气浓度的控制精度低，无法准确评估氢气对器件性能的影响的问题。

本发明实施例第一方面提供了一种氢效应试验箱，包括：金属腔体、气体分流管道、真空法兰盘和温度控制设备，所述气体分流管道和所述温度控制设备均设置在所述金属腔体的内部；

其中，所述金属腔体的侧壁上设置进气孔，所述气体分流管道通过所述进气孔与所述金属腔体连接；所述真空法兰盘设置在所述金属腔体的侧壁上，所述真空法兰盘的第一接线柱通过线缆与所述金属腔体内部的试验器件连接，所述真空法兰盘的第二接线柱适于与外部供电模块和外部参数测试模块连接；

氢气通过所述进气孔进入所述气体分流管道，所述气体分流管道将所述氢气排入所述金属腔体中；所述温度控制设备用于将所述金属腔体内部的温度控制在预设值；所述外部供电模块通过所述真空法兰盘对所述试验器件施加偏置电压，所述外部参数测试模块通过所述真空法兰盘获取施加偏置电压前和施加偏置电压后的所述试验器件的参数值。

可选的，所述金属腔体包括：金属盒体、密封圈和金属盖板；

所述金属盒体的内部设置所述气体分流管道和所述温度控制设备，所述金属盒体的侧壁上设置所述进气孔和所述真空法兰盘；

所述金属盒体通过所述密封圈与所述金属盖板密封连接。

可选的，所述金属盒体的侧壁上还设置：出气孔；

所述金属腔体内部的废气通过所述出气孔排出。

可选的，所述温度控制设备包括：至少四个温度传感器和至少两个加热丝；

各个所述温度传感器用于检测所述金属腔体内部的温度；各个所述加热丝用于根据各个所述温度传感器检测的温度加热。

可选的，所述氢效应试验箱还包括：包覆在所述金属腔体外侧壁的保温材料；

所述保温材料用于对所述金属腔体的内部进行保温。

可选的，所述保温材料为氧化铝多晶体纤维材料。

本发明实施例第二方面提供了一种氢效应试验系统，包括：供电模块、氢浓度控制模块、控温模块、抽真空模块和参数测试模块，还包括如实施例第一方面提供的任一项所述的氢效应试验箱；所述供电模块、所述氢浓度控制模块、所述控温模块、所述抽真空模块和所述参数测试模块均与所述氢效应试验箱连接；

所述供电模块用于对所述氢效应试验箱内部的试验器件施加偏置电压；

所述抽真空模块用于将所述氢效应试验箱内部设置为真空状态，以使所述氢浓度控制模块将预设浓度的氢气排入所述氢效应试验箱内部；

所述控温模块用于将所述氢效应试验箱内部的温度控制在预设值；

所述参数测试模块用于监测施加偏置电压后的试验器件的参数变化值。

可选的，所述氢浓度控制模块包括：氢气供应模块、气氛分析仪和废气收集瓶；

所述氢气供应模块用于根据过流速配比方法将预设浓度的氢气排入到所述氢效应试验箱内部；

所述废气收集瓶用于收集所述氢效应试验箱内部排出的废气；

所述气氛分析仪用于采集所述废气中的氢气浓度，以使所述氢气供应模块根据所述废气中的氢气浓度调节所述预设浓度。

可选的，所述参数测试模块包括：半导体参数测试仪和参数采集终端；

所述半导体参数测试仪用于监测施加所述偏置电压前和施加所述偏置电压后的试验器件的参数；

所述参数采集终端用于获取所述偏置电压和所述半导体参数测试仪监测的试验器件的参数，并根据所述偏置电压统计所述试验器件的参数变化值。

可选的，所述氢效应试验系统还包括：工控机；所述工控机与所述氢浓度控制模块、所述控温模块和所述抽真空模块均连接；

所述工控机用于控制所述氢浓度控制模块、所述控温模块和所述抽真空模块的启动或关闭。

本发明实施例与现有技术相比存在的有益效果是：该系统主要包括供电模块、氢浓度控制模块、控温模块、抽真空模块、参数测试模块和氢效应试验箱；其中，抽真空模块可以将氢效应试验箱内部设置为真空状态，排出氢效应试验箱内部残留的空气，防止发生爆炸等危险事件，氢浓度控制模块可以精确的控制氢效应试验箱内部的氢气浓度，避免废气影响器件性能，保证试验质量；控温模块能够精确控制氢效应试验箱内部的温度，满足试验器件的温度环境；供电模块对氢效应试验箱内部的试验器件施加偏置电压，参数测试模块监测试验器件的参数变化值，从而实现评价氢气浓度对试验器件的参数的影响。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的氢效应试验箱的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的另一种氢效应试验箱的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的氢效应试验系统的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的另一种氢效应试验系统的结构示意图。

