超声波传感器及其制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种超声波传感器及超声波传感器的制造方法。
【背景技术】
[0002] 采用压电薄膜等材料作为压电材料的物质波式感测元件已广泛地应用于工业、国 防、消防、电子等不同领域。一种典型的物质波式感测元件为超声波传感器。其中超声波传 感器因其操作性不易环境温度、湿度的影响，且具有寿命长、解析度高等特点而在公共场所 等恶劣环境下受到广泛应用。超声波传感器一般包括透明电极层用于发射及接收电压、压 电材料层用于产生超声波，所述透明电极层的第一电极与压电材料层在超声波传感器的边 缘区域通过一导电膜连接，在涂布导电膜时由于压电材料的表面张力较大而使薄膜的边缘 缺角导致触控精度下降。
【发明内容】
[0003] 有鉴于此，有必要提供一种超声波传感器及其制造方法。
[0004] 一种超声波传感器，包括：基板；第一电极与第一压电材料层层叠设置于所述基 板一侧；第二电极与第二压电材料层层叠设置于所述基板的另一侧；及所述第一压电材料 层设置一缺口用于涂布所述导电膜连接所述第一电极与第一压电材料层。
[0005] 一种超声波传感器的制造方法，包括： 提供一基板，在基板两侧贴合形成第一电极与第二电极； 在所述第一电极上涂布第一压电材料层，在所述第二电极上涂布第二压电材料层； 在所述第一压电材料层上定义一缺口；及在所述缺口处涂布导电膜连接所述第一电极 与第一压电材料层。
[0006] 相较于现有技术，本发明的超声波传感器及制造方法在第二压电材料层上设置一 缺口，并在缺口处通过导电膜连接第一电极与第一压电材料层，从而解决由于压电材料表 面张大较大而引起的导电膜涂布缺角的现象以增加超声波传感器的感测精度。
【附图说明】
[0007] 图1是本发明超声波传感器的俯视图。
[0008] 图2是图1所示超声波传感器的侧视结构的立体示意图。
[0009] 图3是图1所示超声波传感器沿III-III线的剖面示意图。
[0010] 图4-图7是本发明超声波传感器各制造步骤之结构示意图。
[0011] 图8是本发明超声波传感器制造方法流程图。
[0012] 主要元件符号说明
【主权项】
1. 一种超声波传感器，包括； 基板； 第一电极与第一压电材料层层叠设置于所述基板一侧； 第二电极与第二压电材料层层叠设置于所述基板的另一侧；及 所述第一压电材料层设置一缺口用于涂布所述导电膜连接所述第一电极与第一压电 材料层。
2. 如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述第二电极为输出电压至所述 第二压电材料层之发送电极，所述第一电极为接收所述第一压电材料层输出之电压之接收 电极。
3. 如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述导电膜的材质为银浆。
4. 如权利要求3所述的超声波传感器，其特征在于，所述银浆中的导电微粒的直径大 于0.0 lum且小于lOum。
5. 如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述导电膜的厚度小于lOum。
6. 如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述导电膜内导电微粒的内聚力 大于压电材料层的表面张力。
7. 如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述透明电极层的材质为单层透 明导电材料。
8. 如权利要求7所述的超声波传感器，其特征在于，所述单层透明导电材料包括氧化 铜锡、氧化锋、聚己撑二氧唾吩、碳纳米管、银纳米线W及石墨締。
9. 如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述第一、第二压电材料层的材质 为聚二氣亚己締。
10. -种超声波传感器的制造方法，包括： 提供一基板，在基板两侧贴合形成第一电极与第二电极； 在所述第一电极上涂布第一压电材料层，在所述第二电极上涂布第二压电材料层； 在所述第一压电材料层上定义一缺口；及 在所述缺口处涂布导电膜连接所述第一电极与第一压电材料层。
【专利摘要】本发明揭示一种超声波传感器，包括：基板；第一电极与第一压电材料层层叠设置于所述基板一侧；第二电极与第二压电材料层层叠设置于所述基板的另一侧；及所述第一压电材料层设置一缺口用于涂布所述导电膜连接所述第一电极与第一压电材料层。本发明还揭示一种超声波传感器的制造方法。
【IPC分类】H01L41-277, H01L41-113
【公开号】CN104681711
【申请号】CN201410678969
【发明人】王娟
【申请人】麦克思智慧资本股份有限公司
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2014年11月24日