一种衬底清洗设备的制作方法

本实用新型涉及光伏设备技术领域，尤其涉及一种衬底清洗设备。

背景技术：

在制造薄膜太阳能电池时，通常需要用衬底清洗设备通过高压的去离子水清洗衬底，去离子水则需要通过柱塞泵增压，柱塞泵在增压的过程中会产生大量的热量，从而需要冷却液对柱塞泵进行冷却。其中，冷却液每使用一段时间之后便需要更换，然而，目前在对冷却液进行更换时，需要将更换好冷却液的冷却液箱搬运至传输冷却液管路处，由于冷却液箱的重量很重，在搬运时比较麻烦，且传输冷却液的管路错综复杂，再加上更换时还需要关闭衬底清洗设备的运行，从而导致冷却液更换的难度较高。由此，现有的衬底清洗设备的冷却液更换比较困难。

技术实现要素：

本实用新型实施例的目的在于提供一种衬底清洗设备，解决了现有的衬底清洗设备的冷却液更换比较困难的问题。

为达上述目的，本实用新型实施例提供一种衬底清洗设备，所述衬底清洗设备包括：

柱塞泵，所述柱塞泵设置有冷却液入口和冷却液出口；

冷却液箱，所述冷却液箱设置有入液口和出液口，所述入液口通过第一管路与所述柱塞泵的冷却液出口连接，所述出液口通过第二管路与所述柱塞泵的冷却液入口连接；

三通阀，所述三通阀设置有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口通过所述第二管路与所述出液口连接，所述第二接口通过所述第二管路与所述柱塞泵的冷却液入口连接，所述第三接口用于向所述冷却液箱注入冷却液；和

循环泵，设置于所述第二管路上，且所述循环泵位于第二接口和所述柱塞泵的冷却液入口之间。

可选的，所述第一管路或所述第二管路上还设置有精密过滤器。

可选的，所述精密过滤器位于所述第一管路上。

可选的，所述第二管路上还设置有紫外线消毒器。

可选的，所述紫外线消毒器位于所述循环泵和所述柱塞泵的冷却液入口之间。

可选的，所述第二管路上还设置有流量计，所述流量计位于所述紫外线消毒器和所述柱塞泵的冷却液入口之间。

可选的，所述冷却液箱上还设置有液位测量部件。

可选的，所述液位测量部件为液位开关，所述三通阀为电磁三通阀，所述液位开关和所述电磁三通阀均用于与上位机电连接，以使所述上位机根据所述液位开关检测到的液位信号，控制所述电磁三通阀各个接口的开关。

可选的，所述冷却液箱上还设置有温度传感器，所述温度传感器用于与上位机连接。

可选的，所述冷却液箱的材质为不锈钢。

本实用新型实施例提供的衬底清洗设备，包括：柱塞泵，所述柱塞泵设置有冷却液入口和冷却液出口；冷却液箱，所述冷却液箱设置有入液口和出液口，所述入液口通过第一管路与所述柱塞泵的冷却液出口连接，所述出液口通过第二管路与所述柱塞泵的冷却液入口连接；三通阀，所述三通阀设置有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口通过所述第二管路与所述出液口连接，所述第二接口通过所述第二管路与所述柱塞泵的冷却液入口连接，所述第三接口用于向所述冷却液箱注入冷却液；和循环泵，设置于所述第二管路上，且所述循环泵位于第二接口和所述柱塞泵的冷却液入口之间。这样，在需要更换冷却液的时候，通过所述第三接口直接向所述冷却液箱注入冷却液，可以避免对冷却液箱进行搬运以及停机，从而使冷却液的更换比较容易。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种衬底清洗设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

如图1所示，本实用新型实施例提供一种衬底清洗设备，包括：

柱塞泵1，所述柱塞泵1设置有冷却液入口11和冷却液出口12；

冷却液箱2，所述冷却液箱2设置有入液口21和出液口22，所述入液口21通过第一管路3与所述柱塞泵1的冷却液出口12连接，所述出液口22通过第二管路4与所述柱塞泵1的冷却液入口11连接；

三通阀5，所述三通阀5设置有第一接口51、第二接口52和第三接口53，所述第一接口51通过所述第二管路4与所述出液口22连接，所述第二接口52通过所述第二管路4与所述柱塞泵1的冷却液入口11连接，所述第三接口53用于向所述冷却液箱2注入冷却液；和