具体实施方式

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本发明实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本发明。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本发明的描述。

为了说明本发明所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。

实施例一

参见图1，本实施例提供的一种氢效应试验箱100，包括金属腔体110、气体分流管道120、真空法兰盘130和温度控制设备140。气体分流管道120和温度控制设备140均设置在金属腔体110的内部。

金属腔体110的侧壁上设置进气孔11a，气体分流管道120通过进气孔11a与金属腔体110连接；真空法兰盘130设置在金属腔体110的侧壁上，真空法兰盘130的第一接线柱通过线缆与金属腔体110内部的试验器件101连接，真空法兰盘130的第二接线柱适于与外部供电模块和外部参数测试模块。

具体的，将试验器件101放置在氢效应试验箱100内，并使氢效应试验箱100内部处于真空状态，温度控制设备140将金属腔体110内部的温度控制在预设值；然后，外部氢浓度控制设备将预设浓度的氢气通过进气孔11a排入所述气体分流管道120，然后氢气经过气体分流管道120排入金属腔体110中，使所述试验器件101在氢气氛围中进行试验或测试。

另外，外部供电模块还可以通过真空法兰盘130对所述试验器件101施加偏置电压，外部参数测试模块通过所述真空法兰盘获取施加偏置电压前和施加偏置电压后的试验器件101的参数值，外部参数测试模块还可以根据施加偏置电压前的试验器件101的参数值和施加偏置电压后的试验器件101的参数值，确定施加偏置电压后的试验器件101的参数变化，以便评价氢气浓度对试验器件的参数的影响。

上述氢效应试验箱100中，金属腔体110密闭性好，气体分流管道120可以将氢气充分散入金属腔体110内，确金属腔体110内部各处氢气浓度一致，进而可以保证试验的准确性；温度控制设备140将金属腔体110内部的温度控制在预设值，确保试验器件101在稳定的温度环境中进行实验。

可选的，本实施例的真空法兰盘130的第一接线柱和第二接线柱均包括至少8个小接线柱，以便提供多路连接。第一接线柱(设置在金属腔体110的内侧壁上)连接金属腔体110内的试验器件101，第二接线柱(设置在金属腔体110的外侧壁上)连接外部供电模块和外部参数测试模块，外部供电模块对试验器件施加偏置电压，外部参数测试模块获取施加偏置电压前和施加偏置电压后的试验器件101的参数值。

可选的，本实施例的气体分流管道120可以采用单一的输入口和四个输出口，参见图2，氢气从气体分流管道120的输入口进入，从气体分流管道120的输出口排入金属腔体110内。多个输出口可以确保金属腔体110内各处氢气浓度一致，以便同时对多个试验器件101开展氢效应试验。本实施例对气体分流管道120的输出口的个数不做具体限定，还可以为四个输出口、六个输出口或多个输出口。

一个实施例中，参见图2，金属腔体110可以包括：金属盒体111、密封圈112和金属盖板113；金属盒体111的一个侧壁可以作为氢效应试验箱100的门，可以使氢效应试验箱100以侧开门的方式打开，便于取放试验器件101。

金属盒体111的内部设置气体分流管道120和温度控制设备140，金属盒体111的侧壁上设置进气孔11a和真空法兰盘130；金属盒体111通过密封圈112与金属盖板113密封连接。

金属盒体111与金属盖板113之间加装密封圈112，可以保证氢效应试验箱100的密封性，避免氢气泄露，造成气体燃烧或爆炸的现象发生，同时便于氢效应试验箱100内的废气收集。

