技术总结
本发明提供用于以较高的输送可靠性一并输送多张基板的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置包括：基座；保持部；至少3个检测部；以及控制部。保持部以相对于基座进退自如的方式设置且能够多层地保持多张基板。检测部用于分别在不同的位置对由保持部保持着的基板的外缘进行检测。控制部根据检测部的检测结果来推断基板的位置，并对推断出的基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，在判断为计算出的偏离量在阈值以内的情况下，执行由保持部保持着的多张基板的输送。
技术研发人员：林徳太郎
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2015.12.23
技术公布日：2020.01.24