单面研磨机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体加工领域，特别是一种适用于铜抛的单面研磨机。
【背景技术】
[0002]在进行单面研磨时，所选用的铜定盘表面加工有螺旋状槽，通过螺旋槽来排出金刚砂研磨液，通常槽的深度为0.15毫米到0.2毫米。如果通过一次性加工开槽的话，通常会因为负载过重而造成定盘损伤。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种能够防止开槽时铜定盘的损伤的单面研磨机。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型单面研磨机，包括:铜定盘，在所述铜定盘的底部设有转轴，所述转轴与变频器马达连接；监测器，所述监测器设置在所述转轴上；修面机，在所述修面机的一端连接有刀具，所述刀具位于所述铜定盘的上方。
[0005]所述监测器为原点传感器及角度检测编码器。
[0006]本实用新型单面研磨机增加了原点传感器和角度检测编码器，以实现定位定角度功能。每次开槽加工前，让开槽加工的位置每次都保持相同，减少第一次开槽深度，分数次加工，这样能够防止开槽时铜定盘的损伤。
【附图说明】
[0007]图1为本实用新型单面研磨机结构示意图。
[0008]本实用新型单面研磨机附图中附图标记说明:
[0009]1-铜定盘2-转轴 3-原点传感器
[0010]4_角度检测编码器5_修面机 6_刀具
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型单面研磨机作进一步详细说明。
[0012]如图1所示，本实用新型单面研磨机，在铜定盘I旋转轴2上设置角度检测编码器4并同时增加基准板。在铜定盘I旋转轴2外侧设置原点传感器3，感应出基准板位置以定位原点。
[0013]开槽时，让修面机5移动到加工开始位置，旋转铜定盘I让其停在原点位置，。另夕卜，为防止速度波动导致槽距偏差，通过角度检测编码器4监视铜定盘I速度，必要时调整修面机5的送出速度，第一次加工完成后，让修面机5和铜定盘I移动到加工开始位置，减小修面机5的刀具6的加工量，再次开始加工。通过减小单次加工量，重复以上动作分多次加工的方式，能够防止损伤并开出较深的沟槽。
[0014]本实用新型单面研磨机增加了原点传感器和角度检测编码器，以实现定位定角度功能。每次开槽加工前，让开槽加工的位置每次都保持相同，减少第一次开槽深度，分数次加工，这样能够防止开槽时铜定盘的损伤。
[0015]以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
【主权项】
1.单面研磨机，其特征在于，包括: 铜定盘，在所述铜定盘的底部设有转轴，所述转轴与变频器马达连接； 监测器，所述监测器设置在所述转轴上； 修面机，在所述修面机的一端连接有刀具，所述刀具位于所述铜定盘的上方。
2.根据权利要求1所述的单面研磨机，其特征在于，所述监测器为原点传感器及角度检测编码器。
【专利摘要】本实用新型单面研磨机，包括：铜定盘，在所述铜定盘的底部设有转轴，所述转轴与变频器马达连接；监测器，所述监测器设置在所述转轴上；修面机，在所述修面机的一端连接有刀具，所述刀具位于所述铜定盘的上方。所述监测器为原点传感器及角度检测编码器。本实用新型单面研磨机增加了原点传感器和角度检测编码器，以实现定位定角度功能。每次开槽加工前，让开槽加工的位置每次都保持相同，减少第一次开槽深度，分数次加工，这样能够防止开槽时铜定盘的损伤。
【IPC分类】H01L21-67
【公开号】CN204361057
【申请号】CN201420745413
【发明人】郡司拓, 贺贤汉
【申请人】上海汉虹精密机械有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年12月2日