专利名称：晶圆盒连动定位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于一种晶圆盒连动定位装置，特别是指一种其定位垫上、下移动 时，可上、下定位于适当位置上，而避免卡在外盖上的晶圆盒连动定位装置。
背景技术：
晶圆在运送的过程中，由于空气中的微粒尘屑会沉积在晶圆上而造成污染、降低 良率，必须使用一晶圆盒来装载、运送晶圆，以避免晶圆受到污染，并在晶圆盒内的适当处 固设一晶圆定位装置，以避免晶圆在运送过程中因为碰撞而受损。一般现有的晶圆定位装置，如我国台湾省专利申请号第096203426号「晶圆放置 盒的晶圆固定装置」实用新型专利案，其公开有一壳盖及一底座，其中，所述底座上承载 数个晶圆，所述晶圆放置盒的晶圆固定装置包含一固定垫，其用以抵推固定所述些晶圆； 一支持板，其连接并稳固支撑所述固定垫；及一连接固定装置，其连接所述支持板及所述壳 盖；其中，当所述支持板受到所述底座抵推移动时，所述固定垫随着所述支持板的移动而抵 推固定这些晶圆。然而，所述现有晶圆定位装置虽可利用固定垫组合于支持板之上，进而减少产生 微粒尘屑，减少晶圆污染，但是其二枢转杆上并未设有定位块，导致其固定垫上、下移动时， 容易向上移动过度及向下移动过度，过度的上、下移动，极易造成固定垫卡在壳盖上，或卡 在晶圆边缘，造成壳盖盖合不顺及造成碰撞晶圆边缘导致晶圆破损。由此可见，上述现有物品仍有诸多缺失，实非一良善的设计，而亟待加以改良。鉴于上述现有晶圆盒连动定位装置所衍生的各项缺点，本案创作人乃亟思加以改 良创新，并经多年苦心孤诣潜心研究后，终于成功研发完成本件一种「晶圆盒连动定位装 置」。
发明内容本实用新型的一目的，在于提供一种晶圆盒连动定位装置，是其定位垫上、下移动 时，可上、下定位于适当位置上，而避免卡在外盖上及避免卡在晶圆边缘上。本实用新型的另一目的，在于提供一种晶圆盒连动定位装置，是其定位垫的定位 轴上设有至少一定位块，利用所述定位块的数个定位边缘的定位作用，使定位垫在上、下移 动时，可上、下定位于适当位置上，不会过度的上、下移动，而能避免其卡在外盖上及避免卡 在晶圆边缘上。可达成上述实用新型目的的晶圆盒连动定位装置，包括有一晶圆盒、一定位垫及 一固定座；其中，所述晶圆盒具有一外盖及一底座；所述定位垫一面枢设有至少一定位轴， 各定位轴上设有至少一定位块，各定位块为多边形片体，各定位轴具有一定宽度；所述固定 座设有一组支撑杆，各支撑杆一端设于所述晶圆盒的底座上，所述定位垫的定位轴二端枢 接于二支撑杆上。较佳的，所述各定位块为一三角形片体。[0011]较佳的，所述各定位块为一矩形片体。较佳的，所述各定位块为一六角形片体。较佳的，所述各定位轴上设有二个定位块。较佳的，所述各定位块是套接于所述各定位轴上。较佳的，所述各定位块是一体成型固设于所述各定位轴上。较佳的，所述各支撑杆一端以螺丝锁固于所述晶圆盒的底座上。较佳的，所述各支撑杆一端一体成型固设于所述晶圆盒的底座上。较佳的，所述定位垫的定位轴二末端是枢接于所述二支撑杆之间，使定位轴能在 二支撑杆之间枢转。本实用新型的有益效果在于，在使用时，通过定位块的数个定位边缘的定位作用， 使所述定位垫在上、下移动时，可上、下定位于适当位置上，不会过度的上、下移动，而能避 免其卡在外盖上及避免卡在晶圆边缘上。请参阅以下有关本实用新型一较佳实施例的详细说明及其附图，将可进一步了解 本实用新型的技术内容及其目的功效
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
图1、图2为本实用新型分解示意图；图3、图4、图5为本实用新型的局部立体示意图。
具体实施方式
本实用新型所提供的一种「晶圆盒连动定位装置」，请参阅图1、2所示，主要包括 有一晶圆盒10、一定位垫20及一固定座30。其中，所述晶圆盒10具有一外盖11及一底座12，用以供运送晶圆片。所述定位垫20 —面枢设有至少一定位轴21，另一面设有一接触部M，各定位轴21 上设有至少一定位块22，各定位块22为多边形片体(如三角形片体、矩形片体、六角形片 体等)，形成数个定位边缘221。所述固定座30设有一组支撑杆31，各支撑杆31 —端设于所述晶圆盒10的底座 12上，所述定位垫20的定位轴21 二端并枢接于二支撑杆31之间。由上述构件的组成，请参阅图3、4、5所示，通过定位块22的数个定位边缘221的 定位作用，使所述定位垫20在上、下移动时，可上、下定位于适当位置上，不会过度的上、下 移动，而能避免其卡在外盖11上及避免卡在晶圆边缘上。