到磁控溅射电源的阳极，将阴极不锈钢棒29连接到磁控溅射电源的阴极；保持贵金属电极26、贵金属电极27之间3.7mm距离，接通磁控派射电源，贵金属电极26、贵金属电极27之间放电溅射，放电管内壁镀上贵金属催化剂，匀速拖动阳极不锈钢棒30、阴极不锈钢棒29，将催化剂镀在整根放电管4的内壁；
[0035](3)将阳极电极16固定在第一管口固定CF法兰17上，第一管口固定CF法兰17是通过第一可伐管24与储气管I烧制为一体的；将全反射镜22安装在全反镜座CF法兰19上，在第一管口固定CF法兰17和全反镜座CF法兰19之间安装好第一铜垫圈18，用紧定螺钉21固定，调整紧定螺钉21，用内调焦望远镜测量，使全反射镜22与放电管4垂直；
[0036]第二管口固定CF法兰13通过第二可伐管14与储气管I烧制为一体，将阴极电极6通过弹簧7安装在第二管口固定CF法兰13内，使阴极电极6顶在放电管4端部；将输出反射镜9粘接在输出镜座CF法兰11上，在第二管口固定CF法兰13与输出镜座CF法兰11之间安装好第二铜垫圈12，调整紧定螺钉10，用内调焦望远镜测量，使输出反射镜9与放电管4垂直；
[0037]将第一管口固定CF法兰17和第二管口固定CF法兰13接入真空排气系统中抽真空，然后充入工作气体，将该新结构的二氧化碳激光管封离下来；
[0038](4)将水嘴5、水嘴15接入工业水循环冷却系统，将激光电源正极线接在阳极接线螺钉23处并固定，将激光电源负极线接在阴极接线螺钉8处并固定，将高压保护罩20安装在全反镜座CF法兰19处；接通电源，激光管工作，调整紧定螺钉21、紧定螺钉10，使全反射镜22、输出反射镜9与放电管4处于最佳位置(即全反射镜22、输出反射镜9在激光管腔内的平面，应与放电管4的中心轴线完全垂直的位置)，使该新结构的二氧化碳激光管有较好的品质。
[0039]在上述实施例中，可以采用使用CF法兰，一端通过可伐管与管壳(即储气管I的管壳或管壁)直接烧结为一体，另一端粘接镜片，由于CF法兰两刀口间由软金属密封，对CF法兰紧定螺钉进行调整时，可改变镜片的角度。要增加二氧化碳激光管的使用寿命，增加管体的储气量，使用直径更大的管体。在放电管内壁镀催化剂，以加快一氧化碳分子和氧原子的复合速度。阳极电极使用钛管加工而成，其前端焊接更为稳定的贵金属丝，贵金属丝弯曲成半圆形，减少尖端放电。阴极电极使用钛管加工而成，提高加工精度后与放电管内壁完全贴合。水冷管与储气管之间连接用的玻璃管，由直管改为环形管。在烧制管体时，连接用的玻璃管烧接在水冷管后，弯曲成环形，再与储气管上的水嘴连接。这样，当水冷管受热膨胀后其轴向尺寸增加时，环形连接管发生形变，保证水冷管、放电管不会变形，不会损坏管体，保证管体的稳定性。
[0040]本实施例的新结构的二氧化碳激光管，具有以下特点:
[0041](I)金属封接技术在中小功率激光管中的应用，第一管口固定CF法兰17是通过第一可伐管24与储气管I烧制为一体；第二管口固定CF法兰13是通过第二可伐管14与储气管I烧制为一体；
[0042](2) CF法兰结构在中小功率激光管中的应用，全反射镜22、输出反射镜9不与管口
14、管口 24直接粘接，使用CF法兰过渡将全反射镜22、输出反射镜9与管口 14、管口 24连接；
[0043](3)应用第一铜垫圈18的弹性，调整紧定螺钉21，使全反射镜22的角度可调；
[0044](4)应用第二铜垫圈12的弹性，调整紧定螺钉10，使输出反射镜11的角度可调；
[0045](5)阳极电极16使用钛管加工而成，其前端焊接更为稳定的贵金属丝，贵金属丝弯曲成半圆形，减少尖端放电；
[0046](6)增加管体的储气量，使用直径为80-100毫米的管体；
[0047](7)使用亚克力材料的高压保护罩20安装在全反镜座CF法兰19处，隔绝高压对外放电的可能；
[0048](8)催化剂技术在中小功率二氧化碳激光管中的应用，特指在应用CF法兰结构全反射镜22、输出反射镜9可调的二氧化碳激光管中；
[0049](9)水嘴5处，水冷管3与储气管I之间连接用的玻璃管为环形，减少了放电管变形，提升激光管的稳定性。
[0050](10)在放电管的不锈钢棒上设置了一对贵金属电极，两个贵金属电极之间的距离为3.7mm，提高了激光管的安全性与稳定性。
[0051]本实用新型上述各实施例的新结构的二氧化碳激光管，是一种中小功率的二氧化碳激光管。该新结构的二氧化碳激光管的玻璃部分由储气管1、回气管2、水冷管3、放电管
