一种用于石英半导体部件加工的真空设备的制作方法

本实用新型涉及石英半导体部件加工设备技术领域，具体涉及一种用于石英半导体部件加工的真空设备。

背景技术：

随着科技的发展，半导体发展迅速，对于石英部件的要求也越来越高，需求量也越来越大。传统的加工装夹方式成本越来越高，导致利润的空间也越来越小。

传统上，石英半导体部件的装夹，是通过蜡进行粘接，具体为：准备相同材质的底板，将底板和部件同时在加热平台上加热，加热时间约为20分钟，然后将蜡涂抹在粘接面，将粘接面的气泡赶出，调平，移出加热台，等待冷却，自然冷却时间约为45分钟，或者通过强制冷却，冷却时间约为20分钟，然后底板用于装夹在机床上。待产品加工完成后，需要重新加热，将蜡融化，分离产品，清洗产品表面的残留物，整个装夹周期约为90分钟，同时还浪费电能，蜡等；效率低下，不能完全满足生产要求。

技术实现要素：

本实用新型针对背景技术所提出的问题设计了一种用于石英半导体部件加工的真空设备，效率得到大幅提高,同时结构简单，操作相对便利，降低了生产成本。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种用于石英半导体部件加工的真空设备，包括真空吸盘组件、储气罐和真空泵负压站，所述真空吸盘组件包括真空吸盘本体、用于控制真空负压通断的手拉阀和减少吸气时尖锐噪音的消音器，所述真空吸盘本体的上表面开设有网格状通气槽以及环绕在网格状通气槽外部的密封槽，所述网格状通气槽的底部开设有若干个通气孔，所述密封槽的内部固定有密封胶条；所述真空吸盘本体内部开设有与所述通气孔相连通的吸气通道，所述吸气通道的吸气端安装有所述手拉阀，所述手拉阀上安装有所述消音器，所述手拉阀外部通过厚壁气管依次与所述储气罐和所述真空泵负压站相连接。

进一步地，所述储气罐包括罐体和上端盖，所述罐体的外壁连通有进气管，所述罐体的底部连通有排污管，所述排污管上安装有排污阀，所述罐体的底面固定有支撑架；所述罐体上端通过紧固件密封安装有所述上端盖，所述上端盖的顶端连通有出气管。

进一步地，所述罐体的内壁固定有锥形罩，所述锥形罩的底端连通有通气管，所述通气管的外壁与所述罐体的内壁之间固定有螺旋隔离片，所述螺旋隔离片将所述罐体的下半部分隔离成一个旋风通道，且所述旋风通道的顶端与所述进气管相连通。

进一步地，所述锥形罩的上方还固定有干燥网，所述干燥网上放置有干燥包，所述干燥包内装有颗粒状氯化钙或蒙脱石。

进一步地，所述通气孔的数量不小于4个且均与所述吸气通道相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，在真空吸盘组件和真空泵负压站之间设置有储气罐，储气罐可用于储存部分负压能量，保证在真空泵负压站发生故障时，能有缓冲的时间，及时暂停产品的加工；另外，储气罐还具有气液分离的作用，能防止加工时部分切削液从真空吸盘本体与石英半导体部件之间密封面的缝隙进入，进而能避免因切削液进入真空泵负压站造成故障的发生。

2、本实用新型中，可先打开真空泵负压站，当压力达到预定值时，将石英半导体部件的下表面放置于真空吸盘本体上端面，然后打开手拉阀，此时吸气通道与储气罐及真空泵负压站之间为畅通状态，并且吸气通道上端通过通气孔与网格状通气槽相连通，网格状通气槽外部还环绕有密封槽，密封槽的内部固定有密封胶条，进而能使网格状通气槽内部也处于负压状态，因此能牢牢的将石英半导体部件吸住并进行加工，网格状通气槽的设计，增加了支撑面的面积，能有效防止石英产品的碎裂。

3、本实用新型，装夹石英半导体部件所需时间被大幅减少，效率得到大幅提高；同时，结构简单，操作相对便利，降低了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的立体示意图；

