自动排风装置的制作方法

本发明涉及排风装置的技术领域，尤其是涉及一种自动排风装置。

背景技术：

在半导体单片工艺里，晶圆在清洗过程中往往要使用hf、h2so4、hno3、koh等强腐蚀性气体，强腐蚀性气体经过加热后挥发在设备空间内，严重危害着人体健康。由于工艺及环境的不同要求，技术人员对排风量的大小往往需要控制，排风量过大，则易将晶圆表面喷洒的药液吸走，排风量过小则有害气体会在单片清洗腔内存留，危害身体健康。而传统的排风装置，往往只是直通管道式引出，并不具备调节风量的功能，甚至需要人为开启或者关闭。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种自动排风装置，以实现自动控制排风的开关动作。

本发明提供的一种自动排风装置，其中，包括：排风管道和第一调节模块；其中，所述第一调节模块包括：旋转气缸、气缸安装架、第一挡片和第一转轴；

所述排风管道内安装有所述第一转轴，且所述第一转轴的顶端与安装于所述排风管道外的所述旋转气缸连接，所述气缸安装架安装在所述排风管道上，用于固定所述旋转气缸，在所述第一转轴上固定有所述第一挡片，通过所述旋转气缸的通气转动带动所述第一转轴和所述第一挡片的旋转，以控制排风的开关动作。

进一步的，所述自动排风装置还包括：第二调节模块，所述第二调节模块包括：转动手柄、第二转轴、蝶形螺母和第二挡片：

所述排风管道内安装有所述第二转轴，且所述第二转轴的顶端与安装于所述排风管道外的所述转动手柄连接，所述第二转轴的底部与所述蝶形螺母连接，在所述第二转轴上固定有所述第二挡片，其中，通过转动所述转动手柄和所述蝶形螺母，带动所述第二转轴和所述第二挡片的旋转，以调节排风量。

进一步的，所述排风管道包括：90度的弯头和排风管，所述90度的弯头的一侧和所述排风管焊接为一体。

进一步的，所述90度的弯头和所述排风管的材质为不锈钢镜面管。

进一步的，所述第一调节模块和所述第二调节模块均安装在排风管上，且所述第二调节模块设置于所述第一调节模块和所述90度的弯头之间。

进一步的，所述自动排风装置包括法兰，所述法兰与所述90度的弯头的另一侧焊接为一体，通过所述法兰将所述90度的弯头与待通风腔体连接。

进一步的，所述第一调节模块还包括：焊接栽钉，所述焊接栽钉用于将所述气缸安装架固定在所述排风管上。

进一步的，所述第一调节模块还包括：垫片，所述垫片安装在所述第一转轴与所述排风管的相对运动位置处，防止相对运动位置处有废气泄漏。

进一步的，所述第一调节模块还包括：第一转轴限位垫，所述第一转轴限位垫设置于所述第一转轴与所述排风管外表面之间，将所述第一转轴的底部固定在所述排风管上。

进一步的，所述第二调节模块还包括：第二转轴垫圈，所述第二转轴垫圈设置于所述蝶形螺母与所述排风管外表面之间，保护所述蝶形螺母和所述排风管外表面不受磨损。

本发明提供的一种自动排风装置，包括：排风管道和第一调节模块；其中，第一调节模块包括：旋转气缸、气缸安装架、第一挡片和第一转轴；排风管道内安装有第一转轴，且第一转轴的顶端与安装于排风管道外的旋转气缸连接，气缸安装架安装在排风管道上，用于固定旋转气缸，在第一转轴上固定有第一挡片，通过旋转气缸的通气转动带动第一转轴和第一挡片的旋转，以控制排风的开关动作。本发明通过旋转气缸的通气转动带动第一转轴和第一挡片的旋转的方式，能够控制排风的开关动作，从而实现排风装置进行自动排风的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的自动排风装置的主视图；

图2为本发明实施例提供的自动排风装置的侧视图；

图3为本发明实施例提供的自动排风装置的剖视图；

图4为本发明实施例提供的自动排风装置的轴测图；

图5为本发明实施例提供的自动排风装置与待通风腔体的连接图。

图标：

1-法兰；2-90度的弯头；3-排风管；4-焊接栽钉；6-旋转气缸；7-第二挡片；8-垫片；9-气缸安装架；10-第一挡片；11-第一转轴；12-第一转轴限位垫；13-转动手柄；14-第二转轴；15-第二转轴垫圈；16-蝶形螺母。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

