存储装置的制作方法

文档序号:29083005发布日期:2022-03-02 00:34阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种存储装置,其特征在于包括:第1存储单元阵列,包含在第1方向上积层的多个第1电极层、及在所述第1方向上延伸而贯通所述多个第1电极层的第1半导体柱,所述多个第1电极层包含呈阶梯状设置的第1端部;第1接触插塞,在所述第1方向延伸,且在所述第1端部与所述多个第1电极层中的一个接触;第2接触插塞,贯通所述第1存储单元阵列,沿着所述第1方向延伸;第2存储单元阵列,相对于所述第1存储单元阵列配置在所述第1方向,包含在所述第1方向上积层的多个第2电极层、及在所述第1方向上延伸而贯通所述多个第2电极层的第2半导体柱,且所述多个第2电极层包含呈阶梯状设置的第2端部;第3接触插塞,在所述第1方向延伸,且在所述第2端部与所述多个第2电极层中的一个接触;以及第4接触插塞,贯通所述第1存储单元阵列,沿着所述第1方向延伸,且所述第4接触插塞电连接于所述第2接触插塞;且所述第3接触插塞电连接于所述第4接触插塞,从而与所述第2接触插塞电连接。2.根据权利要求1所述的存储装置,其特征在于还包括:第1连接垫,设置在所述第1存储单元阵列和所述第2存储单元阵列之间,且所述第2接触插塞连接于所述第1连接垫;以及第2连接垫,与所述第1存储单元阵列和所述第2存储单元阵列之间的所述第1连接垫贴合,且所述第4接触插塞连接于所述第2连接垫。3.根据权利要求1所述的存储装置,其特征在于还包括:第1配线,将所述第3和第4接触插塞电连接。4.根据权利要求2所述的存储装置,其特征在于还包括:驱动电路,经由所述第2至第4接触插塞电连接于所述多个第2电极层中的一个,且所述第1存储单元阵列位于所述驱动电路与所述第2存储单元阵列之间。5.根据权利要求4所述的存储装置,其特征在于还包括:第5接触插塞,贯通所述第1存储单元阵列而延伸;以及第2配线,将所述第1接触插塞与所述第5接触插塞电连接;且所述驱动电路经由所述第1接触插塞及所述第5接触插塞电连接于所述多个第1电极层中的一个。6.根据权利要求1所述的存储装置,其特征在于:所述第1及第2存储单元阵列还分别包含第1及第2源极线,所述多个第1电极层在所述第1源极线上积层,所述多个第2电极层在所述第2源极线上积层,所述第1半导体柱电连接于所述第1源极线,所述第2半导体柱电连接于所述第2源极线。7.根据权利要求6所述的存储装置,其特征在于还包括:第1连接导体,将所述第1与第2源极线电连接;以及第2连接导体,将所述第1与第2半导体柱电连接;其中所述第1连接导体包含第1和第2连接部分,所述第1连接部分贯通所述第1存储单元阵列而延伸,所述第2连接部分贯通所述第2存储单元阵列而延伸,所述第1连接部分电连接于
所述第1源极线,所述第2连接部分电连接于所述第2源极线;且所述第2连接导体包含第3和第4连接部分,所述第3连接部分贯通所述第1存储单元阵列而延伸,所述第4连接部分贯通所述第2存储单元阵列而延伸,所述第3连接部分电连接于所述第1半导体柱,所述第4连接部分电连接于所述第2半导体柱。8.根据权利要求7所述的存储装置,其特征在于:所述第1半导体柱具有第1端及与所述第1端相对的第2端,所述第1半导体柱的所述第1端电连接于所述第1源极线,所述第1半导体柱的所述第2端电连接于所述第3连接部分;且所述第2半导体柱具有第1端及与所述第1端相对的第2端,所述第2半导体柱的所述第1端电连接于所述第2源极线,所述第2半导体柱的所述第2端电连接于所述第4连接部分。9.根据权利要求7所述的存储装置,其特征在于:所述第2连接导体还包含第3连接垫及第4连接垫,所述第3连接垫贴合在所述第1与第2存储单元阵列之间的所述第4连接垫,所述第3连接部分电连接于所述第3连接垫,所述第4连接部分电连接于所述第4连接垫。

技术总结
实施方式的存储装置具备:第1存储单元阵列;第2存储单元阵列,相对于所述第1存储单元阵列配置在第1方向;第1接触插塞,在所述第1存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸;以及第2接触插塞,在所述第2存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸,且电连接在所述第1接触插塞。所述第1存储单元阵列包含在所述第1方向上积层的多个第1电极层、及贯通所述多个第1电极层的第1半导体柱,所述第2存储单元阵列包含在所述第1方向上积层的多个第2电极层、及贯通所述多个第2电极层的第2半导体柱。所述第1接触插塞电连接在所述第1半导体柱,所述第2接触插塞电连接在所述第2半导体柱。接在所述第2半导体柱。接在所述第2半导体柱。


技术研发人员:田上政由 胜又龙太 饭島纯 清水徹哉 臼井孝公 藤田弦晖
受保护的技术使用者:东芝存储器株式会社
技术研发日:2017.09.06
技术公布日:2022/3/1
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