图案化的薄箔的制作方法
【专利说明】
【背景技术】
[0001]当今，在大多数电子装置中广泛使用半导体。半导体结构的一些例子包括二极管、发光二极管和太阳能电池。太阳能电池是熟知的用于将太阳辐射转换成电能的装置。它们可以在半导体晶片上用半导体加工技术制造。太阳能电池包括P型和N型扩散区。撞击在太阳能电池上的太阳辐射产生迀移至扩散区的电子和空穴，从而在扩散区之间形成电压差。在背接触太阳能电池中，扩散区和与它们耦接的金属接触指均位于太阳能电池的背面上。接触区和接触指允许外部电路耦接到太阳能电池上并由太阳能电池供电。
[0002]在某些情况下，用于太阳能模块的电路可在太阳能电池部件和太阳能模块部件之间分割。例如，电路的一部分可以驻留在太阳能电池部件层级。该部分可以称为Ml层。电路的另一个部分可以驻留在模块部件层级并且可以称为M2层。然而，M2层的实施可能是成本高昂的。
【发明内容】
[0003]本公开描述用于将图案化的薄箔用作半导体中的金属层的技术和结构。在一个实施例中，可以将粘合剂施加到可重复使用的载体的表面。可以将金属箔附接到粘合剂以将金属箔耦接到可重复使用的载体的表面。可以在不损坏可重复使用的载体的情况下对金属箔进行图案化。可以将半导体(例如，太阳能电池)附接到图案化的金属箔。可以接着移除可重复使用的载体。在一些实施例中，可以用密封剂封装太阳能电池。粘合剂可以与密封剂兼容。
[0004]在一个实施例中，可以经由粘合剂层将金属层耦接到载体的表面，该粘合剂层与太阳能模块的密封剂兼容。可以对金属层的第一部分和第二部分进行图案化，并且可以将第一太阳能电池和第二太阳能电池分别耦接到图案化的第一部分和图案化的第二部分。在各种实施例中，可以接着移除载体。
[0005]在一个实施例中，可以将与密封剂相符的粘合剂施加到可重复使用的载体。可以接着将金属箔附接到与密封剂相符的粘合剂。可以对金属箔进行图案化。可以将晶片附接到图案化的金属箔，并且可以移除可重复使用的载体。在一个实施例中，在移除可重复使用的载体之后，与密封剂相符的粘合剂中的至少一些可留在图案化的金属箔上。
[0006]本
【发明内容】
提供用于以简化形式介绍一系列概念，这些概念在下文的【具体实施方式】中进一步描述。本
【发明内容】
并非意图识别要求保护的主题的关键特征或基本特征，也不意图用作确定要求保护的主题的范围的辅助手段。
【附图说明】
[0007]当结合以下附图考虑时，通过参见【具体实施方式】和权利要求书可以更完全地理解所述主题，其中在所有附图中，类似的附图标记是指类似的元件。
[0008]图1是根据一些实施例的流程图，其示出了用于将图案化的薄箔用作半导体结构中的金属层的方法。
[0009]图2是根据各种实施例的附接到图案化的金属箔的太阳能电池的横截面表示。
[0010]图3是根据各种实施例的将太阳能电池附接到图案化的金属箔的俯视图表示。
[0011]图4是根据各种实施例的附接到图案化的金属箔的太阳能电池的横截面表示。
[0012]图5是包括附接到图案化的薄箔的太阳能电池的太阳能模块的横截面表示。
【具体实施方式】
[0013]以下【具体实施方式】本质上只是例证性的，并非意图限制所述主题的实施例或此类实施例的应用和用途。如本文所用，词语“示例性”意指“用作例子、实例或举例说明”。本文描述为示例性的任何实施未必理解为相比其它实施优选的或有利的。此外，并不意图受前述技术领域、【背景技术】、
【发明内容】
或以下【具体实施方式】中提出的任何明示或暗示的理论的约束。
[0014]本说明书包括对“一个实施例”或“实施例”的提及。短语“在一个实施例中”或“在实施例中”的出现不一定是指同一实施例。特定的特征、结构或特性可以任何与本公开一致的合适方式加以组合。
[0015]术语。以下段落提供存在于本公开(包括所附权利要求书)中的术语的定义和/或背景:
[0016]“包含”。该术语是开放式的。如在所附权利要求书中所用，该术语并不排除另外的结构或步骤。