目前，传统的排风装置，往往只是直通管道式引出，并不具备调节风量的功能，甚至需要人为开启或者关闭。基于此，本发明实施例提供一种自动排风装置，通过旋转气缸的通气转动带动第一转轴和第一挡片的旋转的方式，能够控制排风的开关动作，从而实现排风装置进行自动排风的技术效果。

为便于对本实施例进行理解，首先对本发明实施例所公开的一种自动排风装置进行详细介绍。

实施例一：

参照图1至图5，本发明实施例提供一种自动排风装置，上述自动排风装置包括：排风管道和第一调节模块；其中，第一调节模块包括：旋转气缸6、气缸安装架9、第一挡片10和第一转轴11。

排风管道内安装有第一转轴11，且第一转轴11的顶端与安装于排风管道外的旋转气缸6连接，气缸安装架9安装在排风管道上，用于固定旋转气缸6，在第一转轴11上固定有第一挡片10，通过旋转气缸6的通气转动带动第一转轴11和第一挡片10的旋转，以控制排风的开关动作。

在本发明实施例中，旋转气缸6是气缸中的一种类型，它自身可以在小于360度角范围内作往复旋转的气缸。旋转气缸6是一种将压缩空气的压力能转换成机械能的装置，利用压缩空气驱动第一转轴11在0度至90度内作往复回转运动的气动执行元件。旋转气缸6可以用于带动第一转轴11和第一挡片10的旋转，相当于阀门的开闭。第一转轴11可以为一字型转轴或者其他结构的转轴。

需要注意的是，旋转气缸6的摆动角度为90度，可以控制带动第一挡片10进行90度的转动，进而实现排风的开启和关闭动作。第一挡片10为圆形挡片，第一挡片10的外径大小要略小于排风管3的内径，而本发明实施例对第一挡片10的厚度不做任何要求。若旋转气缸6带动第一挡片10旋转90度后与排风管3的横截面垂直，则是开启动作；若旋转气缸6带动第一挡片10旋转90度后与排风管3的横截面平行，则是关闭动作。需要注意的是，旋转气缸6不能直接固定在排风管3上，而是需要气缸安装架9将旋转气缸6固定在排风管道上。

本发明实施例提供的一种自动排风装置，包括：排风管道和第一调节模块；其中，第一调节模块包括：旋转气缸6、气缸安装架9、第一挡片10和第一转轴11；排风管道内安装有第一转轴11，且第一转轴11的顶端与安装于排风管道外的旋转气缸6连接，气缸安装架9安装在排风管道上，用于固定旋转气缸6，在第一转轴11上固定有第一挡片10，通过旋转气缸6的通气转动带动第一转轴11和第一挡片10的旋转，以控制排风的开关动作。本发明通过旋转气缸6的通气转动带动第一转轴11和第一挡片10的旋转的方式，能够控制排风的开关动作，从而实现排风装置进行自动排风的技术效果。

进一步的，自动排风装置还包括：第二调节模块，第二调节模块包括：转动手柄13、第二转轴14、蝶形螺母16和第二挡片7。

排风管道内安装有第二转轴14，且第二转轴14的顶端与安装于排风管道外的转动手柄13连接，第二转轴14的底部与蝶形螺母16连接，在第二转轴14上固定有第二挡片7，其中，通过转动转动手柄13和蝶形螺母16，带动第二转轴14和第二挡片7的旋转，以调节排风量。

在本发明实施例中，利用转动手柄13的转动来调节第二转轴14，可以方便操作人员操作机械。在实际应用中，蝶形螺母16需要第二转轴14配套使用，对于蝶形螺母16的工艺、形状、材料等其他不做任何要求。另外，第二转轴14为手动转轴，第二挡片7的结构可以与第一挡片10的结构相同，也可以不同。本发明实施例可以通过第二调节模块实现调节任意排风量。

进一步的，排风管道包括：90度的弯头2和排风管3，90度的弯头2的一侧和排风管3焊接为一体。

在本发明实施例中，排风管道分成90度的弯头2和排风管3，经90度的弯头2变为平行于待通风腔体进行横向出气，从而避免废气凝结的二次污染。

进一步的，90度的弯头2和排风管3的材质为不锈钢镜面管。

在本发明实施例中，对单片清洗腔体进行清洗的液体一般都具有腐蚀性，因此，采用耐腐蚀性强的不锈钢镜面管作为90度的弯头2和排风管3的材质。此外，不锈钢镜面管无毒、坚固且延展性好、适用于各种饮用水化学成分、维修量小、寿命周期成本低、易于成型和焊接、适用于多种连接方法和不同类型的弯头。

