技术总结
本发明提供一种劈刀、打线设备及打线方法，所述劈刀包括一锥形部以及一瓶颈部，所述瓶颈部连接于所述锥形部的末端，所述锥形部及所述瓶颈部具有供金属线穿过的线孔，所述瓶颈部的端面与水平面的夹角不大于5度。本发明对打线设备的劈刀进行了改进，将劈刀的瓶颈部设计为矩形，大大降低瓶颈部末端倾角的角度，使得金属球的尺寸大大减小，本发明的金属球的尺寸为140微米～160微米之间，可满足垂直打线工艺对金属线尺寸的要求，有效提高晶圆级封装的集成度。集成度。集成度。
技术研发人员：黄晗 林正忠 吴政达 陈彦亨 赵梦波
受保护的技术使用者：中芯长电半导体（江阴）有限公司
技术研发日：2019.10.17
技术公布日：2021/4/19