气体激光器装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种气体激光器装置，其在密闭构造的框体内封入激光介质气体，进行激光振荡或激光放大。
【背景技术】
[0002]在当前的正交激励型气体激光器装置中，具有封入了 0)2气体等激光介质气体的密闭构造的框体，在框体内具有:激光介质气体放电激励用的放电电极；热交换器，其对激光介质气体进行冷却；以及送风机，其使激光介质气体循环。在0)2气体激光器等气体激光器中的连续振荡中，为了将发出激光的气体分子激励(栗浦)至诱导发光所需的能级，通常使用通过放电时的电子碰撞而进行激励的放电激励。在该情况下，为了得到稳定的放电，需要将振荡器框体内部设置为30?60Torr的真空状态，因此气体激光振荡器的振荡器框体需要具有能够保持真空状态的气密性能。
[0003]另外，由于需要对配置在框体内部的放电电极、热交换器、送风机、以及反射镜光学系统等定期地进行维护，因此优选维护作业者能够从框体的外部容易地接近。因此，通常，在框体中设置较宽的开口部，安装用于对该开口部进行闭塞的、能够卸下的盖部件。
[0004]根据以上所述，优选气体激光器装置的盖部件能够承受将框体的内部设置为真空状态时的负载，保持能够对真空状态进行保持的气密性能，且为了能够容易地对框体的内部设备进行维护而使开口部面积较大。
[0005]上述的气体激光器装置的盖部件是板状的，或者为了进行薄壁化，提出了下述构造，即，在盖部件上形成向框体的内侧部(例如参照专利文献I)或外侧部(例如参照专利文献2及专利文献5)凸出的曲面部。
[0006]另外，气体激光器装置主要在激光器加工中使用，为了提高加工能力，高输出化不断进步。因此，导入较长的放电电极、大型热交换器以及大型气体导管，由此框体特别是沿光轴方向较长，框体的高度及宽度均大型化。并且，随着大型化导致的表面积的增大，对框体及盖部件作用较大的大气压力，因此要求较高的强度和刚性。
[0007]专利文献1:日本特开昭60 - 254680号公报(图1)
[0008]专利文献2:日本实公平6 - 035484号公报(图1)
[0009]专利文献3:日本特开2003 - 304015(图1)
[0010]专利文献4:日本特开2007 - 294807号公报(图1)
[0011]专利文献5:国际公开2010 - 134166号公报(图1)
[0012]专利文献6:日本特开2011 - 159901号公报
【发明内容】
[0013]在进行了大型化的激光器装置中，大型的盖部件为了承受大气压力，需要增加板厚度。其结果，盖部件的材料成本增高，另外，与重量的增加相伴，维护操作性变差。
[0014]另外，由于框体越大型化，越难以确保盖部件的凸缘部的平面度，因此使得气密性恶化，气密性的返工作业等作业增加，其结果，制造成本增高。
[0015]本发明的目的在于提供一种气体激光器装置，该气体激光器装置即使框体大型化，也能够实现轻量且低成本的盖构造。
[0016]为了实现上述目的，本发明是通过激光气体的激励而产生激光的气体激光器装置，
[0017]该气体激光器装置的特征在于，
[0018]具有框体，该框体用于封入激光气体，
[0019]该框体具有:主体部，其具有在两侧形成了开口部的框状构造；以及一对盖部件，其以覆盖各开口部的方式可自由装卸地安装，
[0020]主体部具有:一对第I框部件，其沿激光的光轴延伸；以及一对第2框部件，其分别将第I框部件的两端连结，
[0021]各盖部件具有:局部圆筒部件，其在与光轴垂直的平面内具有圆弧状的剖面形状，沿光轴延伸；以及一对侧壁部件，其将局部圆筒部件的两端闭塞，
[0022]局部圆筒部件具有将高部和低部沿光轴相连地成型而得到的波纹部。
