1.一种基板处理设备，包括：
框架；
scara臂，其在所述scara臂的肩关节处枢转地安装到所述框架，所述scara臂是具有从其悬置的至少一个末端执行器的两连杆臂，所述两连杆臂限定：上臂，所述上臂在一端处包括并确定所述肩关节；以及前臂，所述前臂枢转地连结到所述上臂，以便限定所述scara臂的肘关节，所述至少一个末端执行器中的每一个在所述scara臂的腕关节处枢转地连结到所述前臂，以绕腕关节轴线相对于所述前臂旋转；以及
具有至少一个自由度的驱动部段，其经由传动装置可操作地耦接到所述scara臂，以使所述scara臂在所述肩关节处绕肩部轴线旋转，并在伸出和缩回中关节连接所述scara臂；
其中，所述至少一个末端执行器耦接到腕关节带轮，所述腕关节带轮构造成使得scara臂的伸出和缩回实现所述腕关节带轮和耦接的至少一个末端执行器一起作为一个单元绕所述腕关节轴线相对于所述前臂的旋转；以及
其中，所述至少一个末端执行器的高度处于所述腕关节的叠置高度轮廓内，使得所述至少一个末端执行器和所述腕关节的总叠置高度的尺寸设定成符合并通过槽阀的贯通部。
2.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述腕关节的所述叠置高度轮廓包括所述腕关节带轮，并且scara臂的延伸使所述至少一个末端执行器和所述腕关节带轮的至少一部分延伸通过所述槽阀的所述贯通部。
3.根据权利要求1所述的基板处理设备，还包括不同带段的分段传动环，所述分段传动环耦接到所述腕关节带轮，从而实现所述腕关节带轮的旋转，所述带段中的至少一个具有直立跨越所述末端执行器的水平接触表面的高度，所述水平接触表面抵靠所述腕关节带轮的形成带轮与末端执行器之间的耦接的一部分的水平表面接触并安置。
4.根据权利要求1所述的基板处理设备，还包括另一scara臂，所述另一scara臂安装到所述框架，使得所述肩部轴线是所述scara臂和另一scara臂两者的共同肩部轴线。
5.根据权利要求4所述的基板处理设备，其中，所述另一scara臂在另一腕关节处具有另一末端执行器，并且其中，所述另一末端执行器和所述另一腕关节限定了另一叠置高度轮廓，所述另一叠置高度轮廓具有的总叠置高度尺寸设定成符合并通过所述槽阀的所述贯通部。
6.根据权利要求5所述的基板处理设备，其中，所述scara臂和所述另一scara臂被构造成使得所述至少一个末端执行器和所述另一末端执行器相应地限定彼此叠置的不同传送平面。
7.根据权利要求5所述的基板处理设备，其中，所述驱动部段包括可操作地连接到所述scara臂和所述另一scara臂中的至少一个的z轴驱动器，并且所述z轴驱动器基于相应叠置高度轮廓的相应总叠置高度与所述贯通部之间的间隙，来产生所述至少一个末端执行器和所述另一末端执行器中的一个或多个的z轴行程。
8.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述腕关节带轮通过不同带段的分段传动环耦接到所述驱动部段，至少一个不同带段靠近所述腕关节带轮的邻近所述至少一个末端执行器的水平边缘设置，并且从抵靠所述腕关节带轮安置的所述至少一个末端执行器的水平安置表面朝向所述至少一个末端执行器突出。
9.根据权利要求8所述的基板处理设备，其中，将所述不同带段中的每一个连结到所述腕关节带轮的带锚定点被设置成使得所述不同带段中的至少一个缠绕在所述带轮上，使得最靠近所述至少一个末端执行器并与所述至少一个不同带段的缠绕部相对的带轮周界边缘设置在所述缠绕部的水平处或下方。
10.根据权利要求8所述的基板处理设备，其中，所述腕关节带轮具有抵靠所述至少一个末端执行器安置的末端执行器接口安置表面，所述末端执行器接口安置表面限定了相对于所述框架的末端执行器水平，并且所述末端执行器接口安置表面处于与耦接到所述腕关节带轮的不同带段中的至少一个共同的水平处或者处于其下方的水平处。
11.一种基板处理设备，包括：
框架；
scara臂，其在所述scara臂的肩关节处枢转地安装到所述框架，所述scara臂是具有从其悬置的至少一个末端执行器的两连杆臂，所述两连杆臂限定：上臂，所述上臂在一端处包括并确定所述肩关节；以及前臂，所述前臂枢转地连结到所述上臂，以便限定所述scara臂的肘关节，所述至少一个末端执行器中的每一个在所述scara臂的腕关节处枢转地连结到所述前臂，以绕腕关节轴线相对于所述前臂旋转；以及
