压力检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种压力检测装置，尤其是涉及一种与压力传感器电连接的引线框的结构。
【背景技术】
[0002]下述专利文献1中公开了一种关于引线框的位置精度以及防水性能高的压力检测装置(在专利文献1中记载为压力传感器封装体)的发明。图10(a)是现有例的压力检测装置的俯视图，图10(b)是现有例的压力检测装置的仰视图。另外，图11是以图10(a)以及图10(b)的X1-XI线剖开而从箭头方向观察时的剖视图。
[0003]如图10(a)以及图11所示，现有例的压力检测装置110具有:检测压力的压力传感器115 ;收纳压力传感器115的壳体121 ;以及与压力传感器115电连接的引线框131。在壳体121内形成有腔室123，在腔室123内设置有压力传感器115。
[0004]如图10(a)所示，引线框131的内端部131a向腔室123露出，经由接合线117而与压力传感器115电连接。如图11所示，引线框131从内端部131a向壳体121的底面121b侧弯折，从底面121b突出。如图10(b)所示，从底面121b突出的引线框131的外端部131b向底面121b的外周方向弯折而形成延出部131c。
[0005]在现有例的压力检测装置110中，如图11所示，通过弯折平面状的引线框，引线框131的内端部131a与外端部131b朝向相同方向。而且，壳体121使用树脂材料而与引线框131 一体成形。由此，将内端部131a与外端部131b连结的连接部131d的周围由构成壳体121的树脂填埋，因此能够提高现有例的压力检测装置110的防水性能。
[0006]在先技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本再公表专利W02010/016439号
[0009]然而，如图10(a)所示，多个内端部131a从压力导入凹部124的角部朝向压力传感器收纳凹部125的各边分别延伸出，分别朝向不同的方向。因此，在弯折平坦的金属板而形成引线框131时，需要分别弯折多个引线框131，从而产生了制造工序繁杂这一课题。
[0010]图12(a)是比较例的压力检测装置的俯视图，图12(b)是比较例的压力检测装置的仰视图。如图12(a)所示，在X1-X2方向上相邻的多个引线框231的内端部231a朝向相同方向(Y1方向或Y2方向)。从而，在形成引线框231时，能够在同一工序中弯折多个引线框231，从而能够通过简单的工序来制造压力检测装置210。
[0011]内端部231a从外端部231b向上方被引出，相邻的内端部231a彼此的间隔与外端部231b的间隔形成为相等。外端部231b为了取出检测信号而与外部电路(未图示)连接，为了使压力检测装置210小型化且使连接变得容易，外端部231b形成为靠近底面221b的中央部。因此，如图12(a)所示，由于相邻的内端部231a彼此之间的间隔变窄，且向压力导入凹部224露出的内端部231a的面积变小，因此无法确保用于与压力传感器215连接的焊接面积。另外，在内端部231a的延出长度较短的情况下，在弯折引线框231而形成内端部231a的工序中，无法获得内端部231a的弯曲加工稳定性，从而加工精度降低。
[0012]通过增大压力导入凹部224的外周，即使在相邻的内端部231a彼此之间的间隔较窄的状态下，也能够增大露出的面积，然而在此情况下，存在违背压力检测装置210的小型化这一课题。另外，在减小压力传感器收纳凹部225的面积的情况下，也能够增大露出的内端部231a的面积，但是产生无法确保压力传感器收纳凹部225的面积这一课题。
【发明内容】
[0013]本发明的目的在于解决上述课题，提供一种能够通过简易的工序来进行引线框的加工，并且能够确保焊接面积的压力检测装置。
[0014]本发明的压力检测装置的特征在于，具有:形成有腔室的壳体；设置于所述腔室的压力传感器；以及埋设于所述壳体的多个引线框，多个所述引线框分别具有:向所述腔室内部露出而与所述压力传感器电连接的上部引线框；在所述壳体的厚度方向上延伸的连接部；以及从所述壳体的底面露出的露出部，在相邻配置的两个所述引线框中，所述连接部相邻配置，并且所述上部引线框从所述连接部向相同方向弯折，所述上部引线框侧的所述连接部彼此之间的间隔比所述露出部侧的所述连接部彼此之间的间隔大。
