具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外LED及制备方法与流程

本发明涉及半导体光电领域，特别是一种具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led及制备方法。

背景技术：

ⅲ族氮化物作为宽禁带半导体材料中的杰出代表，已经实现了高效的蓝绿光发光二极管(全称light-emittingdiodes，简称led)、激光器等固态光源器件，其在平板显示、白光照明等应用方面取得了巨大成功。近十年来，人们期望将这种高效的发光材料应用于紫外波段，以满足日益增长的紫外光源需求。紫外波段根据其生物效应通常可分为：长波紫外(即uva，波长为320～400nm)、中波紫外(即uvb，波长为280～320nm)、短波紫外(即uvc，波长为200～280nm)以及真空紫外(即vuv，波长为10～200nm)。紫外线虽然不能被人类眼睛所感知，但其应用却非常广泛。长波紫外光源在医学治疗、紫外固化、紫外光刻、信息存储、植物照明等领域有着巨大的应用前景；而深紫外光包含中波紫外和短波紫外，则在杀菌消毒、水净化、生化探测、非视距通信等方面有着不可替代的作用。目前，传统紫外光源主要是汞灯，具有体积大、功耗高、电压高、污染环境等缺点，不利于其在日常生活及特殊环境下的应用。因此，人们迫切希望研制出一种高效的半导体紫外光源器件以替代传统的汞灯。现有研究表明ⅲ族氮化物中的algan是制备半导体紫外光源器件的最佳候选材料，algan基紫外led具有无毒环保、小巧便携、低功耗、低电压、易集成、寿命长、波长可调等诸多优势，有望在未来几年取得突破性进展以及广泛应用，并逐步取代传统紫外汞灯。

目前，alxga1-xn材料的禁带宽度可通过改变al组分实现从3.4ev(gan)到6.2ev(aln)范围内的连续可调，能够实现从365nm到200nm光谱范围内的发光。其中，gan的带边发光波长约为360nm，通常作为氮化物紫外发光二极管(全称ultravioletlight-emittingdiodes,简称uv-led)发光波段的一个划分标志。发光波长大于360nm的uv-led的有源区采用和蓝光led类似的gan/ingan量子阱(qws)结构。其相关研究早在上世纪90年代就已开始，目前已成功商业化，外量子效率(eqe)也已超过40％，达到了与蓝光led相比拟的水平。

相比之下，发光波长小于360nm的uvled则主要采用algan量子阱结构作为有源区，其量子效率远没有这么令人满意。导致高al组分algan基深紫外led效率偏低的一个主要原因是存在明显的电子溢流效应，来源于电子注入层的电子越过电子阻挡层至p型层，造成了p型层发光，降低了内量子效率。故需要提出一种新的紫外led方案用于解决现有技术中存在的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led及制备方法，用于解决现有技术中由于电子溢流效应而导致深紫外led效率低的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供的第一解决方案为：一种具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led，包括蓝宝石衬底、aln本征层、n型algan层、电流扩展层、量子阱有源层、啁啾超晶格最终势垒层、电子阻挡层、p型algan注入层和p型gan接触层；于蓝宝石衬底上依次沉积aln本征层、n型algan层、电流扩展层、量子阱有源层、啁啾超晶格最终势垒层、电子阻挡层、p型algan注入层和p型gan接触层；啁啾超晶格最终势垒层为厚度啁啾且由若干alaga1-an层和若干albga1-bn层周期交替组成的超晶格结构。

其中，啁啾超晶格最终势垒层中包含由alaga1-an层和albga1-bn层组成的n个周期，n≥1；在n＝1的周期中，alaga1-an层和albga1-bn层的厚度分别为x和y；沿量子阱有源层至电子阻挡层的方向上，在alaga1-an层和albga1-bn层组成的n个周期中，alaga1-an层和albga1-bn层的厚度分别为x±n·t和y±n·t，其中t满足0.1nm≤t≤10nm。

优选的，alaga1-an层为单一alaga1-an组分的单层结构，albga1-bn层为单一albga1-bn组分的单层结构，且a和b满足0.4＜a＜b＜1。

优选的，alaga1-an层为组分渐变式单层结构且al组分参数a由数值c线性渐变至d，albga1-bn层为单一albga1-bn组分的单层结构，其中b、c和d满足0.4＜c＜d＜b＜1。

优选的，alaga1-an层为单一alaga1-an组分的单层结构，albga1-bn层为组分渐变式单层结构且al组分参数b由数值e线性渐变至f，其中a、e和f满足0.4＜a＜f＜e＜1。

优选的，alaga1-an层为组分渐变式单层结构且al组分参数a由数值g线性渐变至h，albga1-bn层为组分渐变式单层结构且al组分参数b由数值j线性渐变至k，其中g、h和k满足0.4＜g＜h＜j＜k＜1。

