一种槽体支撑机构的制作方法

本实用新型属于半导体湿式制程设备领域，更具体的是一种槽体支撑机构。

背景技术：

目前半导体湿式制程设备发展迅速，现有的槽体支撑机构无法满足设计要求，需设计占用空间小、连接紧密、结构稳定的机构，相信未来将会得到进一步完善，以满足使用时的不同需求；

现有的槽体支撑机构在使用的过程中存在一定的弊端，结构设计不合理，连接不紧密，占用空间大，空间利用率较低，且槽体支撑不稳定，容易被粉尘污染，整个操作过程较为繁琐，给工作人员带来不便。

技术实现要素：

为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种槽体支撑机构，通过将一号支撑块和右支撑板与外槽焊接为一体，将一号衔接板与内槽安装外框焊接为一体，并通过一号螺栓与二号螺栓将一号衔接板与一号支撑块进行连接，完成对内槽的固定，整体结构设计紧密，有效的提高了空间利用率，具有优良的支撑内槽的作用，稳定性极佳，能够有效的防止粉尘污染；内槽通过上滑动档板与下滑动挡板沿着上限位块与下限位块滑进内槽安装外框内，且内槽穿过内槽安装通孔凸出于内槽安装外框底部，其中上限位块与下限位块能够有效的防止上滑动档板与下滑动挡板侧向滑动，从而确保内槽的稳定性，整个过程简单快捷，便于工作人员操作。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种槽体支撑机构，包括外槽，所述外槽内侧壁上设置有左支撑板与右支撑板，所述外槽内设置有内槽安装外框，贯穿所述内槽安装外框底部设置有内槽，所述内槽安装外框两侧外表面中间位置对称设置有一号衔接板与二号衔接板，所述一号衔接板底端安装有一号支撑块，所述一号支撑块关于内槽安装外框对称位置设置有二号支撑块，所述内槽上连通有至少一组石英管；

所述一号衔接板包括垫板、右侧板与左侧板，所述左侧板与右侧板分别安装于垫板两端，贯穿所述垫板与一号支撑块之间连接有一号螺栓与二号螺栓；

所述内槽安装外框底端开设有内槽安装通孔，所述内槽安装外框一侧内壁上安装有两组上限位块，所述内槽安装外框底部安装有环形挡板，环形挡板与内槽安装通孔端口相切，所述内槽安装外框另一侧内壁上安装有两组下限位块，所述内槽外侧壁上安装有上滑动挡板与下滑动挡板。

作为本实用新型进一步的方案：两组所述上限位块之间的距离与上滑动挡板的长度相同，且上滑动挡板相切于两组上限位块之间，两组所述下限位块之间的距离与下滑动挡板的长度相同，且下滑动挡板相切于两组所述下限位块之间，所述内槽通过上滑动挡板与下滑动挡板配合上限位块与下限位块滑动安装于内槽安装外框内，环形挡板的宽度与上滑动挡板和下滑动挡板的宽度相同。

作为本实用新型进一步的方案：所述上滑动挡板与下滑动挡板对称焊接在内槽外侧壁上，且内槽上端口设计为波浪状，每组所述石英管包括两个进水管与一个出水管，进水管的喷口与水平面呈45度设置。

作为本实用新型进一步的方案：所述左侧板与右侧板的形状均为梯形，且左侧板与右侧板均焊接在内槽安装外框外侧壁上，且左侧板与右侧板关于垫板对称设置。

作为本实用新型进一步的方案：所述一号支撑块上开设有两组螺栓槽，所述垫板通过一号螺栓与二号螺栓配合螺栓槽与一号支撑块连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述左支撑板和右支撑板垂直面均与外槽内侧壁焊接，且左支撑板与右支撑板的形状均为梯形，所述一号支撑块和二号支撑块端面均与外槽内侧壁焊接，且左支撑板与右支撑板对称设置，所述左支撑板与右支撑板的数量均为两组，两组左支撑板对称焊接在一号支撑块底端，两组右支撑板对称焊接在二号支撑块底端。