具有至少一个自由度的驱动部段，其经由传动装置可操作地耦接到所述scara臂，以使所述scara臂在所述肩关节处绕肩部轴线旋转，并在伸出和缩回中关节连接所述scara臂；
其中，至少一个末端执行器耦接到腕关节带轮，所述腕关节带轮构造成使得scara臂的伸出和缩回实现所述腕关节带轮和耦接的至少一个末端执行器一起作为一个单元绕所述腕关节轴线相对于所述前臂的旋转；以及
其中，所述腕关节带轮通过不同带段的分段传动环耦接到所述驱动部段，并且所述腕关节带轮具有抵靠所述末端执行器安置的末端执行器接口安置表面，所述末端执行器接口安置表面限定了相对于所述框架的末端执行器水平，并且所述末端执行器接口安置表面处于与耦接到所述带轮的不同带段中的至少一个共同的水平处或者处于其下方的水平处。
12.根据权利要求11所述的基板处理设备，其中，所述至少一个末端执行器的高度处于所述腕关节的叠置高度轮廓内，使得所述至少一个末端执行器和所述腕关节的总叠置高度的尺寸设定成符合并通过槽阀的贯通部。
13.根据权利要求12所述的基板处理设备，其中，所述腕关节的所述叠置高度轮廓包括所述腕关节带轮，并且scara臂的延伸使所述至少一个末端执行器和所述腕关节带轮的至少一部分延伸通过所述贯通部。
14.根据权利要求11所述的基板处理设备，其中，所述带段中的至少一个具有跨越所述末端执行器的水平接触表面的直立高度，所述水平接触表面抵靠形成带轮与末端执行器之间的耦接的一部分的所述腕关节带轮的接口安置表面的水平表面接触并安置。
15.根据权利要求11所述的基板处理设备，其中，将所述不同带段中的每一个连结到所述腕关节带轮的带锚定点被设置成使得所述不同带段中的至少一个缠绕在所述带轮上，使得最靠近所述末端执行器并与所述至少一个不同带段的缠绕部相对的带轮周界边缘设置在所述缠绕部的水平处或下方。
16.根据权利要求11所述的基板处理设备，还包括另一scara臂，所述另一scara臂安装到所述框架，使得所述肩部轴线是所述scara臂和另一scara臂两者的共同肩部轴线。
17.一种在基板处理设备中处理基板的方法，所述方法包括以下步骤：
提供所述基板处理设备，其具有：框架；耦接到所述框架的基板输送设备，所述基板输送设备包括具有至少一个自由度的驱动部段；以及由所述驱动部段驱动的scara臂，所述scara臂为两连杆臂加上末端执行器，所述末端执行器通过腕关节带轮枢转地耦接到所述两连杆臂的前臂，所述腕关节带轮构造成使得相对于所述框架的末端执行器水平由所述腕关节带轮设置，并且scara臂的伸出和缩回经由连结到所述腕关节带轮的不同带段的传动环来实现末端执行器相对于所述前臂的旋转；以及
通过以所述驱动部段的所述至少一个自由度来伸出和缩回所述scara臂，而利用所述末端执行器来输送所述基板；
其中，在输送中，所述带段中的一个缠绕在所述腕关节带轮上，并且缠绕在所述末端执行器的接触表面周围和上方，所述接触表面抵靠所述腕关节带轮的安置表面安置，从而设置所述末端执行器相对于所述框架的水平。
18.根据权利要求17所述的方法，还包括利用所述驱动部段的另一个自由度使所述末端执行器沿z轴移动到由连接到所述框架的槽阀贯通部限定的基板输送平面，并且其中，输送所述基板包括使所述末端执行器沿所述基板输送平面移动，使得所述末端执行器和所述腕关节带轮的至少一部分通过所述槽阀贯通部。
19.一种方法，包括：
提供基板处理设备的框架；
提供scara臂，其在所述scara臂的肩关节处枢转地安装到所述框架，所述scara臂是具有从其悬置的至少一个末端执行器的两连杆臂，所述两连杆臂限定：上臂，所述上臂在一端处包括并确定所述肩关节；以及前臂，所述前臂枢转地连结到所述上臂，以便限定所述scara臂的肘关节，所述至少一个末端执行器中的每一个在所述scara臂的腕关节处枢转地连结到所述前臂，并且耦接到腕关节带轮，以便绕腕关节轴线相对于所述前臂旋转；
提供具有至少一个自由度的驱动部段，其经由传动装置可操作地耦接到所述scara臂，以使所述scara臂在所述肩关节处绕肩部轴线旋转，并在伸出和缩回中关节连接所述scara臂；以及