循环泵6，设置于所述第二管路4上，且所述循环泵6位于第二接口52和所述柱塞泵1的冷却液入口11之间。

本实施例中，柱塞泵1是衬底清洗设备的液压系统中的一个重要装置，其依靠柱塞在缸体中往复运动，使密封工作容腔的容积发生变化来对清洗衬底地去离子水进行增加。其中，柱塞做往复运动的过程中会产生大量的热，因而需要冷却液来对柱塞泵1进行冷却，这里的冷却液可以是指具有冷却效果和润滑效果的液体。上述冷却液箱2可以是指用于贮存冷却液的的容器，其可以采用塑料、不锈钢等材质制成。上述三通阀5，可以是电动三通阀，也可以是手动三通阀，对此并不做限制。

为使本实施例更加清楚，以下对上述衬底清洗设备的工作原理进行说明：在衬底清洗设备正常工作的情况下，控制三通阀5的第一接口51和第二接口52打开，以及使第三接口53处于关闭，通过循环泵6将冷却液箱2中的冷却液从出液口22抽出，并流经第一接口51和第二接口52，之后从冷却液入口11流入柱塞泵1，从而实现对柱塞泵1的冷却；冷却液在冷却柱塞泵1后，将回流至冷却液箱2中自然冷却，待自然冷却完毕后重复前述的操作，进而形成冷却液的闭循环。其中，在需要更滑冷却时，只需要控制第三接口53打开，从第三接口53注入新的冷却液即可。应注意的是，操作人员可以根据冷却液往常的更换频率来确定冷却液的具体更换时间，或者也可以在冷却液箱2上设置流量计，根据流量计提供的液位来确定是否需要更换冷却液。

本实用新型实施例中，在需要更换冷却液的时候，通过所述第三接口53直接向所述冷却液箱2注入冷却液，可以避免对冷却液箱2进行搬运以及停机，从而使冷却液的更换比较容易。

可选的，所述第一管路3或所述第二管路4上还设置有精密过滤器7。

本实施方式中，精密过滤器7可以由壳体和设于壳体内部的滤芯组成。其中，壳体主要起保护作用，通常可以采用不锈钢材质制成；滤芯可以作为过滤元件，其可以为聚丙烯熔喷、线烧、折叠、钛滤芯、活性炭滤芯等管状滤芯。这样，通过在第一管路3或第二管路4上设置精密过滤器7，在冷却液流经精密过滤器7时，能够除去冷却液中的沉淀物、悬浮物、细菌及其他杂质，从而达到过滤的目的，进而提升冷却液的品质；而且精密过滤器7还具有较高的过滤精度。

可选的，所述精密过滤器7位于所述第一管路3上。

其中，前面已经得知精密过滤器7通过滤芯对冷却液过滤，而滤芯在使用很长一段时间之后，其上可能会累积残留许多滤渣，这些滤渣容易导致滤芯堵塞，进而影响冷却液的流通。这里，若精密过滤器7位于第二管路4上，由于第二管路4中流动的是还未进入到柱塞泵1中的冷却液，那么在精密过滤器7的滤芯发生堵塞时，势必造成冷却液难以快速地流入柱塞泵1中，进而使柱塞泵1在需要冷却时无法及时得到冷却液。相反，精密过滤器7位于所述第一管路3上，则可以避免上述情况，使得精密过滤器7的滤芯在堵塞时不会妨碍冷却液进入柱塞泵1。

这样，可以减小由于精密过滤器7发生故障而造成的不良影响，从而提高了衬底清洗设备运行的稳定性和容错率。

可选的，所述第二管路4上还设置有紫外线消毒器8。

其中，冷却液在第一管路3和第二管路4中不断循环使用，从而容易滋生细菌，这些细菌将会导致的冷却液的品质降低，进而影响冷却液对柱塞泵1的冷却效果。本实施方式，通过在第二管路4，即冷却液从冷却液箱2中进入柱塞泵1的管路上设置上述紫外线消毒器8，可以对进入柱塞泵1的冷却液进行消毒，从而减少细菌的存在，提高冷却液的品质。

可选的，所述紫外线消毒器8位于所述循环泵6和所述柱塞泵1的冷却液入口11之间。这样，可以确保第二管路4中更多的冷却液被消毒，进一步提高消毒的效果，从而使柱塞泵1的运行更加稳定。当然，紫外线消毒器8还可以位置与其他位置，对此并不做限定。