优选的，p型algan注入层和p型gan接触层中所采用的掺杂剂为mg。

为解决上述技术问题，本发明提供的第二解决方案为：一种具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led制备方法，其特征在于，具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led制备方法采用金属有机化学气相沉积法制备前述第一解决方案中任一具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led。

其中，具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led制备方法步骤包括：在400～800℃条件下，于蓝宝石衬底上生长aln本征层中的缓冲层，厚度为10～50nm；升温至1200～1400℃，于aln本征层中的缓冲层上生长aln本征层，aln本征层的总厚度为500～4000nm；降温至800～1200℃，于aln本征层上生长n型algan层，其中al组分百分数为20～90％，厚度为500～4000nm；降温至700～1100℃，于n型algan层上一侧依次生长电流扩展层和量子阱有源层，其中量子阱有源层的势垒厚度为5～30nm且势垒中al组分百分数为20～100％，势阱厚度为0.1～5nm且势阱中al组分百分数为0～80％；在700～1100℃条件下，于的量子阱有源层上生长啁啾超晶格最终势垒层，啁啾超晶格最终势垒层为厚度啁啾且由若干alaga1-an层和若干albga1-bn层周期交替组成的超晶格结构，且a＜b，其中albga1-bn层的厚度为0.1～5nm且0.2＜b＜1，alaga1-an层的厚度为0.1～5nm且0＜a＜0.8；在700～1100℃条件下，于啁啾超晶格最终势垒层上生长电子阻挡层，厚度为5～50nm，al组分百分数为30～100％；在700～1100℃条件下，于电子阻挡层上生长p型algan注入层，al组分百分数为0-100％，厚度为1～50nm，并采用mg作为p型掺杂剂；在400～900℃条件下，于p型algan注入层上生长p型gan接触层，厚度为1～20nm，并采用mg作为p型掺杂剂。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供一种具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led及制备方法，通过引入啁啾超晶格最终势垒层，降低了电子隧穿至p型algan注入层的概率，削弱了电子溢流效应，从而提高了深紫外led的发光效率。

附图说明

图1是本发明中具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led一实施方式的结构示意图；

图2是本发明中具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led一实施方式的能带对比图；

图3是本发明中具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led一实施方式的出光功率图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本发明保护的范围。

对于本发明中提出的第一解决方案，请参阅图1，图1是本发明中具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led一实施方式的结构示意图。本发明中具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led，包括蓝宝石衬底1、aln本征层2、n型algan层3、电流扩展层4、量子阱有源层5、啁啾超晶格最终势垒层6、电子阻挡层7、p型algan注入层8和p型gan接触层9；于蓝宝石衬底1上依次沉积aln本征层2、n型algan层3、电流扩展层4、量子阱有源层5、啁啾超晶格最终势垒层6、电子阻挡层7、p型algan注入层8和p型gan接触层9；此外，还可在p型gan接触层9上设置p电极10，在n型algan层3远离电流扩展层4的一侧设置n电极11，以构成完整的深紫外led器件；其中，啁啾超晶格最终势垒层6为厚度啁啾且由若干alaga1-an层和若干albga1-bn层周期交替组成的超晶格结构，通过引入厚度啁啾的超晶格结构作为最终势垒，降低了电子隧穿至p型algan注入层的概率，削弱了电子溢流效应，从而提高了深紫外led的发光效率。

具体地，对上述啁啾超晶格最终势垒层的结构设置进行详细描述。对于啁啾超晶格最终势垒层的厚度设置方面，啁啾超晶格最终势垒层中包含由alaga1-an层和albga1-bn层组成的n个周期，n≥1；在n＝1的周期中，alaga1-an层和albga1-bn层的厚度分别为x和y；沿量子阱有源层至电子阻挡层的方向上，在alaga1-an层和albga1-bn层组成的n个周期中，alaga1-an层和albga1-bn层的厚度分别为x±n·t和y±n·t，其中t满足0.1nm≤t≤10nm，即本方案中多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度既可以是同步线性递增的方式，也可以是同步线性递减的方式，这两种设置方式可根据实际情况进行选择，在此不作限定。

对于啁啾超晶格最终势垒层的组分比例设置方面，可存在以下四种设置方式：(1)alaga1-an层为单一alaga1-an组分的单层结构，albga1-bn层为单一albga1-bn组分的单层结构，且a和b满足0.4＜a＜b＜1；(2)alaga1-an层为组分渐变式单层结构且al组分参数a由数值c线性渐变至d，albga1-bn层为单一albga1-bn组分的单层结构，其中b、c和d满足0.4＜c＜d＜b＜1；(3)alaga1-an层为单一alaga1-an组分的单层结构，albga1-bn层为组分渐变式单层结构且al组分参数b由数值e线性渐变至f，其中a、e和f满足0.4＜a＜f＜e＜1；(4)alaga1-an层为组分渐变式单层结构且al组分参数a由数值g线性渐变至h，albga1-bn层为组分渐变式单层结构且al组分参数b由数值j线性渐变至k，其中g、h和k满足0.4＜g＜h＜j＜k＜1。

