磁性连接装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备领域，更具体地说，涉及半导体设备中的连接部件。
【背景技术】
[0002]半导体设备用于对晶圆进行各种加工，在工作过程中，半导体设备中的各种部件会进行位置移动，通常，部件的移动方式为沿着预先布置的导轨移动。考虑到半导体设备的工作特性，即对于晶圆的处理实际上是按照一定的顺序进行的，即当执行前一个步骤的部件在工作时，执行后一个步骤的部件并不工作，所以，为多个按照顺序工作的部件配备一个公用的驱动机构是合理的。这样可以减少驱动设备的数量，以节约半导体设备的内部空间。
[0003]在现有技术中，驱动设备和部件的连接通常采用刚性连接部件。当驱动设备需要和部件连接时，使用刚性连接部件将两者连接牢固，由驱动设备带动部件移动。当不需要进行连接时，解除连接。刚性连接部件在进行连接时，需要两边的连接部件精确对准，否则无法实现连接。在实际应用中，经过长时间的使用，沿导轨运行的部件难免会出现微小的位移，这些位移会造成无法对准而引起连接失败。因此，在采用刚性连接部件时，在连接之前需要进行对准操作，十分耗费时间。刚性连接部件的结构比较复杂，进行连接操作时所需要的时间也比较长。
【发明内容】
[0004]本发明旨在提出一种能够更简单地实现连接的连接装置。
[0005]根据本发明的一实施例，提出一种磁性连接装置，该磁性连接装置用于驱动沿导轨移动的一负载，其中该磁性连接装置包括:
[0006]丝杆，丝杆沿平行于导轨的方向布置；
[0007]连接杆，连接杆的第一端固定在丝杆上；
[0008]磁性部件，安装在连接杆的第二端，磁性部件能吸附在负载上；
[0009]感应装置，感应装置感应磁性部件是否吸附在负载上。
[0010]在一个实施例中，感应装置包括感应片和传感器，感应片安装在磁性部件上，传感器安装在负载上；当磁性部件吸附在负载上时，感应片被传感器所感知；当磁性部件没有吸附在负载上时，感应片不被传感器所感知。
[0011]在一个实施例中，感应片为折线型，折线的第一段贴附在磁性部件上，传感器上具有一凹槽，凹槽的位置与折线的第二段对齐。磁性部件吸附在负载上时，折线的第二段进入到凹槽中，传感器感知到感应片。磁性部件没有吸附在负载上时，折线的第二段不进入到凹槽中，传感器不感应感应片。
[0012]在一个实施例中，向磁性部件施加外力使得磁性部件吸附到负载上，感应装置感知磁性部件已经吸附在负载上，驱动丝杆，通过连接杆和磁性部件带动负载沿导轨移动。
[0013]在一个实施例中,磁性部件是永磁体,外力是推动磁性部件靠近负载的力。
[0014]在一个实施例中，磁性部件是电磁铁，外力是接通电磁铁的电路，电磁铁产生电磁力使得磁性部件吸附到负载上。
[0015]本发明的磁性连接装置利用磁性连接取代刚性连接，使得驱动设备与部件之间的连接更加便捷，磁性连接允许一定的位移偏差，因此简化了连接部件的结构，也节省了连接过程的时间。
【附图说明】
[0016]本发明上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变的更加明显，在附图中相同的附图标记始终表示相同的特征，其中:
[0017]图1揭示了根据本发明的一实施例的磁性连接装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]参考图1所示，揭示了根据本发明的一实施例的磁性连接装置的结构示意图。该磁性连接装置100用于驱动沿导轨202移动的一负载200，该负载200可以是半导体设备中的部件。该磁性连接装置100包括:丝杆102、连接杆104、磁性部件106和感应装置。
[0019]丝杆102沿平行于导轨202的方向布置，丝杆102与导轨202平行使得丝杆102可以驱动负载200沿导轨202移动。连接杆104的第一端固定在丝杆102上。磁性部件106安装在连接杆104的第二端，磁性部件106能吸附在负载200上。负载200是半导体设备中的部件，其自身材料为能被磁铁吸附的金属，或者在负载200上的合适位置安装有能被磁铁吸附的金属块。磁性部件106吸附在负载200或者金属块上。感应装置感应磁性部件106是否吸附在负载200上。参考图1所示，感应装置包括感应片181和传感器182，感应片181安装在磁性部件106上，传感器182安装在负载200上。当磁性部件吸附在负载上时，感应片被传感器所感知，当磁性部件没有吸附在负载上时，感应片不被传感器所感知。继续参考图1所示，感应片181为折线型，折线的第一段贴附在磁性部件106上，传感器182上具有一凹槽，凹槽的位置与折线的第二段对齐。磁性部件106吸附在负载200上时，折线的第二段进入到凹槽中，传感器182感知到感应片181。磁性部件106没有吸附在负载200上时，折线的第二段不进入到凹槽中，传感器182不感应感应片181。