[0015]由此，由于上部引线框从连接部向相同方向弯折，因而在弯折并形成引线框时，能够在同一工序中弯折并形成多个上部引线框。因而，能够通过简便的工序来进行引线框的加工。另外，由于上部引线框侧的连接部彼此之间的间隔比露出部侧的连接部彼此之间的间隔大，因而也能够增大从连接部弯折的上部引线框彼此之间的间隔。因此，向腔室内露出的上部引线框的面积变大，从而能够确保焊接面积。
[0016]因而，本发明的压力检测装置能够通过简易的工序来进行引线框的加工，并且能够确保焊接面积。
[0017]优选的是，相邻的所述连接部在相对于所述壳体的厚度方向交叉的方向上互为反向地弯折。由此，能够增大上部引线框侧的连接部彼此之间的间隔，从而能够增大向腔室内露出的上部引线框的面积。另外，由于能够进一步延长连接部与壳体之间的泄漏路径(间隙)，因而能够提高气密性。
[0018]优选的是，相邻的所述连接部的外侧的外缘形成为在所述上部引线框侧比所述露出部侧靠外侧。由此，能够可靠地增大从连接部弯折而向腔室内露出的上部引线框的面积。
[0019]优选的是，所述腔室在深度方向上依次具有压力导入凹部和压力传感器收纳凹部，所述压力导入凹部与所述压力传感器收纳凹部形成为在俯视下相位错开的大致矩形，所述上部引线框向所述压力导入凹部的角部露出。由此，能够有效地利用所述压力导入凹部与所述压力传感器收纳凹部的面积，在增大向腔室内露出的上部引线框的面积而确保焊接面积的同时，能够实现压力检测装置的小型化。
[0020]优选的是，所述上部引线框朝向所述压力传感器收纳凹部延伸，所述上部引线框的端部形成有与所述压力传感器收纳凹部的外周对置的倾斜部。由此，能够有效地利用所述压力导入凹部的面积，从而能够增大露出的上部引线框的面积。
[0021]优选的是，在相邻的所述引线框中，所述露出部分别向与上部引线框相同的方向弯折。由此，能够在弯折引线框而形成露出部以及连接部时，在同一工序中弯折并形成露出部以及连接部。由此，能够通过简易的工序来制造。另外，能够延长将壳体底面与腔室连结起来的泄漏路径(间隙)，从而能够抑制气体从压力导入部以外进入，能够提高气密性。
[0022]优选的是，所述露出部具有:从所述底面突出的突出部；以及在比所述突出部靠所述底面的外周侧的位置，与所述底面构成同一平面的平坦部。由此，能够在底面的中央侧形成突出部，使得与外部电路的连接变得容易，并且能够实现压力检测装置的小型化。
[0023]发明效果
[0024]根据本发明的压力检测装置，能够通过简易的工序来进行引线框的加工，并且能够确保焊接面积。
【附图说明】
[0025]图1是本发明的实施方式的压力检测装置的立体图。
[0026]图2是本实施方式的压力检测装置的俯视图。
[0027]图3是本实施方式的压力检测装置的仰视图。
[0028]图4是以图3的IV-1V线剖开而从箭头方向观察时的压力检测装置的剖视图。
[0029]图5是以图3的V-V线剖开而从箭头方向观察时的压力检测装置的剖视图。
[0030]图6示出弯折并形成引线框的工序图，(a)是没有弯折的状态下的引线框的俯视图，(b)是示出弯折工序的示意剖视图。
[0031]图7是将本实施方式的压力检测装置装入电子设备时的剖视图。
[0032]图8是在压力检测装置上连接有配线基板时的局部放大剖视图。
[0033]图9是示出本实施方式的变形例的压力检测装置的剖视图。
[0034]图10(a)是现有例的压力检测装置的俯视图，图10(b)是现有例的压力检测装置的仰视图。
[0035]图11是以图10(a)以及图10(b)示出的X1-XI线剖开而从箭头方向观察时的压力检测装置的剖视图。
[0036]图12(a)是比较例的压力检测装置的俯视图，图12(b)是比较例的压力检测装置的仰视图。
[0037]附图标记说明:
[0038]10、11压力检测装置
[0039]15压力传感器
[0040]21 壳体
[0041]21a上表面
[0042]21b 底面
[0043]21c抵接面
[0044]2Id 壁部
[0045]23 腔室
[0046