专利名称：压电驱动器及压电马达的制作方法
技术领域：
本发明涉及压电马达技术，尤其涉及一种压电驱动器及压电马达。
背景技术：
压电马达是利用压电元件的逆压电效应和弹性体的超声振动，通过定子和运动体(动子)之间的摩擦作用，把弹性体的微幅振动转换成运动体宏观的直线运动，直接推动负载，而且压电马达具有结构紧凑、体积小等优点，得到了广泛应用。其中，压电马达主要包括压电驱动器和滑动组件，压电驱动器为定子，滑动组件为动子，通过驱动电路为压电驱动器提供驱动电压，就可使压电驱动器产生一定的运动，进而推动滑动组件运动。目前，直线压电马达普遍采用压电L1-B2双振动模式原理工作，压电马达工作时，压电驱动器工作在第一阶纵振动模式(Li)和第二阶弯曲振动模式(B2)，通过产生的第一阶纵振动和第二阶弯曲振动合成产生椭圆轨迹运动，从而通过椭圆轨迹运动推动滑动组件做直线运动，可广泛用于精密的直线定位，超微型镜头精密驱动等。但是，现有采用压电L1-B2双振动模式原理的直线压电马达存在以下问题(1)为确保压电驱动器保持工作于第一阶纵振动模式和第二阶弯曲振动模式，压电驱动器要具有特定的长宽比和尺寸，使得压电驱动器的结构复杂，且压电驱动器结构尺寸控制精度要求极高，导致压电驱动器制作工艺复杂，不利于压电驱动器的大规模制作，增加了压电驱动器的制作成本；( 压电驱动器工作在第一阶纵振动模式和第二阶弯曲振动模式时，两种工作模式的谐振频率可能会因外界因素干扰而不同步，从而导致压电产生的合成椭圆轨迹运动紊乱，使驱动失效；(3)当压电驱动器微型化至毫米尺寸时，压电驱动器因工作在的Ll模式，其谐振频率往往过高，这会增加驱动电路的功耗，并为驱动电路的制作带来一定难度。综上，现有压电马达采用工作在第一阶纵振动模式和第二阶弯曲振动模式的压电驱动马达中，压电驱动器结构复杂，制作精度要求高，使得压电驱动器制作工艺复杂，不利于压电马达的大规模制作；同时，压电驱动器工作于第一阶纵振动模式时，谐振频率过高，导致驱动电路功耗大，且驱动电路制作困难；此外，压电驱动器工作于两种模式，容易受外界干扰而造成驱动失效。
发明内容
本发明提供一种压电驱动器及压电马达，可有效克服现有采用两种工作模式的压电驱动器存在制作工艺复杂、功耗大以及容易受外界干扰的问题，压电驱动器结构简单，制作方便，且可工作于第一阶弯曲振动模式。本发明提供一种压电驱动器，包括压电本体，所述压电本体为方形板结构，所述压电本体沿厚度方向极化；所述压电本体在厚度方向上的第一端主平面设置有第一电极层，所述压电本体在厚度方向上的第二端主平面设置有第二电极层；所述第一电极层包括电隔离设置的多个电极区域，使得施加在各电极层的预设驱动电压作用下，所述压电驱动器同时激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，所述两个相互正交的第一阶弯曲振动合成产生椭圆轨迹运动。本发明提供一种压电马达，包括压电驱动器和滑动组件，所述压电驱动器为采用上述本发明提供的压电驱动器；所述滑动组件包括导轨，以及沿所述导轨滑动设置的滑动部件；所述压电驱动器上设置有摩擦头和弹性压紧部件，所述摩擦头在所述弹性压紧部件提供的压紧力作用下与所述滑动部件弹性接触；所述摩擦头固设在所述压电驱动器的压电本体上未设置电极层的侧面上。本发明提供的压电驱动器及压电马达，通过采用方形板结构的压电本体，并沿厚度方向极化该压电本体，压电驱动器的结构简单，制作方便，可实现压电驱动器的大规模生产；通过在压电本体端部设置多个电极区域，使得压电驱动器可在预设驱动电压驱动下激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，可有效降低压电驱动器的工作频率，降低驱动电路制作难度和功耗，且压电驱动器仅工作于第一阶弯曲振动模式，可避免工作于两种模式时存在的外界干扰而导致的压电驱动器驱动失效问题。
图1为本发明提供的压电马达的结构示意图；图2A为本发明实施例一提供的压电驱动器的结构示意图；图2B为图2A中只有第一电极区域和第三电极区域施加电压时压电本体的运动模态示意图；图2C为图2A中只有第二电极区域和第四电极区域施加电压时压电本体的运动模态示意图；图2D为本发明实施例中压电本体在摩擦头处产生的合成运动轨迹示意图；图3为本发明实施例二提供的压电驱动器的结构示意图；图4为本发明实施例三提供的压电驱动器的结构示意图；图5为本发明实施例四提供的压电驱动器的结构示意图；图6为本发明实施例五提供的压电驱动器的结构示意图；图7为本发明实施例六提供的压电驱动器的结构示意图；图8为本发明实施例七提供的压电驱动器的结构示意图。