[0023]在本发明中，优选侧壁部件具有以圆弧状成型的弯曲部，
[0024]局部圆筒部件在该弯曲部的切线方向上连结。
[0025]在本发明中，优选侧壁部件仅由弯曲部形成。
[0026]在本发明中，优选弯曲部的曲率半径沿局部圆筒部件的周向而变化。
[0027]在本发明中，优选局部圆筒部件的端部的半径大于波纹部的低部的半径。
[0028]在本发明中，优选局部圆筒部件的端部的半径与波纹部的高部的半径相同。
[0029]在本发明中，优选盖部件具有均匀的板厚。
[0030]发明的效果
[0031]根据本发明，由于通过在局部圆筒部件处设置将高部和低部沿光轴相连地成型而得到的波纹部，从而局部圆筒部件的沿圆周方向的压曲强度提高，因此即使大型也能够实现薄壁的盖。其结果，能够实现由轻量化引起的操作性的提高以及材料成本的降低。
[0032]另外，由于波纹部能够沿光轴进行弹性变形，因此即使在盖部件的制造时发生翘曲，该翘曲也仿形于被安装面。因此，尺寸精度得到缓和，即使是大型的盖部件，也能够以低成本进行制造。
【附图说明】
[0033]图1是表示本发明的实施方式I所涉及的气体激光器装置的斜视图，示出卸下一个盖部件后的状态。
[0034]图2是图1中的矢向A剖视图。
[0035]图3是图1中的矢向B剖视图。
[0036]图4是表示凸缘板相对于光轴翘曲的状态的斜视图。
[0037]图5是表示本发明的实施方式2所涉及的盖部件的构造的斜视图。
[0038]图6是沿穿过局部圆筒部件的中心线的XY平面的矢向C剖视图。
[0039]图7是表示本发明的实施方式3所涉及的盖部件的构造的斜视图。
[0040]图8A是沿穿过局部圆筒部件的中心线的平面的矢向F剖视图，图SB是沿穿过局部圆筒部件的中心线的XY平面的矢向D剖视图。
[0041]图9表示本发明的实施方式4所涉及的盖部件的构造，是沿穿过局部圆筒部件的中心线的XY平面的剖视图。
[0042]图10表示本发明的实施方式5所涉及的盖部件的构造，是沿穿过局部圆筒部件的中心线的XY平面的剖视图。
[0043]图11表示局部圆筒部件的压曲的情况，图1lA是斜视图，图1lB是矢向G剖视图。
【具体实施方式】
[0044]实施方式I
[0045]图1是表示本发明的实施方式I所涉及的气体激光器装置的斜视图，示出拆下了一个盖部件后的状态。图2是图1中的矢向A剖视图，图3是图1中的矢向B剖视图。在这里，为了容易理解，将激光的光轴设为X方向，将与光轴垂直的高度方向设为Z方向，将与X方向及Z方向两者垂直的高度方向设为Y方向。
[0046]<气体激光器装置的构造>
[0047]气体激光器装置的框体具有:主体部10，其具有在两侧形成了开口部的框状构造；以及一对盖部件30，其以覆盖各开口部的方式可自由装卸地安装，两者通过螺栓2等固定部件而被固定，以确保对激光气体进行封入的气密的内部空间。
[0048]主体部10具有:上板12及下板13，其沿X方向延伸；以及一对侧板11，其沿Z方向延伸，分别将上板12及下板13的两端连结。由上述侧板11、上板12及下板13构成框状部件，在该框状部件的各开口部中，分别设置在ZX平面内向外侧延伸的凸缘板14。在凸缘板14上，用于安装O型密封圈的O型环槽15以包围开口部的方式形成。在O型环槽15的外侧，设置用于紧固螺栓2的多个螺孔16。
[0049]上述主体部10能够使用钢铁、不锈钢、铝等金属材料，通过上板12、下板13、侧板11及凸缘板14的气密焊接而制作。
[0050]在主体部10的内部，设置激光气体的流动方向彼此相反的2组激励单元。下面，对构成一个第I激励单元的部件标记A，对构成另一个第2激励单元的部件标记B。
[0051]第I激励单元具有下述部件:一对放电电极21A，其用于对激光气体进行激励；送风机23A，其