可选的，所述第二管路4上还设置有流量计9，所述流量计9位于所述紫外线消毒器8和所述柱塞泵1的冷却液入口11之间。

其中，第二管路4是冷却液从冷却液箱2进入柱塞泵1的管路，当第二管路4出现破损、泄漏等故障时，将会导致冷却液难以进入柱塞泵1进行冷却；由此，在第二管路4上设置有流量计9，可以对第二管路4的流量进行检查，以便操作人员判断该管路是否出现故障，进而对该管路进行更换或者维护。这里，流量计9位于所述紫外线消毒器8和所述柱塞泵1的冷却液入口11之间，可以理解为流量计9位于第二管路4的出口端一侧，这样可以检测到管路上更多部分的流量。当然，流量计9还可以位于第二管路4上的其他位置，对此并不做限制。

可选的，所述冷却液箱2上还设置有液位测量部件23。

其中，上述液位测量部件23可以是指能够测量并指示液体在容器中的位置的部件。比如，上述液位测量部件23可以是液位计或液位开关，对此并不做限定。前面已经得知，人们通常通过冷却液的更换频率来判断是否需要更换冷却液，采用这种方式的话，容易导致冷却液更换的不及时、或者冷却液更换的太提前而导致浪费；比如，用户记录了冷却液投入使用的日期为10月1日，那么根据以往的经验，这批冷却液需要在12月1日进行更换，然而，该批冷却液实际上在11月25日就已经处于需要补给更换的状态，如果按照原来的日期进行更换则会导致冷却液更换不及时，从而影响衬底清洗设备的使用；另一种情况则是该批冷却液实际上在12月1日还富余较多的分量，在当天其实并无必要进行更换。本实施方式中，通过液位测量部件23则可以使用户能够实时了解到测量得到的液位，即冷却液箱2中的冷却液的液位，从而可据此及时地对冷却液进行更换。

可选的，所述液位测量部件23为液位开关，所述三通阀5为电磁三通阀5，所述液位开关和所述电磁三通阀5均用于与上位机电连接，以使所述上位机根据所述液位开关检测到的液位信号，控制所述电磁三通阀5各个接口的开关。

其中，上位机可以是指控制器、控制系统等对各部件进行控制的模块。为使本实施方式更加清楚，下面对本实施方式的工作原理进行说明：设备运行时，电磁三通阀5根据上位机的指令打开第一接口51和第二接口52，第三接口53处于关闭状态，冷却液被循环泵6抽出进入紫外线消毒器8消毒，消毒后直接进入柱塞泵1进行冷却润滑，然后从柱塞泵1的冷却液出口12排出，进入精密过滤器7过滤之后回流到冷却液水箱。其中，当冷却液箱2中的冷却液位处于低液位时，上位机获取到液位开关发送的低液位的液位信号，此时上位机根据该信号控制电磁三通阀5的第三接口53打开，持续注入和补给冷却液。当水箱内液位到达高液位时，上位机根据液位开关检测到的高液位的液位信号控制三通电磁阀的第三接口53关闭。这样就保证了衬底清洗设备在不停机的情况下可以自动更换冷却液，同时避免了人工进行高强度操作，降低了冷却液的更换难度。

可选的，所述冷却液箱2上还设置有温度传感器，所述温度传感器用于与上位机连接。

其中，上述温度传感器可以是铠装温度传感器，其灵敏度较高，可以更快的感应到冷却液的温度变化，当然，上述温度传感器还可以是其他传感器，对此并不做限制。上述温度传感器与上位机连接，主要是可以便于上位机根据温度传感器采集到的温度值信号，与其他部件配合工作。例如，可以与报警器配合，当温度传感器采集到的温度值超过预设温度值时，则上位机可以控制报警器进行警示。或者，冷却液箱2上还可以设置有与温度传感器配合的冷却装置，具体可以是与上位机连接的风扇，在温度传感器采集到的温度值超过预设温度值时，上位机可以控制风扇开启，以加速对冷却液箱2中冷却液的冷却效率。

这样，通过温度传感器可以利于人们对冷却液箱2进行维护，从而提高衬底清洗设备运行的稳定性。

可选的，所述冷却液箱2的材质为不锈钢。其中，冷却液对柱塞泵1进行冷却，并回到冷却液箱2中后，通常是采用自然冷却的方式进行冷却，现有的冷却液箱2通常采用塑料材质制成，其换热效率较低，因而需要等待较长的时间才能使冷却液冷却完毕。本实施方式采用不锈钢材质制成的冷却液箱2，则可以具备更高的换热效率，进而提高了冷却液在冷却液箱2中的冷却效率。当然，上述冷却液箱2还可以采用其他材质制成，例如铝、铜等，对此并不作限定。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。