作为本实用新型进一步的方案：所述内槽与内槽安装通孔相吻合，所述环形挡板与上滑动挡板和下滑动挡板配合。

作为本实用新型进一步的方案：三组并排所述石英管与内槽连通，另一组石英管贯穿内槽安装外框侧壁与内槽连通。

本实用新型的有益效果：

1、通过设置有四组支撑机构，支撑机构包括右支撑板、一号支撑块与一号衔接板，通过将一号支撑块和右支撑板与外槽焊接为一体，将一号衔接板与内槽安装外框焊接为一体，并通过一号螺栓与二号螺栓将一号衔接板与一号支撑块进行连接，完成支撑机构的组装，同时完成对内槽的固定，四组支撑机构分布于外槽内侧边角位置，且其与外槽焊接为一体，左支撑板与右支撑板的形状设计为梯形，结构设计紧密，保持了内槽的稳定，减少占用空间，有效的提高了空间利用率，具有优良的支撑内槽的作用，稳定性极佳，同时内槽安装外框通过安装于外槽内，能够有效的防止粉尘污染。

2、内槽通过上滑动档板与下滑动挡板沿着上限位块与下限位块滑进内槽安装外框内，且内槽穿过内槽安装通孔凸出于内槽安装外框底部，环形挡板与上滑动档板与下滑动挡板相切，其中上限位块与下限位块能够有效的防止上滑动档板与下滑动挡板侧向滑动，从而确保内槽的稳定性，整个过程简单快捷，便于工作人员操作。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型中外槽的内部结构示意图。

图2是本实用新型中内槽安装外框的外部结构示意图。

图3是本实用新型中图2的侧视图。

图4是本实用新型中一号支撑块与一号衔接板的衔接示意图。

图5是本实用新型中内槽安装外框的内部结构示意图。

图6是本实用新型中内槽的安装示意图。

图中1、外槽；2、左支撑板；3、右支撑板；4、内槽安装外框；5、内槽；6、一号衔接板；7、二号衔接板；8、一号支撑块；9、一号螺栓；10、二号支撑块；11、石英管；13、二号螺栓；14、右侧板；15、垫板；16、左侧板；17、内槽安装通孔；18、上限位块；19、下限位块；20、上滑动挡板；21、下滑动挡板；22、环形挡板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-6所示，一种槽体支撑机构，包括外槽1，所述外槽1内侧壁上设置有左支撑板2与右支撑板3，所述外槽1内设置有内槽安装外框4，贯穿所述内槽安装外框4底部设置有内槽5，所述内槽安装外框4两侧外表面中间位置对称设置有一号衔接板6与二号衔接板7，所述一号衔接板6底端安装有一号支撑块8，所述一号支撑块8关于内槽安装外框4对称位置设置有二号支撑块10，所述内槽5上连通有至少一组石英管11；

所述一号衔接板6包括垫板15、右侧板14与左侧板16，所述左侧板16与右侧板14分别安装于垫板15两端，贯穿所述垫板15与一号支撑块8之间连接有一号螺栓9与二号螺栓13；

所述内槽安装外框4底端开设有内槽安装通孔17，所述内槽安装外框4一侧内壁上安装有两组上限位块18，所述内槽安装外框4底部安装有环形挡板22，环形挡板22与内槽安装通孔17端口相切，所述内槽安装外框4另一侧内壁上安装有两组下限位块19，所述内槽5外侧壁上安装有上滑动挡板20与下滑动挡板21。

两组所述上限位块18之间的距离与上滑动挡板20的长度相同，且上滑动挡板20相切于两组上限位块18之间，两组所述下限位块19之间的距离与下滑动挡板21的长度相同，且下滑动挡板21相切于两组所述下限位块19之间，所述内槽5通过上滑动挡板20与下滑动挡板21配合上限位块18与下限位块19滑动安装于内槽安装外框4内，环形挡板22的宽度与上滑动挡板20和下滑动挡板21的宽度相同。

所述上滑动挡板20与下滑动挡板21对称焊接在内槽5外侧壁上，且内槽5上端口设计为波浪状，每组所述石英管包括两个进水管与一个出水管，进水管的喷口与水平面呈45度设置。

