一种激光硼掺杂背钝化太阳能电池的制作方法

文档序号:24210527发布日期:2021-03-09 20:46阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种激光硼掺杂背钝化太阳能电池,包括p型硅(1),其特征在于,所述p型硅(1)正面向上依次设有磷掺杂层(2)、正面钝化减反射层(3)和ag栅指电极(5),所述p型硅(1)背面向下依次设有钝化层(6)、背面钝化减反射层(7)和al栅指电极(9),所述p型硅(1)背面还设有重掺杂区(8),所述重掺杂区(8)包括硼重掺杂层(801)和局部接触铝掺杂层(802),所述al栅指电极(9)通过重掺杂区(8)与p型硅(1)下表面连接。2.根据权利要求1所述的一种激光硼掺杂背钝化太阳能电池,其特征在于,所述p型硅(1)正面还设有重掺杂硅层(4),所述ag栅指电极(5)通过重掺杂硅层(4)与p型硅(1)上表面连接。3.根据权利要求1所述的一种激光硼掺杂背钝化太阳能电池,其特征在于,所述正面钝化减反射层(3)和背面钝化减反射层(7)均为sin
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膜层。4.根据权利要求1所述的一种激光硼掺杂背钝化太阳能电池,其特征在于,所述钝化层(6)为alo
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膜层。5.根据权利要求1所述的一种激光硼掺杂背钝化太阳能电池,其特征在于,所述硼重掺杂层(801)与p型硅(1)下表面连接,所述局部接触铝掺杂层(802)与al栅指电极(9)连接。
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