综合啁啾超晶格最终势垒层的厚度和组份比例两方面的设置情况，可知本方案中啁啾超晶格最终势垒层的具体设置方式总有八种，依次为：(1)多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度依次递增，且alaga1-an层为单一alaga1-an组分的单层结构，albga1-bn层为单一albga1-bn组分的单层结构；(2)多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度依次递增，且alaga1-an层为组分渐变式单层结构，albga1-bn层为单一albga1-bn组分的单层结构；(3)多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度依次递增，且alaga1-an层为单一alaga1-an组分的单层结构，albga1-bn层为组分渐变式单层结构；(4)多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度依次递增，且alaga1-an层为组分渐变式单层结构，albga1-bn层为组分渐变式单层结构；(5)多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度依次递减，且alaga1-an层为单一alaga1-an组分的单层结构，albga1-bn层为单一albga1-bn组分的单层结构；(6)多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度依次递减，且alaga1-an层为组分渐变式单层结构，albga1-bn层为单一albga1-bn组分的单层结构；(7)多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度依次递减，且alaga1-an层为单一alaga1-an组分的单层结构，albga1-bn层为组分渐变式单层结构；(8)多周期alaga1-an层和albga1-bn层的厚度依次递减，且alaga1-an层为组分渐变式单层结构，albga1-bn层为组分渐变式单层结构。可根据实际需求采用适宜的设置方案，在此不作限定。

请参阅图2，图2是本发明中具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led一实施方式的能带对比图，其中a图commonlb代表的是传统最终势垒结构的能带，而b、c、d图sllb-i、sllb-e、sllb-d分别代表的是本发明中啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led三个不同设置方式的样品，对比可以看出，相比于传统最终势垒结构，啁啾超晶格最终势垒结构可以提高电子阻挡层电子势垒高度，降低空穴注入势垒高度，从而阻挡电子向p型层进行输运，从而削弱了电子溢流效应。

对于本发明提出的第二解决方案，具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led制备方法步骤包括：在400～800℃条件下，于蓝宝石衬底上生长aln本征层中的缓冲层，厚度为10～50nm；升温至1200～1400℃，于aln本征层中的缓冲层上生长aln本征层，aln本征层的总厚度为500～4000nm；降温至800～1200℃，于aln本征层上生长n型algan层，其中al组分百分数为20～90％，厚度为500～4000nm；降温至700～1100℃，于n型algan层上一侧依次生长电流扩展层和量子阱有源层，其中量子阱有源层的势垒厚度为5～30nm且势垒中al组分百分数为20～100％，势阱厚度为0.1～5nm且势阱中al组分百分数为0～80％；在700～1100℃条件下，于的量子阱有源层上生长啁啾超晶格最终势垒层，啁啾超晶格最终势垒层为厚度啁啾且由若干alaga1-an层和若干albga1-bn层周期交替组成的超晶格结构，且a＜b，其中albga1-bn层的厚度为0.1～5nm且0.2＜b＜1，alaga1-an层的厚度为0.1～5nm且0＜a＜0.8；在700～1100℃条件下，于啁啾超晶格最终势垒层上生长电子阻挡层，厚度为5～50nm，al组分百分数为30～100％；在700～1100℃条件下，于电子阻挡层上生长p型algan注入层，al组分百分数为0-100％，厚度为1～50nm，并采用mg作为p型掺杂剂；在400～900℃条件下，于p型algan注入层上生长p型gan接触层，厚度为1～20nm，并采用mg作为p型掺杂剂。

由于第二解决方案中的具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led制备方法用于制备前述第一解决方案中的具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led，故两个方案中的具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led的结构和功能应保持一致。

进一步地，对上述具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led的出光功率进行测试，并与传统最终势垒结构的深紫外led进行对比，如图3所示，根据图3进行计算，得到本发明中具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led的出光功率较传统深紫外led的出光功率有16.3％的提升，即证明本发明中具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led能够器件的发光效率显著提高。

区别于现有技术的情况，本发明提供一种具有啁啾超晶格最终势垒结构的深紫外led及制备方法，通过引入啁啾超晶格最终势垒层，降低了电子隧穿至p型algan注入层的概率，削弱了电子溢流效应，从而提高了深紫外led的发光效率。

以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。