可选的，参见图2，本实施例的金属盒体111的侧壁上还设置：出气孔11b。金属腔体110内部的废气通过出气孔11b排出，以便废气的收集。

具体的，本实施例的氢效应试验箱100可以存在两种工作状态：恒定氢气浓度和有限氢气浓度。恒定氢气浓度是指金属腔体110的进气孔11a和出气孔11b同时处于导通状态，在整个试验过程中预设浓度的氢气以一定的速率流入金属腔体110，参与试验器件101的响应，氢气流过试验器件101周围后再从出气孔11b排出。有限氢气浓度是指金属腔体110抽真空后，通入预设浓度的氢气，气体充满整个金属腔体110后，关闭进气孔11a和出气孔11b，整个试验过程中不再通入氢气，参与试验器件101反应的氢气是定量的，随着试验器件101的消耗浓度会逐渐下降。

一个实施例中，参见图2，温度控制设备140可以包括：至少四个温度传感器141和至少两个加热丝142；各个温度传感器141用于检测金属腔体110内部的温度；各个加热丝142用于根据各个温度传感器141检测的温度加热，控制金属腔体110内部的温度升高。

示例性的，温度控制设备140可以包括：四个温度传感器141和两个加热丝142；四个温度传感器141分别设置在金属腔体110内四个不同的角落，两个加热丝142设置在金属腔体110内两侧，如图1，各个温度传感器141检测金属腔体110内部不同位置的温度，加热丝142根据各个温度传感器141检测的温度加热。

一个实施例中，所述氢效应试验箱100还包括：包覆在金属腔体110外侧壁的保温材料；保温材料用于对金属腔体110的内部进行保温，以确保金属腔体110内温度的稳定性。

可选的，本实施例的保温材料为氧化铝多晶体纤维材料。氧化铝多晶体纤维材料为高保温材料，可以保证金属腔体110内温度的稳定性。

上述实施例中，氢效应试验箱100主要包括金属腔体110、气体分流管道120、真空法兰盘130和温度控制设备140；其中，金属腔体110密闭性好，外围还设置保温材料，确保金属腔体110内温度的稳定性；气体分流管道120可以将氢气充分散入金属腔体110内，确金属腔体110内部各处氢气浓度一致，进而可以保证试验的准确性；温度控制设备140将金属腔体110内部的温度控制在预设值，确保试验器件101在稳定的温度环境中进行实验。

实施例二

对应于实施例一中的氢效应试验箱100，本实施例提供了一种氢效应试验系统。具体参见图3，该系统主要包括：供电模块200、氢浓度控制模块300、控温模块400、抽真空模块500和参数测试模块600，还包括如实施例一中提供的任一种所述的氢效应试验箱100，也具有上述实施例一中任一种所述氢效应试验箱100的有益效果。氢浓度控制模块300、控温模块400和抽真空模块500均与氢效应试验箱100连接，供电模块200和参数测试模块600均通过真空法兰盘130与氢效应试验箱100内部的试验器件101连接。

其中，供电模块200对氢效应试验箱100内部的试验器件101施加偏置电压；抽真空模块500将氢效应试验箱100内部设置为真空状态，以使氢浓度控制模块300将预设浓度的氢气排入氢效应试验箱100内部，控温模块400将氢效应试验箱100内部的温度控制在预设值；参数测试模块600监测施加偏置电压后的所述试验器件101的参数变化值，进而评价氢气浓度对试验器件101的参数的影响。

氢气具有易燃易爆的特性，尤其是氢效应试验箱100中残留空气时，氢效应试验系统具有高度的危险性。因此本实施例的氢效应试验系统设有抽真空模块500，在对试验器件101进行试验前开启抽真空模块500，将管路及氢效应试验箱100内的空气抽走，形成真空状态，然后再通入预设浓度的氢气开展后续试验。

上述氢效应试验系统中，抽真空模块500可以将氢效应试验箱100内部设置为真空状态，排出氢效应试验箱100内部残留的空气，防止发生爆炸等危险事件，氢浓度控制模块300可以精确的控制氢效应试验箱100内部的氢气浓度，避免废气影响器件性能，保证试验的准确性；控温模块400能够精确控制氢效应试验箱100内部的温度，满足试验器件101的温度环境；供电模块200对氢效应试验箱100内部的试验器件101施加偏置电压，参数测试模块600监测试验器件101的参数变化值，从而实现评价氢气浓度对试验器件101的参数的影响。