进一步的，第一调节模块和第二调节模块均安装在排风管3上，且第二调节模块设置于第一调节模块和90度的弯头2之间。

进一步的，自动排风装置包括法兰1，法兰1与90度的弯头2的另一侧焊接为一体，通过法兰1将90度的弯头2与待通风腔体连接。

在本发明实施例中，待通风腔体包括任一单片清洗腔体，通过法兰1可以与任一单片清洗腔体进行连接，连接结构简单小巧，安装简单，且拆卸方便。

进一步的，第一调节模块还包括：焊接栽钉4，焊接栽钉4用于将气缸安装架9固定在排风管3上。

进一步的，第一调节模块还包括：垫片8，垫片8安装在第一转轴11与排风管3的相对运动位置处，防止相对运动位置处有废气泄漏。

进一步的，第一调节模块还包括：第一转轴限位垫12，第一转轴限位垫12设置于第一转轴11与排风管3外表面之间，将第一转轴11的底部固定在排风管3上。

在本发明实施例中，第一转轴限位垫还可以用于对第一转轴11进行旋转角度限位。限位角度可以为90度或180度。

进一步的，第二调节模块还包括：第二转轴垫圈15，第二转轴垫圈15设置于蝶形螺母16与排风管3外表面之间，保护蝶形螺母16和排风管3外表面不受磨损。

在本发明实施例中，第二转轴垫圈15可以增大蝶形螺母16与排风管3外表面之间的面积，用于保护蝶形螺母16和排风管3外表面不受磨损。

实施例二：

参照图1至图4，具体描述自动排风装置的整体结构：

法兰1与90度的弯头2、排风管3焊接为一体，其中，90度的弯头2和排风管3为外径50厘米的不锈钢镜面管。另外，在排风管3上焊接有焊接栽钉4，气缸安装架9通过焊接栽钉4安装在排风管3上，旋转气缸6安装在气缸安装架9上。旋转气缸6通过键和顶丝与第一转轴11的一端相连，第一转轴11上安装有第一挡片10。第一转轴11的另一端安装有第一转轴限位垫12，第一转轴限位垫12将第一转轴11的底部固定在排风管3上。当旋转气缸6通气转动时，带动第一转轴11上安装的第一挡片10进行90度的转动，进而实现排风道的开启和关闭动作。为了防止第一转轴11和排风管3相对运动处有废气泄漏，在第一转轴11和排风管3相对运动处安装有耐腐蚀塑料材质垫片8。在90度的弯头2和旋转气缸6之间还有一处安装孔，在安装孔处安装第二转轴14，第二转轴14上固定有第二挡片7，第二转轴14一段安装有转动手柄13，通过转动手柄13的转动，带动第二转轴14上固定的第二挡片7转动，从而达到任意调节排风量的目的。

当第二挡片7与排风管3的横截面垂直时，将排风量控制到最大，且废气可以顺利从排风管3内通过；通过转动手柄13调节第二挡片7与排风管3的横截面之间的角度将第二挡片7转动到与排风管3的横截面的角度越小，排风量越小。

参照图5，图5为该自动排风装置安装在待通风腔体上面的安装示意图。为避免传统的排风筒直接在待通风腔体上部出风，废气凝结后液滴重新滴落单片腔内污染腔体，本发明实施例提供的自动排风装置从待通风腔体侧面引出，经90度的弯头2变为平行于待通风腔体进行横向出气，从而避免废气凝结的二次污染。因此，本发明提供的自动排风装置的出口处方向可根据实际需要进行设计。

本发明实施例提供的一种自动排风装置，包括：排风管道和第一调节模块；其中，第一调节模块包括：旋转气缸6、气缸安装架9、第一挡片10和第一转轴11；排风管道内安装有第一转轴11，且第一转轴11的顶端与安装于排风管道外的旋转气缸6连接，气缸安装架9安装在排风管道上，用于固定旋转气缸6，在第一转轴11上固定有第一挡片10，通过旋转气缸6的通气转动带动第一转轴11和第一挡片10的旋转，以控制排风的开关动作。本发明实施例可以通过旋转气缸6的通气转动带动第一转轴11和第一挡片10的旋转，控制自动开启或者关闭动作，可以实现自动排风。

附图中的流程图和框图显示了根据本发明的多个实施例的产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这可以依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

在本发明所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

另外，在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应作为本发明的保护范围。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。