所述左侧板16与右侧板14的形状均为梯形，且左侧板16与右侧板14均焊接在内槽安装外框4外侧壁上，且左侧板16与右侧板14关于垫板15对称设置。

所述一号支撑块8上开设有两组螺栓槽，所述垫板15通过一号螺栓9与二号螺栓13配合螺栓槽与一号支撑块8连接。

所述左支撑板2和右支撑板3垂直面均与外槽1内侧壁焊接，且左支撑板2与右支撑板3的形状均为梯形，所述一号支撑块8和二号支撑块10端面均与外槽1内侧壁焊接，且左支撑板2与右支撑板3对称设置，所述左支撑板2与右支撑板3的数量均为两组，两组左支撑板2对称焊接在一号支撑块8底端，两组右支撑板3对称焊接在二号支撑块10底端，整体结构设计紧密，有效的提高了空间利用率，具有优良的支撑内槽5的作用，稳定性极佳，同时内槽安装外框4通过安装于外槽1内，能够有效的防止粉尘污染。

所述内槽5与内槽安装通孔17相吻合，所述环形挡板22与上滑动挡板20和下滑动挡板21配合，能够有效的防止上滑动档板20与下滑动挡板21侧向滑动，从而确保内槽5的稳定性，整个过程简单快捷，便于工作人员操作。

三组并排所述石英管11与内槽5连通，另一组石英管11贯穿内槽安装外框4侧壁与内槽5连通。

一种槽体支撑机构，在工作时，首先通过将左支撑板2与右支撑板3垂直面焊接在外槽1内侧壁上，将一号支撑块8与二号支撑块10端面焊接在外槽1内侧壁上，接着将两组左支撑板2与右支撑板3分别焊接在一号支撑块8与二号支撑块10底端两侧，其次通过将一号衔接板6与二号衔接板7垂直面对称焊接在内槽安装外框4外侧壁中间位置，另一垂直面通过一号螺栓9与二号螺栓13配合螺栓槽连接在一号支撑块8与二号支撑块10上，完成对内槽安装外框4的固定，整体结构设计紧密，有效的提高了空间利用率，具有优良的支撑内槽5的作用，稳定性极佳，同时内槽安装外框4通过安装于外槽1内，能够有效的防止粉尘污染，最后通过在内槽安装外框4内侧壁上安装有上滑动挡板18与下滑动挡板19，在内槽5两外侧壁上安装有上限位块20与下限位块21，接着通过将上限位块20与下限位块21沿着上滑动挡板18与下滑动挡板19滑进内槽安装外框4，完成内槽5的安装，其中内槽5穿过内槽安装通孔17凸出于内槽安装外框4底部，其中上限位块18与下限位块19能够有效的防止上滑动档板20与下滑动挡板21侧向滑动，从而确保内槽5的稳定性，整个过程简单快捷，便于工作人员操作。

本实用新型通过设置有四组支撑机构，支撑机构包括右支撑板、一号支撑块与一号衔接板，通过将一号支撑块和右支撑板与外槽焊接为一体，将一号衔接板与内槽安装外框焊接为一体，并通过一号螺栓与二号螺栓将一号衔接板与一号支撑块进行连接，完成支撑机构的组装，同时完成对内槽的固定，四组支撑机构分布于外槽内侧边角位置，且其与外槽焊接为一体，左支撑板与右支撑板的形状设计为梯形，结构设计紧密，保持了内槽的稳定，减少占用空间，有效的提高了空间利用率，具有优良的支撑内槽的作用，稳定性极佳，同时内槽安装外框通过安装于外槽内，能够有效的防止粉尘污染；内槽通过上滑动档板与下滑动挡板沿着上限位块与下限位块滑进内槽安装外框内，且内槽穿过内槽安装通孔凸出于内槽安装外框底部，环形挡板与上滑动档板与下滑动挡板相切，其中上限位块与下限位块能够有效的防止上滑动档板与下滑动挡板侧向滑动，从而确保内槽的稳定性，整个过程简单快捷，便于工作人员操作。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。