再者，请参阅图3、4、5所示，使用时，是所述外盖11覆盖于所述放置晶圆的底座12 上，使底座12顶推所述定位垫20的一转轮23，使得所述定位垫20将以其定位轴21为轴心 而旋转、上升，以至于所述定位垫20将以其的接触部M推抵并固定晶圆，可将晶圆稳固的 定位于底座12上而不晃动，且所述外盖11是可覆盖底座12上的晶圆而隔绝外界空气中的 微粒尘屑，以确实的避免晶圆受到污染。另，请参阅图1、2所示，所述定位垫20 —面枢设有二个定位轴21。各定位轴21上设有二个定位块22。[0032]各定位块22可套接于各定位轴21上。各定位块22可一体成型固设于各定位轴21上。各支撑杆31 —端以螺丝(图中未示)锁固于所述晶圆盒10的底座12上。各支撑杆31 —端一体成型固设于所述晶圆盒10的底座12上。所述定位垫20的定位轴21 二末端是枢接于二支撑杆31之间，使定位轴21可于 二支撑杆31之间枢转。本实用新型所提供的晶圆盒连动定位装置，与前述现有技术相互比较时，更具有 下列的优点1.为其定位垫20上、下移动时，可上、下定位于适当位置上，而避免卡在外盖11上 及避免卡在晶圆边缘上。2.为其定位垫20的定位轴21上设有至少一定位块22，利用所述定位块22的数 个定位边缘221的定位作用，使定位垫20在上、下移动时，可上、下定位于适当位置上，不会 过度的上、下移动，而能避免其卡在外盖11上及避免卡在晶圆边缘上。以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员 理解，在不脱离以下所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改，变化， 或等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种晶圆盒连动定位装置，其包括有一晶圆盒、一定位垫及一固定座；其中，所述 晶圆盒具有一外盖及一底座；而所述定位垫一面枢设有至少一定位轴，另一面设有一接触 部；其特征在于各定位轴上设有至少一定位块，各定位块为多边形片体，形成数个定位边缘；所述固定 座设有一组支撑杆，各支撑杆一端设于所述晶圆盒的底座上，所述定位垫的定位轴二端枢 接于二支撑杆之间。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述各定位块为一三角 形片体。
3.根据权利要求1所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述各定位块为一矩形 片体。
4.根据权利要求1所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述各定位块为一六角 形片体。
5.根据权利要求1所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述各定位轴上设有二 个定位块。
6.根据权利要求5所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述各定位块是套接于 所述各定位轴上。
7.根据权利要求5所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述各定位块是一体成 型固设于所述各定位轴上。
8.根据权利要求1所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述各支撑杆一端以螺 丝锁固于所述晶圆盒的底座上。
9.根据权利要求1所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述各支撑杆一端一体 成型固设于所述晶圆盒的底座上。
10.根据权利要求1所述的晶圆盒连动定位装置，其特征在于，所述定位垫的定位轴二 末端是枢接于所述二支撑杆之间，使所述定位轴能在二支撑杆之间枢转。
专利摘要本实用新型一种晶圆盒连动定位装置，其包括有一晶圆盒、一定位垫及一固定座；其中，所述晶圆盒具有一外盖及一底座；所述定位垫一面枢设至少一定位轴，各定位轴上设至少一定位块，各定位块为多边形片体；所述固定座设一组支撑杆，各支撑杆一端设于所述晶圆盒的底座上，所述定位垫的定位轴二端并枢接于二支撑杆上；如此，通过定位块的数个定位边缘的定位作用，使所述定位垫在上、下移动时，可上、下定位于适当位置上，不会过度的上、下移动，而能避免其卡在外盖上及避免卡在晶圆边缘上。
文档编号H01L21/68GK201936859SQ20112003823
公开日2011年8月17日 申请日期2011年2月14日 优先权日2011年2月14日
发明者朱筱惠, 江枝茂 申请人:中勤实业股份有限公司