4、水嘴5、管口 14 (即第二可伐管14)、水嘴15和管口 24 (即第一可伐管24)组成，储气管I的管体为80-100毫米，放电管4镀有催化剂，阳极电极16使用钛管加工而成，其前端焊接的贵金属丝弯曲成半圆形。全反射镜22、输出反射镜9使用CF法兰过渡将全反射镜22、输出反射镜9与管口 14、管口 24连接；应用第一铜垫圈18、第二铜垫圈12的弹性，调整紧定螺钉21、调整紧定螺钉10，使全反射镜22、输出反射镜11的角度可调；使用亚克力材料的高压保护罩20安装在全反镜座CF法兰19处，隔绝高压对外放电的可能；水嘴5处，水冷管与储气管之间连接用的玻璃管为环形，减少放电管变形。
[0052]在本实用新型上述各实施例的新结构的二氧化碳激光管中，放电管镀有催化剂，镜片安装于通过可伐管与管体连接的CF法兰上；CF法兰与管体连接的关键是，通过可伐烧结；CF法兰两刀口间由软金属密封，对CF法兰紧定螺钉进行调整时，可改变镜片的角度；放电管内镀有催化剂，不是镀催化剂的工艺；呈环形缠绕的水管；阴极和阳极由钛管精加工而成；阳极前端焊接贵金属丝，贵金属丝弯曲成半圆形；增加管体的储气量，使用直径为80-100毫米的管体；使用亚克力材料的高压保护罩，安装在全反镜座处，隔绝高压对外放电的可能。
[0053]最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种新结构的二氧化碳激光管，包括两端呈锥形储气管(I)，轴向配合设置在所述储气管(I)内部的放电组件，分别配合安装在所述储气管两端的阳极组件和阴极组件，以及配合安装在所述阴极组件与储气管之间的弹簧(7);所述放电组件，包括轴向设置在所述储气管内部、且自内向外依次配合安装的放电管(4)、水冷管(3)和回气管(2)，在所述放电管(4)内镀有催化剂；所述回气管(2)靠近阴极组件和阳极组件的端部均为水嘴(5、15)，且伸出所述储气管(I)的管壁；在所述水冷管(3)与所述储气管(I)之间设有环形玻璃管，所述回气管(2)呈环形缠绕在水冷管的外壁；所述阳极组件，包括依次配合安装在所述储气管(I)端部的阳极电极(16)、第一可伐管(24)、全反射镜(22)和高压保护罩(20)，其特征在于，在所述第一可伐管(24)远离所述阳极电极(16)的一侧配合安装有第一管口固定CF法兰(17)，所述第一管口固定法兰(17)通过所述第一可伐管(24)与所述储气管(I)烧结为一体，在所述全反射镜(22)靠近高压保护罩(20)的一侧，配合安装有全反射镜CF法兰(19);在所述放电管内部，轴向设有不锈钢棒，在所述不锈钢棒的中部设有间距3.7mm的一对贵金属电极。2.根据权利要求1所述的新结构的二氧化碳激光管，其特征在于，在所述第一管口固定CF法兰(17)与所述全反射镜CF法兰(19)之间，安装有第一铜垫圈(18);与所述第一管口固定CF法兰(17)相配合，还设有阳极接线螺钉(23);在所述高压保护罩(20)与全反射镜CF法兰(19)之间，安装有紧定螺钉(21)。3.根据权利要求1-2中任一项所述的新结构的二氧化碳激光管，其特征在于，所述阴极组件，包括依次配合安装在所述弹簧(7)端部的阴极电极(6)、第二可伐管(14)和输出反射镜(9)。4.根据权利要求3所述的新结构的二氧化碳激光管，其特征在于，在所述第二可伐管(14)远离阴极电极(6)的一侧，配合安装有第二管口固定CF法兰(13)，所述第二管口固定CF法兰(13)与所述输出反射镜(9)相配合，安装有输出镜座CF法兰(11)。5.根据权利要求4所述的新结构的二氧化碳激光管，其特征在于，在所述第二管口固定CF法兰(13)与所述输出镜座CF法兰(11)之间安装有第二铜垫圈(12);与所述第二管口固定CF法兰(13)相配合，还设有阴极接线螺钉⑶；在所述输出反射镜(9)与输出镜座CF法兰(11)之间，安装有紧定螺钉(10)。6.根据权利要求4所述的新结构的二氧化碳激光管，其特征在于，所述第二管口固定CF法兰(13)通过所述第二可伐管(14)与所述储气管(I)烧结为一体。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新结构的二氧化碳激光管，包括两端呈锥形储气管，轴向配合设置在所述储气管内部的放电组件，分别配合安装在所述储气管两端的阳极组件和阴极组件，以及配合安装在所述阴极组件与储气管之间的弹簧。本实用新型所述新结构的二氧化碳激光管，可以克服现有技术中质量差、使用寿命短、安全性差和稳定性差等缺陷，以实现质量好、使用寿命长、安全性好和稳定性好的优点。
【IPC分类】H01S3/038, H01S3/034
【公开号】CN204668710
【申请号】CN201520298009
【发明人】赵立泉, 张利昌
【申请人】北京镭海激光科技有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年5月11日