[0017]“被配置为”。各种单元或组件可被描述或主张成“被配置为”执行一项或多项任务。在这样的背景下，“被配置为”用于通过指示该单元/组件包括在操作期间执行一项或多项那些任务的结构而暗示结构。因此，即使当指定的单元/组件目前不在操作(例如，未开启/激活)时，也可将该单元/组件说成是被配置为执行任务。详述某一单元/电路/组件“被配置为”执行一项或多项任务明确地意在对该单元/组件而言不援用35 U.S.C.§ 112第六段。
[0018]如本文所用的“第一”、“第二”等这些术语用作其之后的名词的标记，而并不暗示任何类型的顺序(例如，空间、时间和逻辑等)。例如，提及“第一”太阳能电池并不一定暗示该太阳能电池是某一序列中的第一个太阳能电池；相反，术语“第一”用于区分该太阳能电池与另一个太阳能电池(例如，“第二”太阳能电池)。
[0019]“基于”。如本文所用，该术语用于描述影响确定结果的一个或多个因素。该术语并不排除可影响确定结果的另外因素。也就是说，确定结果可以仅基于那些因素或至少部分地基于那些因素。考虑短语“基于B确定A”。尽管B可以是影响A的确定结果的因素，但这样的短语并不排除A的确定结果还基于C。在其他实例中，A可以仅基于B来确定。
[0020]“耦接”。以下描述是指“耦接”在一起的元件或节点或特征。如本文所用，除非另外明确指明，否则“親接”意指一个元件/节点/特征直接或间接连接至另一个元件/节点/特征(或直接或间接与其连通)，并且不一定是机械耦接。
[0021]此外，以下描述中还仅为了参考的目的使用了某些术语，因此这些术语并非意图进行限制。例如，诸如“上部”、“下部”、“上面”或“下面”等术语是指附图中提供参考的方向。诸如“正面”、“背面”、“后面”、“侧面”、“外侧”和“内侧”等术语描述在一致但任意的参照系内组件的某些部分的取向和/或位置，通过参考描述所讨论部件的文字和相关的附图可以清楚地了解这些取向和/或位置。这样的术语可以包括上面具体提及的词语、它们的衍生词语以及类似意义的词语。
[0022]虽然为了易于理解依据太阳能电池、太阳能电池串和包括太阳能电池的太阳能模块描述本公开的很多内容，但所公开的技术和结构同样适用于其他半导体结构(例如，通常，硅晶片)。
[0023]现在转向图1，根据一些实施例示出流程图，其示出了用于将图案化的薄箔用作太阳能电池中的金属层的方法。在各种实施例中，图1的方法可以包括比所示出的框更多(或更少)的框。例如，在一个实施例中，可以对金属箔进行预先图案化，如下文描述。在此类实施例中，框106可能不是必要的(或者可以补充预先图案化)。
[0024]如102处所示，可以将粘合剂施加到可重复使用的载体的表面，该粘合剂还可以称为粘合剂层。在各种实施例中，粘合剂可以与用于封装太阳能电池的密封剂(例如，XUR、EVA等)兼容。本文中使用术语“与密封剂兼容或相符”来意指粘合剂具有与密封剂的性质相似和/或不会对密封剂的性质造成不利影响的电气性质、机械性质和/或化学性质等。例如，与密封剂相符的粘合剂和密封剂可以具有相似的固化性质。在一个实施例中，粘合剂的性质可以甚至协同地增强或改善密封剂的性质。
[0025]在一个实施例中，粘合剂可以是可用于生成粘附到可重复使用的载体的表面上的粘合剂均匀薄层的液体或固体粘合剂。粘合剂层可以是比密封剂的厚度小的薄材料。与密封剂相符的粘合剂的例子包括热熔粘合剂(HMA)、液体硅等。在各种实施例中，粘合剂还可以包括其他性质，诸如对于附接激光器(例如，执行将太阳能电池附接到箔的激光器)为光学透明的和/或对于图案化激光器(例如，执行对箔的图案化的激光器)为光学不透明的。
[0026]在104处，可以将金属箔附接到粘合剂以将金属箔耦接到可重复使用的载体的表面。附接金属箔可以包括将薄金属箔层乳制到粘合剂上，从而导致金属箔具有光滑、均匀且平坦的表面。在一些实施例中，金属箔可以是单片连续金属箔。将金属箔附接到粘合剂可以称为松散附接/粘附，使得金属箔可以不是很费力地从可重复使用的载体移除(例如，通过剥离而不需要很大力)，但可以被粘附为足以将箔固持在恰当位置来用于对箔进行图案化并且将电池附接到箔。
[0027]如106处所示，可以对金属箔进行图案化。所得的图案化的金属箔可以是可与太阳能电池的Ml层一起