图2为本实用新型中真空吸盘组件的立体示意图；

图3为本实用新型中真空吸盘组件的左视内部结构示意图；

图4为本实用新型中储气罐的立体示意图；

图5为本实用新型中储气罐的内部结构示意图。

其中，1-真空吸盘组件，101-真空吸盘本体，102-手拉阀，103-消音器，104-网格状通气槽，105-通气孔，106-密封胶条，107-吸气通道，108-密封槽，2-储气罐，201-罐体，202-上端盖，203-进气管，204-排污管，205-排污阀，206-支撑架，207-出气管，208-锥形罩，209-通气管，210-螺旋隔离片，211-干燥网，212-旋风通道，213-干燥包，3-真空泵负压站，4-厚壁气管。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

如图1-3所示，一种用于石英半导体部件加工的真空设备，包括真空吸盘组件1、储气罐2和真空泵负压站3，真空吸盘组件1包括真空吸盘本体101、用于控制真空负压通断的手拉阀102和减少吸气时尖锐噪音的消音器103，真空吸盘本体101可根据石英半导体部件的外形来加工成特定的形状，还可选用较软的铝合金材质作为真空吸盘本体101的材料，相比钢材，铝合金材质不容造成石英半导体部件的碰伤，报废等；真空吸盘本体101的上表面开设有网格状通气槽104以及环绕在网格状通气槽104外部的密封槽108，网格状通气槽104的底部开设有若干个通气孔105，通气孔105的数量不小于4个，密封槽108的内部固定有密封胶条106；真空吸盘本体101内部开设有与通气孔105相连通的吸气通道107，吸气通道107的吸气端安装有手拉阀102，手拉阀102上安装有消音器103，手拉阀102外部通过厚壁气管4依次与储气罐2和真空泵负压站3相连接。

如图4-5所示，储气罐2包括罐体201和上端盖202，罐体201的外壁连通有进气管203，罐体201的底部连通有排污管204，排污管204上安装有排污阀205，罐体201的底面固定有支撑架206；罐体201上端通过紧固件密封安装有上端盖202，上端盖202的顶端连通有出气管207；罐体201的内壁固定有锥形罩208，锥形罩208的底端连通有通气管209，通气管209的外壁与罐体201的内壁之间固定有螺旋隔离片210，螺旋隔离片210将罐体201的下半部分隔离成一个旋风通道211，且旋风通道211的顶端与进气管203相连通，当外界夹带液体的混合气体由进气管203进入旋风通道211后，流速能够被降低，混合气体能继续在旋风通道211内部向下转向流动，由于气体和液体的比重不同，从而混合气体中的细微的液滴能下沉到螺旋隔离片210表面并与与气体分离，最终液滴能汇聚在一起并流向罐体201的底部，而分离出的气体能继续由通气管209流动到罐体201的顶部，并最终由出气管207输送至真空泵负压站3；锥形罩208的上方还固定有干燥网212，干燥网212上放置有干燥包213，干燥包213内装有颗粒状氯化钙或蒙脱石，从而干燥包213能对气液分离后的气体进一步干燥，有利于降低真空泵负压站3的故障率，并延长其使用寿命。

本实用新型的一个具体实施应用为：可先打开真空泵负压站3，当压力达到预定值时，将石英半导体部件的下表面放置于真空吸盘本体101上端面，然后打开手拉阀102，此时吸气通道107与储气罐2及真空泵负压站3之间为畅通状态，并且吸气通道107上端通过通气孔105与网格状通气槽104相连通，网格状通气槽104外部还环绕有密封槽108，密封槽108的内部固定有密封胶条106，进而能使网格状通气槽104内部也处于负压状态，因此能牢牢的将石英半导体部件吸住并进行加工，网格状通气槽104的设计，增加了支撑面的面积，能有效防止石英产品的碎裂；另外，在真空吸盘组件1和真空泵负压站3之间设置有储气罐2，储气罐2可用于储存部分负压能量，保证在真空泵负压站3发生故障时，能有缓冲的时间，及时暂停产品的加工；同时储气罐2还具有气液分离的作用，能防止加工时部分切削液从真空吸盘本体101与石英半导体部件之间密封面的缝隙进入，进而能避免因切削液进入真空泵负压站3造成故障的发生；相较于的传统方法，本实用新型装夹石英半导体部件所需时间被大幅减少，效率得到大幅提高；同时，结构简单，操作相对便利，降低了生产成本。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。