一种自动晶圆转换器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种自动晶圆转换器。
【背景技术】
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.9999999%。经过多道先进工艺加工后，晶圆的表面集成了数以万计的芯片颗粒，每颗芯片有独立的功能，成为集成电路产品的初始状态一晶圆。
[0003]晶圆在整个制造过程中均是整批承载在晶舟盒内，一个晶舟盒为一批，通常一盒承载25片晶圆。晶圆存放于晶舟盒内，晶舟盒根据用途分类有很多种。整个制造过程中，晶圆会在几种晶舟盒中频繁转换。当生产需求晶圆转换不同类型的晶舟盒时，可以使用全自动的高精度机械手臂，但是这种方式成本太高；手动的晶舟盒转换，其成本低廉，必须使用真空吸笔或者手动晶舟转换操作，吸笔作业过程中可能出现破真空导致晶圆滑落，吸笔头刮伤晶圆，斜插、迭片、槽位放置错误等异常；手动晶舟转换也经常造成错位异常。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的针对上述现有技术的问题，提供一种自动晶圆转换器，通过定位传感器自动确认晶舟盒以及内部晶圆的摆放位置，当所有位置都摆放正确后，接通马达电源，打开转换开关由马达带动推杆，进行晶圆的晶舟盒自动转换。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:
[0006]—种自动晶圆转换器，包括底座、定位传感器、马达、推杆、转换开关，所述定位传感器安装在底座上表面，所述马达安装在底座下表面，所述底座一端开设有凹槽，所述推杆与马达相连，推杆在马达的带动下可以在底座凹槽上左右滑动，所述转换开关与定位传感器、马达通过电路连接。
[0007]进一步地，所述底座为不锈钢底座。
[0008]进一步地，所述定位传感器上安装有状态指示灯。
[0009]进一步地，所述定位传感器有多个，均勾分布在底座上。
[0010]进一步地，所述定位传感器有4个。
[0011]进一步地，所述状态指示灯有4个。
[0012]本实用新型的有益效果:一种自动晶圆转换器，通过定位传感器自动确认晶舟盒以及内部晶圆的摆放位置，当所有位置都摆放正确后，接通马达电源，打开转换开关由马达带动推杆，进行晶圆的晶舟盒自动转换；具有结构简单、成本低的特点，不仅可以避免晶圆刮伤，而且还可以有效地避免晶圆的斜插、迭片、槽位放置错误。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型转换器结构图；
[0014]图2为本实用新型转换器电路原理图；
[0015]相关元件符号说明:
[0016]1、状态指示灯；2、定位传感器；3、推杆4、马达；5、转换开关；6、底座。
【具体实施方式】
[0017]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0018]具体实施时，结合图1-2，一种自动晶圆转换器，包括底座6、定位传感器2、马达4、推杆3、转换开关5。定位传感器2安装在底座6上表面，马达4安装在底座6下表面，底座6 一端开设有凹槽，推杆3与马达4相连，推杆3在马达4的带动下可以在底座6凹槽上左右滑动，转换开关5与定位传感器2、马达4通过电路连接。
[0019]底座可以为不锈钢底座。定位传感器2上安装有状态指示灯I。定位传感器有多个，均匀分布在底座上，定位传感器可以有4个，状态指示灯有4个。
[0020]具体工作时，当需要转换的晶舟盒放在预先设置好的定位传感器位置处时，两个晶舟盒均处于正确的位置，且能保证正常转换不会发生意外，此时指示灯亮起，如未亮起则表示此处的定位传感器检测到晶舟盒未放在合适的位置，4个状态指示灯亮起时，表示定位传感器已经接通。按下转换开关，接通整个电路，马达转起带动推杆在底座凹槽上滑动，推杆推动晶圆从一个晶舟盒向另一晶舟盒自动转换，且安全无意外发生。
[0021]—种自动晶圆转换器，通过定位传感器自动确认晶舟盒以及内部晶圆的摆放位置，当所有位置都摆放正确后，接通马达电源，打开转换开关由马达带动推杆，进行晶圆的晶舟盒自动转换；具有结构简单、成本低的特点，不仅可以避免晶圆刮伤，而且还可以有效地避免晶圆的斜插、迭片、槽位放置错误。
[0022]上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种自动晶圆转换器，其特征在于:包括底座、定位传感器、马达、推杆、转换开关，所述定位传感器安装在底座上表面，所述马达安装在底座下表面，所述底座一端开设有凹槽，所述推杆与马达相连，推杆在马达的带动下可以在底座凹槽上左右滑动，所述转换开关与定位传感器、马达通过电路连接。2.按照权利要求1所述的一种自动晶圆转换器，其特征在于:所述底座为不锈钢底座。3.按照权利要求1所述的一种自动晶圆转换器，其特征在于:所述定位传感器上安装有状态指示灯。4.按照权利要求3所述的一种自动晶圆转换器，其特征在于:所述定位传感器有多个，均匀分布在底座上。5.按照权利要求4所述的一种自动晶圆转换器，其特征在于:所述定位传感器有4个。6.按照权利要求5所述的一种自动晶圆转换器，其特征在于:所述状态指示灯有4个。
【专利摘要】本实用新型公开了一种自动晶圆转换器，涉及半导体制造设备技术领域，包括底座、定位传感器、马达、推杆、转换开关，所述定位传感器安装在底座上表面，所述马达安装在底座下表面，所述底座一端开设有凹槽，所述推杆与马达相连，推杆在马达的带动下可以在底座凹槽上左右滑动，所述转换开关与定位传感器、马达通过电路连接。本实用新型晶圆转换器，通过定位传感器自动确认晶舟盒以及内部晶圆的摆放位置，当所有位置都摆放正确后，接通马达电源，打开转换开关由马达带动推杆，进行晶圆的晶舟盒自动转换；具有结构简单、成本低的特点，不仅可以避免晶圆刮伤,而且还可以有效地避免晶圆的斜插、迭片、槽位放置错误。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN205194663
【申请号】CN201520828833
【发明人】沈顺金
【申请人】安徽超元半导体有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年10月22日