促进用于多腔室的系统单点连接的紧密危险性气体线分配的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本文所述的实施方式大体涉及具有用于多腔室的单点连接的气体线分配系统。
【背景技术】
[0002]半导体制造厂(FAB)及其他研究、工业、及医学操作(medical operat1n)需要使用多种气体。气体线载送所需气体至这些气体的使用点。安全法规(safety code)需要:若载送危险性气体的气体线使用配件，那么这些配件必须位于排气封闭体(exhaustedenclosure)内。安全法规还需要高的排气流经过排气封闭体，这导致排气封闭体的尺寸变得不实际的大且占用有价值的工作空间。
[0003]若不使用配件(诸如若使用全焊接线系统(all-welded line system))，那么可避免排气封闭体。尽管全焊接线系统维持如排气封闭体般的安全及防护，但是全焊接线系统涉及额外的复杂程度(level of complexity)，因为这些焊接线必须在设施内逐节地(sect1n-by-sect1n)制造。全焊接线系统还特别昂贵且需要长时间来建立。此外，很多载送危险性气体的气体线需要具有双倍的容量，这大大地增加成本及复杂程度。因此，全焊接线系统并非令人满意的解决方案。
[0004]运行使用现有方法的单独气体线的成本很高。设施通常需要大量的气体线，这快速增大运行气体线的总成本。例如，FAB内的多个处理腔室可各自需要相同的20至30种气体以执行这些处理腔室的操作。使用传统方法，对多个处理腔室中的每一个处理腔室来说将需要20至30个单独气体线以运行。在此常见状况下，提供气体线至FAB设备的成本快速变得异常昂贵。随着FAB或其他设施的复杂度持续增加，提供所需气体线的成本也会增加。
[0005]如前文所述，该领域所需要的是一种安全、不昂贵、且便利的用于输送多个气体线至FAB或其他研究、工业、或医学设施内的不同使用点的方法。
【发明内容】
[0006]本文公开的实施方式使用真空源以成本有效地及安全地使包含于真空管道内的至少一个气体线能够被输送至至少一个使用点。更特定地，本文公开的实施方式包括真空气体输送系统。真空气体输送系统包括真空系统及气体输送系统，其中该气体输送系统被容纳在该真空系统内。在示例性实施方式中，借助当气体线行进(travel)通过FAB或在FAB底盘(floor)下方时维持围绕单独气体线的真空管道处于低于大气压力，使用真空源来安全地输送相同的一个或更多个气体线至FAB内的一个或更多个处理腔室中的每一个处理腔室。这些实施方式允许各气体至各腔室的输送使用针对各气体的单一馈送气体线。
[0007]公开了一种用于安全地使能够输送至少一个单独气体线至设施中的至少一个使用点的方法，所述方法包括以下步骤:连接第一真空管道至真空源，其中所述真空管道包括管道及包含于所述管道中的至少一个单独气体线，且所述至少一个单独气体线的外部暴露于低于大气压力；及连接所述至少一个单独气体线中的每一个单独气体线至使用点，同时维持所述至少一个单独气体线中的每一个单独气体线的外部处于低于大气压力。
[0008]公开了一种用于安全地使能够输送至少一个单独气体线至设施中的至少一个使用点的系统，所述系统包括第一真空管道，所述第一真空管道包括管道及包含于所述管道中的至少一个单独气体线;及真空源，所述真空源连接至所述真空管道，使得所述至少一个单独气体线中的每一个单独气体线的外部维持处于低于大气压力。
[0009]公开了一种真空密封的接线盒，所述真空密封的接线盒包括接线盒，所述接线盒耦接至第一真空管道及耦合至第二真空管道，其中所述第一真空管道及所述第二真空管道两者都包括管道及包含于所述管道中的至少一个单独气体线，其中所述第一真空管道的所述管道及所述第二真空管道的所述管道在所述接线盒内中断一次，因此暴露所述至少一个单独气体线，其中所述至少一个单独气体线中的每一个单独气体线在所述接线盒内分开(split) 一次，使得所述至少一个单独气体线中的每一个单独气体线的第一长度可连接至使用点，且所述至少一个单独气体线中的每一个单独气体线的第二长度可变为包含于所述第二真空管道内。
[0010]附图简要说明
[0011]因此以可详细理解本发明的上述特征的方式，通过参照实施方式可获得上文简要概述的本发明的更具体的描述，这些实施方式中的一些实施方式被图示于附图中。然而，应注意，这些附图仅图示本发明的典型的实施方式，且因此不应被视为对本发明的范围的限制，因为本发明可允许其他等效实施方式。
[0012]图1图示根据本文公开的实施方式的真空管道，该真空管道具有容纳于该真空管道中的多个单独气体线。
[0013]图2图示根据本文公开的实施方式的设施中的真空气体输送系统的示意图。
[0014]图3A图示根据本文公开的实施方式的气体输送系统的接线盒及气体面板排气管路的顶视图。
[0015]图3B图示根据本文公开的实施方式的真空气体输送系统的多个方面的侧视图。
[0016]图4为根据本文公开的实施方式的真空气体输送系统的气体线的示意图。
[0017]具体描述
[0018]为说明目的呈现本发明的多个实施方式的描述，但并不意在穷举或限制所公开的实施方式。对发明所属技术领域的普通技术人员而言，许多修改及变化是显而易见的，并不背离所述实施方式的范围及精神。选择本文所使用的术语以最佳地解释这些实施方式的原理、实际应用或相对市场中能找到的技术的技术改进，或使其他发明所属技术领域的普通技术人员能够理解本文所公开的实施方式。
[0019]本文公开的实施方式使用真空源以成本有效地及安全地使包含于真空管道内的至少一个气体线能够被输送至至少一个使用点。更特定地，本文公开的实施方式包括真空气体输送系统。真空气体输送系统包括真空系统及气体输送系统，其中该气体输送系统被容纳在该真空系统内。在示例性实施方式中，借助当气体线行进通过FAB或在FAB底盘下方时维持围绕单独气体线的真空管道处于低于大气压力，使用真空源来安全地输送相同的一个或更多个气体线至FAB内的一个或更多个处理腔室中的每一个处理腔室。实施方式允许各气体至各腔室的输送使用针对各气体的单一馈送气体线。真空源可提供与排气封闭体相同的或比排气封闭体更佳的安全特征，但真空源却可使用具有比排气封闭体所需的大型排气管路小得多的直径的真空管道。借助使用真空管道以封闭单独气体线及针对各气体使用单一馈送线，本文公开的实施方式减少了必须借助设施来运行的单独气体线的数量。本文公开的实施方式的结果是，运行气体线的成本大大减低，消除了由于排气封闭体的扩大的管路所造成的珍贵工作空间损失，且消除了与使用全焊接系统相关联的潜在设备停机时间。此外，保持气体线处于真空下保护气体线且允许气体线具有配件以用于容易的安装及修理。
[0020]图1图示根据本文公开的实施方式的真空管道100，真空管道100具有容纳于真空管道100中的多个单独气体线20。尽管图示真空管道100为圆形管道，但真空管道100可为任何形状。真空管道100可以是例如管、密封托盘、或密封槽，但在任何情况下真空管道100都是封闭体，该封闭体可容纳气体线20且维持降低的压力。真空管道100可由实质不透气的材料制成，该材料诸如是金属或不可燃复合材料(composite material)。可使用的示例性金属包括铝、钢、不锈钢及上述各项的合金。可使用的示例性不可燃复合材料包括金属复合物、碳纤维、玻璃纤维及其他纤维复合物。真空