可选的，供电模块200可以包括多路高精度直流稳压电源、试验电路布板、试验工装以及直流线缆等。本实施例对供电模块200的具体结构不做限定。

可选的，控温模块400可以包括温度控制器和线缆等。温度控制器通过线缆以及真空法兰盘130与氢效应试验箱100的温度传感器141和加热丝142连接，通过加热氢效应试验箱100内温度的方法来改变试验器件101的温度。具体的，温度传感器141实时监测氢效应试验箱100内温度并反馈给温度控制器，温度控制器根据反馈结果和所述预设值及时控制加热丝142是否加热，以维持氢效应试验箱100内的温度为预设值。示例性的，控温模块400可以实现控温范围在24℃-300℃的稳定输出，稳定度在预设值温度的±1℃。

一个实施例中，参见图4，氢浓度控制模块300可以包括：氢气供应模块310、气氛分析仪320和废气收集瓶330；氢气供应模块310与氢效应试验箱100的进气孔11a连接，气氛分析仪320和废气收集瓶330与氢效应试验箱100的出气孔11b连接。

氢气供应模块310根据过流速配比方法将预设浓度的氢气排入到氢效应试验箱100内部；废气收集瓶330收集氢效应试验箱100内部排出的废气；气氛分析仪320采集废气中的氢气浓度，以使氢气供应模块310根据废气中的氢气浓度调节预设浓度。

可选的，氢气供应模块310主要包括至少一个高纯氢气瓶311、用于控制对应的高纯氢气瓶311开关的加氢阀312、至少一个高纯氮气瓶313、用于控制对应的高纯氮气瓶313开关的加氮阀314、至少两个质量流量计315和混气罐316，加氢阀312与高纯氢气瓶311一一对应，加氮阀314与高纯氮气瓶313一一对应，质量流量计315与高纯氢气瓶311和高纯氮气瓶313一一对应。

实际应用中，不同浓度的氢气的配比是将纯氢气和纯氮气进行混合，配比出预设浓度的氢气。高纯氢气瓶311通过管道连接至对应的质量流量计315，高纯氮气瓶313通过管道连接至对应的质量流量计315，每个质量流量计315控制高纯氢气瓶311或高纯氮气瓶313流出气体的流速，并通用过流速配比法使气体流出达到预设浓度的氢气。本实施例还通过每个质量流量计315后的气体还可以进入到混气罐316中进行混合，使得的混合气体中氢气浓度更加均匀。

可以理解的，本实施例的预设浓度的氢气是根据试验器件101要求的氢气实验环境确定，所以本实施例对高纯氢气瓶311和高纯氮气瓶313的个数不做限定，均可以为一个，或均可以为多个，或者高纯氢气瓶311与高纯氮气瓶313的个数不同等，进一步的，本实施例对加氢阀312、加氮阀314和质量流量计315的个数也不做限定。

示例性的，参见图4，氢气供应模块310可以包括3路质量流量计315，分别为质量流量计a、质量流量计b和质量流量计c。质量流量计a、质量流量计b和质量流量计c的量程分别为6sccm、200sccm和1000sccm，可实现2％-100％量程范围内的流量准确以及连续可调，即质量流量计a可以在0.12sccm-6sccm范围内流量准确以及连续可调，质量流量计b可以在4sccm-200sccm范围内流量准确以及连续可调，质量流量计c可以在20sccm-1000sccm范围内流量准确以及连续可调。每个质量流量计315控制高纯氢气瓶311和高纯氮气瓶313流出气体的流速，并通用过流速配比法实现氢效应试验箱100中的氢气浓度100ppm-100％连续可调。

另外，氢效应试验箱100的排气口可以与一路转二路的气体分流管道连接，气氛分析仪320和废气收集瓶330分别与该气体分流管道的第一输出口和第二输出口连接。正常情况下，氢效应试验箱100的废气可以直接排空或排出点燃处理，本实施例对该废气进行收集和测试，利用气氛分析仪320测试废气中氢气浓度并显示，即测试氢效应试验箱100中氢气浓度并显示，验证氢浓度控制模块300的准确性以便及时控制加氢阀312的通断，修正输入氢气的预设浓度，提高试验的准确性，保证试验器件101在氢效应试验箱100中稳定试验。

上述氢浓度控制模块300，可以对混合气中氮氢比例(输入氢气的预设浓度)进行实时监测分析，还可以自动控制氢气供应模块310的加氢阀312，实现准确控制和指示混合气中氮氢比例，从而能够实现氢气浓度从100ppm到100％的连续可调，提高试验的准确性，保证试验器件101在氢效应试验箱100中稳定试验。