在所述scara臂的伸出和缩回时，实现所述腕关节带轮和耦接的至少一个末端执行器一起作为一个单元绕所述腕关节轴线相对于所述前臂的旋转，
其中，所述至少一个末端执行器的高度处于所述腕关节的叠置高度轮廓内，使得所述至少一个末端执行器和所述腕关节的总叠置高度的尺寸设定成符合并通过槽阀的贯通部。
20.根据权利要求19所述的方法，其中，所述腕关节的所述叠置高度轮廓包括所述腕关节带轮，并且scara臂的延伸使所述至少一个末端执行器和所述腕关节带轮的至少一部分延伸通过所述槽阀的所述贯通部。
21.根据权利要求19所述的方法，还包括利用耦接到所述腕关节带轮的不同带段的分段传动环，来实现所述腕关节带轮的旋转，所述带段中的至少一个具有直立跨越所述末端执行器的水平接触表面的高度，所述水平接触表面抵靠所述腕关节带轮的形成带轮与末端执行器之间的耦接的一部分的水平表面接触并安置。
22.根据权利要求19所述的方法，还包括提供另一scara臂，所述另一scara臂安装到所述框架，使得所述肩部轴线是所述scara臂和另一scara臂两者的共同肩部轴线。
23.根据权利要求22所述的方法，其中，所述另一scara臂在另一腕关节处具有另一末端执行器，并且其中，所述另一末端执行器和所述另一腕关节限定了另一叠置高度轮廓，所述另一叠置高度轮廓具有的总叠置高度尺寸设定成符合并通过所述槽阀的所述贯通部。
24.根据权利要求23所述的方法，其中，所述scara臂和所述另一scara臂被构造成使得所述至少一个末端执行器和所述另一末端执行器相应地限定彼此叠置的不同传送平面。
25.根据权利要求23所述的方法，还包括利用所述驱动部段的可操作地连接到所述scara臂和所述另一scara臂中的至少一个的z轴驱动器，而基于相应叠置高度轮廓的相应总叠置高度与所述贯通部之间的间隙，来产生所述至少一个末端执行器和所述另一末端执行器中的一个或多个的z轴行程。
26.根据权利要求19所述的方法，其中，所述腕关节带轮通过不同带段的分段传动环耦接到所述驱动部段，至少一个不同带段靠近所述腕关节带轮的邻近所述至少一个末端执行器的水平边缘设置，并且从抵靠所述腕关节带轮安置的所述至少一个末端执行器的水平安置表面朝向所述至少一个末端执行器突出。
27.根据权利要求26所述的方法，其中，将所述不同带段中的每一个连结到所述腕关节带轮的带锚定点被设置成使得所述不同带段中的至少一个缠绕在所述带轮上，使得最靠近所述至少一个末端执行器并与所述至少一个不同带段的缠绕部相对的带轮周界边缘设置在所述缠绕部的水平处或下方。
28.根据权利要求26所述的方法，其中，所述腕关节带轮具有抵靠所述至少一个末端执行器安置的末端执行器接口安置表面，所述末端执行器接口安置表面限定了相对于所述框架的末端执行器水平，并且所述末端执行器接口安置表面处于与耦接到所述腕关节带轮的不同带段中的至少一个共同的水平处或者处于其下方的水平处。
29.一种基板处理设备，包括：
框架；以及
耦接到所述框架的基板输送设备，所述基板输送设备包括：
具有至少一个自由度的驱动部段；以及
由所述驱动部段驱动的scara臂，所述scara臂为两连杆臂加上末端执行器，所述末端执行器通过腕关节带轮枢转地耦接到所述两连杆臂的前臂，所述腕关节带轮构造成使得相对于所述框架的末端执行器水平由所述腕关节带轮设置，并且scara臂的伸出和缩回经由连结到所述腕关节带轮的不同带段的传动环来实现末端执行器相对于所述前臂的旋转；以及
其中，所述末端执行器被构造成通过以所述驱动部段的所述至少一个自由度伸出和缩回所述scara臂来输送所述基板，以及
其中，在输送中，所述带段中的一个缠绕在所述腕关节带轮上，并且缠绕在所述末端执行器的接触表面周围和上方，所述接触表面抵靠所述腕关节带轮的安置表面安置，从而设置所述末端执行器相对于所述框架的水平。
30.根据权利要求29所述的基板处理设备，其中，所述驱动部段的另一个自由度使所述末端执行器沿z轴移动到由连接到所述框架的槽阀贯通部限定的基板输送平面，并且其中，所述末端执行器沿所述基板输送平面输送所述基板，使得所述末端执行器和所述腕关节带轮的至少一部分通过所述槽阀贯通部。