一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构的制作方法

本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构。

背景技术：

现有的晶圆在加工时其一般需要放置在储料架上进行放置，然后，通过抓取机构抓取，而一般的抓取机构的升降高度有限，其无法将抓取手降低过低，使得储料架中放置的晶圆必须在一定高度处，使得储料架的下部空间产生储存浪费，其带来的问题就是储料架中储存放置的晶圆个数也受到限制，不能放置过多，使得储料架上的所有晶圆加工完成后，需要重新装卸更换，其更换次数增加，效率低。

技术实现要素：

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，它可以将储料底板根据需要进行高低调节，使得其上的两个侧板体之间的下部也可以放置晶圆，需要抓取时可以将储料底板提升，方便抓取，效果好。

本发明的技术解决措施如下：

一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，包括固定底座，所述固定底座的下部设有下横向支撑板，下横向支撑板的底面中部固定有提升伺服电机，提升伺服电机的输出轴穿过下横向支撑板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套，竖直螺套上螺接有竖直提升螺杆，竖直提升螺杆的顶端固定有提升板，提升板的侧壁固定有导向套体，导向套体插套在固定底座的顶板上成型有的导向通孔中；

所述提升板的顶面固定有储料底板，储料底板的顶面的前部和后部均固定有侧板体，两个侧板体的相对壁面上均成型有多个侧边槽，晶圆的前部和后部插套在对应的侧边槽中。

所述固定底座的顶板的顶面上固定有安装固定板，安装固定板的中部具有中心通槽，导向套体的上部插套在中心通槽中。

所述中心通槽的内侧壁上固定有自润滑耐磨层，自润滑耐磨层紧贴导向套体的外侧壁。

所述导向套体的下部外侧壁上固定有限位定位块，限位定位块对着固定底座的顶板的底面。

所述导向套体的下部内侧壁上固定有多个导向竖直杆，导向竖直杆的下部插套在下横向支撑板的顶面上固定有的主导向套体中。

所述提升板上成型有多个定位通孔，定位通孔的内侧壁上螺接有多个球头柱塞，储料底板的底面固定有多个定位柱，定位柱插套在对应的定位通孔中，球头柱塞的钢球嵌套在定位柱的外侧壁上成型有的环形槽中。

本发明的有益效果在于：其可以将储料底板根据需要进行高低调节，使得其上的两个侧板体之间的下部也可以放置晶圆，需要抓取时可以将储料底板提升，方便抓取，效果好，使得其两个侧板体之间可以放置更多的晶圆，一次可以进行更多晶圆加工，减少储料底板的装卸次数，提高加工效率。。

附图说明

图1为本发明的局部剖视图；

图2为图1的局部放大图；

图3为两个侧板体之间的局部剖视图。

具体实施方式

实施例：见图1至3所示，一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，包括固定底座10，所述固定底座10的下部设有下横向支撑板11，下横向支撑板11的底面中部固定有提升伺服电机12，提升伺服电机12的输出轴穿过下横向支撑板11的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套13，竖直螺套13上螺接有竖直提升螺杆14，竖直提升螺杆14的顶端固定有提升板15，提升板15的侧壁固定有导向套体16，导向套体16插套在固定底座10的顶板上成型有的导向通孔17中；

所述提升板15的顶面固定有储料底板20，储料底板20的顶面的前部和后部均固定有侧板体21，两个侧板体21的相对壁面上均成型有多个侧边槽22，晶圆100的前部和后部插套在对应的侧边槽22中。

进一步的说，所述固定底座10的顶板的顶面上固定有安装固定板18，安装固定板18的中部具有中心通槽181，导向套体16的上部插套在中心通槽181中。

进一步的说，所述中心通槽181的内侧壁上固定有自润滑耐磨层182，自润滑耐磨层182紧贴导向套体16的外侧壁。

进一步的说，所述导向套体16的下部外侧壁上固定有限位定位块1，限位定位块1对着固定底座10的顶板的底面。

进一步的说，所述导向套体16的下部内侧壁上固定有多个导向竖直杆2，导向竖直杆2的下部插套在下横向支撑板11的顶面上固定有的主导向套体3中。

进一步的说，所述提升板15上成型有多个定位通孔151，定位通孔151的内侧壁上螺接有多个球头柱塞152，储料底板20的底面固定有多个定位柱23，定位柱23插套在对应的定位通孔151中，球头柱塞152的钢球嵌套在定位柱23的外侧壁上成型有的环形槽231中。

