一种隔离窗固定结构以及腔室的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种隔离窗固定结构以及腔室。
【背景技术】
[0002]在半导体生产过程中，去气腔室(Degas腔室)用于对晶片加温，使得附着在晶片上面的有机物和水汽等杂志挥发，以实现清洁晶片的目的。
[0003]现有的去气腔室结构通常如图1所示，在腔室I和红外加热灯2之间设置了石英窗3进行隔离，以保证腔室I内的密封性，在腔室I的侧壁6上方设置有树脂垫块4，该树脂垫块4和腔室I的侧壁6共同支撑石英窗3。通常，腔室I内为真空环境，将晶片从腔室外传递至加热器5上后，向腔室I内充气，使得腔室的气压为10托左右，之后，对晶片进行加热以去除杂质，加热结束后，将腔室I内的气体抽出，使得腔室I内重新达到真空状态。
[0004]在上述充气以及抽真空的过程中，石英窗3会反复承受由于腔室I内气压变化导致的交变压力。由于上述现有的结构中石英窗3在竖直方向上没有被固定，使得石英窗3受到交变压力作用会在竖直方向上运动，尤其在抽真空的过程中，由于腔室上方的大气压力，石英窗3会承受较大的下压力而向下移动，导致与树脂垫块4和/或腔室I的侧壁6发生碰撞，可能导致石英窗3破裂。同时，加热过程中，石英窗3的温度升高，可能导致树脂垫块4软化变形，使得石英窗3受力不均，容易造成石英窗3破碎。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明的目的在于提供一种隔离窗固定结构以及腔室，以避免隔离窗在竖直方向上运动发生碰撞后导致隔离窗破裂。
[0006]为实现上述目的，本发明提供一种隔离窗固定结构，用于将所述隔离窗固定设置在腔室上方，所述隔离窗固定结构包括固定件，所述固定件包括第一固定部和设置在所述第一固定部外沿的第二固定部，所述第二固定部用于固定设置在所述腔室的侧壁上，所述第一固定部用于设置在所述隔离窗上方并与所述隔离窗固定连接。
[0007]优选地，所述隔离窗固定结构还包括垫圈和第一紧固件，所述第一固定部下表面设置有第一安装孔，所述垫圈上设置有第二安装孔，所述垫圈用于设置在所述隔离窗的下表面，所述第一紧固件用于穿过所述的第二安装孔和预设在所述隔离窗上的通孔安装在所述第一安装孔中，以将所述垫圈、所述隔离窗与所述第一固定部连接。
[0008]优选地，所述垫圈由铜材制成。
[0009]优选地，所述隔离窗固定结构还包括缓冲件，所述缓冲件能够设置在所述垫圈和所述隔离窗之间。
[0010]优选地，所述固定件由金属材料制成。
[0011]优选地，所述固定件中设置有冷却水路，所述冷却水路用于通入冷却水。
[0012]相应地，本发明还提供一种腔室，所述腔室上方设置有隔离窗，所述腔室还包括上述本发明所提供的隔离窗固定结构，所述固定件的第一固定部设置在所述隔离窗上方并与所述隔离窗固定连接，所述固定件的第二固定部固定设置在所述腔室的侧壁上。
[0013]优选地，所述隔离窗上设置有通孔，所述隔离窗固定结构还包括垫圈和第一紧固件，所述第一固定部下表面设置有第一安装孔，所述垫圈上设置有第二安装孔，所述垫圈设置在所述隔离窗下表面，所述第一紧固件穿过所述第二安装孔和所述通孔安装在所述第一安装孔中，以将所述垫圈、所述隔离窗与所述固定件连接。
[0014]优选地，所述第一固定部的下表面与所述隔离窗的上表面之间设置有第一密封圈。
[0015]优选地，所述第二固定部的下表面与所述腔室的侧壁的上表面之间设置有第二密封圈。
[0016]上述为对本发明所提供的隔离窗固定结构进行的描述，可以看出，本发明通过将固定件的第一固定部设置在隔离窗上方并与隔离窗固定连接，并将第二固定部固定设置在腔室侧壁上，能够稳固地固定隔离窗，避免了现有技术中隔离窗可能在竖直方向移动发生碰撞导致破裂的问题。同时，本发明中隔离窗固定设置在第一固定部的下方，避免了隔离窗受到压力后过度挤压其下方的部件。此外，本发明还能促进隔离窗的散热，能够进一步保护隔离窗。
【附图说明】
[0017]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0018]图1为现有的腔室结构示例图；
[0019]图2为本发明的腔室结构局部示例图；
[0020]图3为图2中I部分示例图；
[0021]图4为本发明所提供的固定件示例图；
[0022]图5为本发明所提供的垫圈示例图；
[0023]图6为本发明所提供的隔离窗示例图。
[0024]附图标记说明
[0025]1、40_腔室；2_加热灯；3_石英窗；4-树脂垫块；5_加热器；6、41_腔室侧壁；10-固定件；11-第一固定部；12_第二固定部；13_第一安装孔；14_冷却水路；15_第二紧固件；20_隔离窗；21_通孔；30_垫圈；31_第一紧固件；32_第二安装孔；50_第一密封圈；51-第二密封圈。
【具体实施方式】
[0026]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0027]作为本发明的一个方面，提供一种隔离窗固定结构，该隔离窗固定结构用于将隔离窗固定设置在腔室上方，具体地，可以如图2至图6所示，该隔离窗固定结构可以包括固定件10，该固定件10可以包括第一固定部11和设置在第一固定部11外沿的第二固定部12，其中，第二固定部12可以用于固定设置在腔室侧壁41上，第一固定部11可以用于设置在隔离窗20上方并与隔离窗20固定连接。
[0028]具体地，固定件10可以环绕隔离窗20设置，固定件10的形状可以与隔离窗20的形状相对应以能够围绕隔离窗20，通常，隔离窗20为圆形的石英窗，则固定件10可以加工为对应的环形。固定件10包括第一固定部11和设置在第一固定部11外沿的第二固定部12，其中第一固定部11的外沿即指第一固定部11上远离固定件10中心一侧的边沿，可以将第一固定部11设置在隔离窗20上方，并将第一固定部11与隔离窗20固定连接，可以将第二固定部12设置在腔室侧壁41上，具体地，第二固定部12可以通过第二紧固件15固定设置在腔室侧壁41的上端面上，以此，可以将隔离窗20固定设置在腔室40的上方。
[0029]通过上述结构，能够将隔离窗20固定在腔室上方，避免了隔离窗20受到交变压力时在竖直方向上移动，解决了现有技术中隔离窗20可能与树脂垫块和腔室侧壁碰撞导致破裂的问题。此外，由于腔室上方的大气压力远大于腔室内部的气压，因此隔离窗20会受到向下的压力，上述结构中，将隔离窗固定设置在第一固定部11的下方，隔离窗20的没有部件对其进行支撑，因此，当隔离窗20受到向下的压力时，并不会受到支撑部件向上的反作用力，从而不会造成破损。在上述结构中，隔离窗20受力会被转移至第二紧固件15上，具体可以根据隔离窗20的重量、隔离窗20受到的压力以及每个第二紧固件15能够承受的力来设定第二紧固件15的数量。
[0030]更进一步地，本发明所提供的隔离窗固定结构还可以包括垫圈30和第一紧固件31，且固定件10的下表面设置有第一安装孔13 (如图4所示)，垫圈30上设置有第二安装孔32 (如图5所示)，该垫圈30可以设置在隔离窗20的下表面，第一紧固件31用于穿过第