一种用于石英加工的加热槽的制作方法

本实用新型涉及一种石英加工设备，尤其涉及一种用于石英加工的加热槽。

背景技术：

在半导体行业中，芯片的酸洗通常在石英加热槽中进行。石英加热槽一般包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管，石英槽体的底部开设有排液口。该种结构的石英加热槽温度下降快，保温效果差，导致芯片酸洗成本较高，且浪费电能。

技术实现要素：

本实用新型为了解决以上问题提供了一种用于石英加工的加热槽。

本实用新型的技术方案是：一种用于石英加工的加热槽，所述的加热槽包括内槽体、加热芯体、隔热层、外槽体、填料层、旋转体、填料添加口和升降主体，所述的石英料设置在内槽体中；

所述的加热槽呈直槽状，所述的内槽体设置在加热槽的内层，覆盖加热槽的内壁和底面，所述的内槽体表面连接有多个加热芯体，所述的加热芯体延伸出内槽体表面；

所述的升降主体连接在加热槽底面，所述的升降主体带动内槽体做上下升降运动，所述的升降主体穿过内槽体、填料层和外槽体，所述的升降主体下部连接有弹簧，所述的旋转体设置在升降主体的外侧，所述的旋转体与内槽体相连接，所述的旋转体带动内槽体做旋转，通过改变加热芯体的位置对石英料全面加热；

所述的隔热层设置在内槽体的外侧，所述的隔热层外侧设置有填料层，所述的填料层中填充有保温材料，所述的填料层外侧设置外槽体，所述的填料添加口连通至填料层。

本实用新型的优点是：结构简单、工作稳定、生产成本低、对石英料全方位加热，方便后期处理，同时，延长了石英料的保温效果，延长了在酸洗过程中的保温时间。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中1是内槽体、2是加热芯体、3是隔热层、4是外槽体、5是填料层、6是旋转体、7是填料添加口、8是升降主体。

具体实施方式

一种用于石英加工的加热槽，所述的加热槽包括内槽体1、加热芯体2、隔热层3、外槽体4、填料层5、旋转体6、填料添加口7和升降主体8，所述的石英料设置在内槽体1中；

所述的加热槽呈直槽状，所述的内槽体1设置在加热槽的内层，覆盖加热槽的内壁和底面，所述的内槽体1表面连接有多个加热芯体2，所述的加热芯体2延伸出内槽体1表面；

所述的升降主体8连接在加热槽底面，所述的升降主体8带动内槽体1做上下升降运动，所述的升降主体8穿过内槽体1、填料层5和外槽体4，所述的升降主体8下部连接有弹簧，所述的旋转体6设置在升降主体8的外侧，所述的旋转体6与内槽体1相连接，所述的旋转体6带动内槽体1做旋转，通过改变加热芯体2的位置对石英料全面加热；

所述的隔热层3设置在内槽体1的外侧，所述的隔热层3外侧设置有填料层5，所述的填料层5中填充有保温材料，所述的填料层5外侧设置外槽体4，所述的填料添加口7连通至填料层5。