所述两个侧板体21的右端之间成型有相互靠近的弧形部，以保证晶圆100的右部处可以处于两个弧形部的内侧壁上成型有的侧边槽22中，方便定位。

本实施例中，其在使用时，当其两个侧板体21的上部处的晶圆100均取出加工完成后，其可以通过提升伺服电机12运行，实现提升板15提升，使得两个侧板体21的下部处的晶板100可以提升，使得抓取机构可以抓取使用，其使得两个侧板体21之间可以安装更多的晶圆100，降低储料底板20拆卸次数，提高加工效率。

其中，储料底板20拆卸安装通过球头柱塞152定位，其拆卸安装也非常方便，只需要拉出或插入即可。

技术特征：

1.一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，包括固定底座(10)，其特征在于：所述固定底座(10)的下部设有下横向支撑板(11)，下横向支撑板(11)的底面中部固定有提升伺服电机(12)，提升伺服电机(12)的输出轴穿过下横向支撑板(11)的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套(13)，竖直螺套(13)上螺接有竖直提升螺杆(14)，竖直提升螺杆(14)的顶端固定有提升板(15)，提升板(15)的侧壁固定有导向套体(16)，导向套体(16)插套在固定底座(10)的顶板上成型有的导向通孔(17)中；

所述提升板(15)的顶面固定有储料底板(20)，储料底板(20)的顶面的前部和后部均固定有侧板体(21)，两个侧板体(21)的相对壁面上均成型有多个侧边槽(22)，晶圆(100)的前部和后部插套在对应的侧边槽(22)中。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，其特征在于：所述固定底座(10)的顶板的顶面上固定有安装固定板(18)，安装固定板(18)的中部具有中心通槽(181)，导向套体(16)的上部插套在中心通槽(181)中。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，其特征在于：所述中心通槽(181)的内侧壁上固定有自润滑耐磨层(182)，自润滑耐磨层(182)紧贴导向套体(16)的外侧壁。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，其特征在于：所述导向套体(16)的下部外侧壁上固定有限位定位块(1)，限位定位块(1)对着固定底座(10)的顶板的底面。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，其特征在于：所述导向套体(16)的下部内侧壁上固定有多个导向竖直杆(2)，导向竖直杆(2)的下部插套在下横向支撑板(11)的顶面上固定有的主导向套体(3)中。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，其特征在于：所述提升板(15)上成型有多个定位通孔(151)，定位通孔(151)的内侧壁上螺接有多个球头柱塞(152)，储料底板(20)的底面固定有多个定位柱(23)，定位柱(23)插套在对应的定位通孔(151)中，球头柱塞(152)的钢球嵌套在定位柱(23)的外侧壁上成型有的环形槽(231)中。

技术总结
本发明公开了一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，包括固定底座，所述固定底座的下部设有下横向支撑板，下横向支撑板的底面中部固定有提升伺服电机，提升伺服电机的输出轴穿过下横向支撑板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套，竖直螺套上螺接有竖直提升螺杆，竖直提升螺杆的顶端固定有提升板，提升板的侧壁固定有导向套体，导向套体插套在固定底座的顶板上成型有的导向通孔中。本发明可以将储料底板根据需要进行高低调节，使得其上的两个侧板体之间的下部也可以放置晶圆，需要抓取时可以将储料底板提升，方便抓取，效果好。

技术研发人员：罗永胜
受保护的技术使用者：台州市老林装饰有限公司
技术研发日：2020.08.24
技术公布日：2020.11.03