一个实施例中，参数测试模块600可以包括：半导体参数测试仪610和参数采集终端620；供电模块200、半导体参数测试仪610和参数采集终端620均通过线缆与氢效应试验箱100的真空法兰盘130的第二接线柱连接，真空法兰盘130的第一接线柱通过线缆与金属腔体110内部的试验器件101连接。

半导体参数测试仪610监测施加偏置电压前和施加偏置电压后的试验器件101的参数；参数采集终端620获取偏置电压和半导体参数测试仪610监测的试验器件101的参数，并根据所述偏置电压统计试验器件101的参数变化值，从而在线评价氢气浓度对试验器件101的参数的影响。

可选的，参数采集终端620可以为电脑或手机等终端，设备连接方便，便于数据采集。

可选的，参数测试模块600还可以包括图示仪，例如信号发生器，显示不同参数值和氢气浓度等条件下，试验器件101的射频参数波形等，便于观察氢气浓度对试验器件101的参数的影响。本实施例的图示仪可以通过射频线缆与真空法兰盘130的第二接线柱连接。

一个实施例中，所述氢效应试验系统还包括：工控机；工控机与氢浓度控制模块300、控温模块400和抽真空模块500均连接。工控机用于控制氢浓度控制模块300、控温模块400和抽真空模块500的启动或关闭，使氢效应试验系统更加智能化，减少人工参与，提高试验效率。

示例性的，对本实施例的氢效应试验系统的具体工作流程进行描述。首先将试验器件101放入氢效应试验箱100内，可以用坩埚钳把试验器件101放到氢效应试验箱100正中间的位置。然后点击工控机的菜单界面的“运行”按钮进入运行界面，点击运行界面的“抽真空模块500”按钮，对氢效应试验箱100进行抽真空，待氢效应试验箱100内的压力数值从“0kpa”降低到“-98kpa”时，表示氢效应试验箱100为真空状态，再点击“抽真空模块500”按钮，关闭抽真空模块500。

然后，点击运行界面的“参数设置”按钮，进入“参数设置”界面，设定质量流量计a、质量流量计b和质量流量计c的进气流量，还可以在“参数设置”界面点击“加氢阀1”、“加氮阀1”、“加氮阀2”三个按钮，控制三个气体通道的通断，直至得到预设浓度的氢气。得到预设浓度的氢气后，点击“参数设置”界面的“工艺配方”按钮，进入配方编辑页面，对试验温度和试验时间进行设置。例如，使氢效应试验箱100的内部温度从室温升到200℃用30min，然后在200℃下保温60min，然后自然降温等。设置好“工艺配方”后，点击“运行”按钮，回到运行界面，开启控温模块400和参数测试模块600，氢效应试验箱100开始进行加热及保温。

当氢效应试验箱100内的环境处于该试验器件101的实验环境时，试验器件101进行试验或测试，供电模块200对氢效应试验箱100内部的试验器件101施加偏置电压，参数测试模块600监测试验器件101的参数变化值，从而实现评价氢气浓度对试验器件101的参数的影响。

上述实施例中，氢效应试验系统主要包括供电模块200、氢浓度控制模块300、控温模块400、抽真空模块500、参数测试模块600和氢效应试验箱100；其中，抽真空模块500可以将氢效应试验箱100内部设置为真空状态，排出氢效应试验箱100内部残留的空气，防止发生爆炸等危险事件，氢浓度控制模块300可以精确的控制氢效应试验箱100内部的氢气浓度，避免废气影响器件性能，保证试验的质量；控温模块400能够精确控制氢效应试验箱100内部的温度，满足试验器件101的温度环境；供电模块200对氢效应试验箱100内部的试验器件101施加偏置电压，参数测试模块600监测试验器件101的参数变化值，从而实现评价氢气浓度对试验器件101的参数的影响。

应理解，上述实施例中各步骤的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，仅以上述各功能单元、模块的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能单元、模块完成，即将所述装置的内部结构划分成不同的功能单元或模块，以完成以上描述的全部或者部分功能。实施例中的各功能单元、模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中，上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。另外，各功能单元、模块的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本申请的保护范围。上述系统中单元、模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述或记载的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本发明的范围。

在本发明所提供的实施例中，应该理解到，所揭露的系统和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块或单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通讯连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通讯连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

以上所述实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围，均应包括在本发明的保护范围之内。