[0020]在需要将驱动设备，即丝杆102连接到负载200上时，向磁性部件106施加外力使得磁性部件106吸附到负载200上，感应装置感知磁性部件已经吸附在负载上，之后驱动丝杆102，通过连接杆104和磁性部件106带动负载200沿导轨202移动。
[0021]在一个实施例中，磁性部件106是永磁体，外力是推动磁性部件106靠近负载200的力。在外力作用下，永磁体靠近负载并依靠磁力吸附在负载上。当需要解除连接时，固定住负载200,向磁性部件106施加一个远离负载200的力，当该外力大于磁力时，磁性部件106与负载200分尚。
[0022]在一个实施例中，磁性部件106是电磁铁，外力是接通电磁铁的电路，电磁铁产生电磁力使得磁性部件106吸附到负载200上。当需要断开连接时，切断电磁铁的电路，电磁力消失，磁性部件106自然从负载200上分离。
[0023]本发明的磁性连接装置利用磁性连接取代刚性连接，使得驱动设备与部件之间的连接更加便捷，磁性连接允许一定的位移偏差，因此简化了连接部件的结构，也节省了连接过程的时间。
[0024]上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本发明的，熟悉本领域的人员可对上述实施例做出种种修改或变化而不脱离本发明的发明思想，因而本发明的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。
【主权项】
1.一种磁性连接装置，其特征在于，该磁性连接装置用于驱动沿导轨移动的一负载，其中该磁性连接装置包括: 丝杆，丝杆沿平行于导轨的方向布置； 连接杆，连接杆的第一端固定在丝杆上； 磁性部件，安装在连接杆的第二端，磁性部件能吸附在负载上； 感应装置，感应装置感应磁性部件是否吸附在负载上。2.如权利要求1所述的磁性连接装置，其特征在于，所述感应装置包括感应片和传感器，所述感应片安装在磁性部件上，所述传感器安装在负载上； 当磁性部件吸附在负载上时，感应片被传感器所感知； 当磁性部件没有吸附在负载上时，感应片不被传感器所感知。3.如权利要求2所述的磁性连接装置，其特征在于， 所述感应片为折线型，折线的第一段贴附在磁性部件上，所述传感器上具有一凹槽，所述凹槽的位置与折线的第二段对齐； 所述磁性部件吸附在负载上时，折线的第二段进入到所述凹槽中，所述传感器感知到感应片； 所述磁性部件没有吸附在负载上时，折线的第二段不进入到所述凹槽中，所述传感器不感应所述感应片。4.如权利要求1-3中任一项所述的磁性连接装置，其特征在于，向磁性部件施加外力使得磁性部件吸附到所述负载上，所述感应装置感知磁性部件已经吸附在所述负载上，驱动所述丝杆，通过连接杆和磁性部件带动负载沿导轨移动。5.如权利要求4所述的磁性连接装置，其特征在于，所述磁性部件是永磁体，所述外力是推动磁性部件靠近负载的力。6.如权利要求4所述的磁性连接装置，所述磁性部件是电磁铁，所述外力是接通所述电磁铁的电路，电磁铁产生电磁力使得磁性部件吸附到所述负载上。
【专利摘要】本发明揭示了一种磁性连接装置，该磁性连接装置用于驱动沿导轨移动的一负载，其中该磁性连接装置包括：丝杆，丝杆沿平行于导轨的方向布置；连接杆，连接杆的第一端固定在丝杆上；磁性部件，安装在连接杆的第二端，磁性部件能吸附在负载上；感应装置，感应装置感应磁性部件是否吸附在负载上。本发明的磁性连接装置利用磁性连接取代刚性连接，使得驱动设备与部件之间的连接更加便捷，磁性连接允许一定的位移偏差，因此简化了连接部件的结构，也节省了连接过程的时间。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN105261575
【申请号】CN201410235862
【发明人】杨宏超, 金一诺, 张怀东, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2014年5月30日