具体实施例方式鉴于传统采用压电L1-B2双振动模式的压电马达中，压电驱动器存在结构和制作工艺复杂，压电驱动器的大规模生产成本较高，本发明提供一种压电驱动器，可使压电驱动器工作于第一阶弯曲振动的单一工作模式，可有效简化压电驱动器的结构。单一工作模式以及非常简单的方形结构，可有效降低压电驱动器的制造成本；同时也可简化驱动电路设计、并可避免工作于两种模式时因外界干扰而出现驱动失效的问题。具体地，本发明提供的压电驱动器可包括压电本体，该压电本体为方形板结构，且压电本体沿厚度方向极化；该压电本体在厚度方向上的第一端主平面设置有第一电极层，压电本体在厚度方向的第二端主平面设置有第二电极层，且第一电极层被划分成电隔离设置的多个电极区域，使得施加在各电极层的预设驱动电压作用下，该压电驱动器可同时激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，该两个相互正交的第一阶弯曲振动合成可产生椭圆轨迹运动。本发明提供的压电驱动器采用方形板结构的压电本体，压电驱动器结构简单，制作方便，同时通过在压电本体的主平面设置多个电极区域，使得压电驱动器在预设驱动电压下可工作于第一阶弯曲振动模式下，避免传统压电驱动器因工作频率过大而导致驱动电路制作困难以及功耗较大的问题。图1为本发明提供的压电马达的结构示意图。如图1所示，本发明提供的压电马达包括压电驱动器10和滑动组件，滑动组件包括滑动部件201和导轨202，该滑动部件201可沿导轨202滑动，该导轨202为直线导轨，使得滑动部件201可沿导轨202作直线运动；该压电驱动器10上设置有摩擦头30和弹性压紧部件40，该摩擦头30可在弹性压紧部件40提供的压紧力F作用下，与滑动部件201弹性接触；摩擦头30固设在压电驱动器10上未设置电极层的侧面上，压电驱动器10产生椭圆轨迹运动时，摩擦头30可随压电驱动器10做椭圆轨迹运动，从而可依靠摩擦头30与滑动部件201之间的摩擦接触，驱动滑动部件201沿导轨202做直线运动。本发明提供的压电马达中，所述的摩擦头30可为球形、半球形、圆柱形或其他形状，且由耐磨材料制作得，本实施例中摩擦头30为圆柱形，且该摩擦头30可通过环氧树脂与压电驱动器10粘结固定在一起；所述的弹性压紧部件40可以为弹簧，可以合适的预紧力将压电驱动器10和摩擦头30压在滑动部件201上。本发明提供的压电马达中，可包括与压电驱动器上的各电极连接的驱动电路50，可为压电驱动器提供产生椭圆轨迹运动所需的预设驱动电压。下面将以压电驱动器的具体结构为例，对本发明技术方案做详细的说明。图2A为本发明实施例一提供的压电驱动器的结构示意图。本实施例提供的压电驱动器可作为上述图1所示压电马达中的驱动器，可产生驱动滑动部件运动的椭圆轨迹运动，具体地，如图2A所示，本实施例压电驱动器包括压电本体1，该压电本体1沿厚度方向极化，且整个压电本体的极化方向一致，极化方向如图1所示的A方向；压电本体1的第一端主平面，即如图1所示压电本体1的前端面，设置有第一电极层21，压电本体1的第二端主平面，即如图1所示压电本体1的后端面，设置有第二电极层22 ；第一电极层21包括4个电极区域，分别为第一电极区域211、第二电极区域212、第三电极区域213和第四电极区域214，且相对的两个电极区域沿与第一端主平面的边平行的对称中心线对称设置，即第一电极区域211和第三电极区域213对称设置，第二电极区域212和第四电极区域214对称设置；第二电极层22为一体形状的电极区域，即第一第二电极层22电极为一体结构。本实施例中，如图2A所示，第一电极层21上的各电极区域可连接压电马达中驱动电路提供的输入电压，第二电极层22可作为电压地端，通过在第一电极层21和第二电极层22上施加预设驱动电压，就可以激发压电本体1整体产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，使得压电驱动器整体可在该两个第一阶弯曲振动合成下产生椭圆轨迹运动。本实施例中，压电马达上的驱动电路提供的驱动电压中，可包括四个输入电压，分别施加在第一电极层21上的各电极区域，具体地，如图2A所示，第一电极层21上的第一电极区域211、第二电极区域212、第三电极区域213和第四电极区域214分别连接有输入驱动电压+Vsin ω t、_Vcos ω t、_Vsin ω t、+Vcos ω t ；第二电极层22接地，这样，在施加在第一电极区域211和第三电极区域213上的+Vsincot和-Vsinω t作用下，压电本体1可在如图2A所示的Y方向产生第一阶弯曲振动。同样地，在施加在第二电极区域212和第四电极区域214上的-Vcoscot和+Vcoscot作用下，压电本体1可在如图2A所示的X方向产生第一阶弯曲振动，这样，压电本体1整体就会在两个相互正交的第一阶弯曲振动合成作用下，产生椭圆轨迹运动，其中所述的X方向和Y方向就是以第一电极层所在平面上的两个方向。图2B为图2A中只有第一电极区域和第三电极区域施加电压时压电本体的运动模态示意图；图2C为图2A中只有第二电极区域和第四电极区域施加电压时压电本体的运动模态示意图；图2D为本发明实施例中压电本体在摩擦头处产生的合成运动轨迹示意图。如图2A和2B所示，当交流电压Vsincot和-Vsinω t分别施加到第一电极区域211和第三电极区域213时，压电本体1沿厚度方向上与第一电极区域211对应的部分会沿X方向缩短，与第三电极区域213对应的部分会沿X方向伸长，其结果就会使压电本体1整体产生一个Y方向上弯曲；因为施加的一对电压是交变的，这就迫使压电本体1产生Y沿方向的第一阶弯曲振动；同样地，如图2A和图2C所示，当交流电压Vcos ω t和-Vcos ω t分别施加在第二电极区域212和第四电极区域214时，压电本体1沿厚度方向上与第四电极区域214对应的部分会沿Y方向缩短，与第二电极区域212对应的部分会沿Y方向伸长，其结果就会使得压电本体1整体产生一个X方向上的第一阶弯曲振动。可以看到，当交流电压士Vsincot和士 Vcos cot同时施加在第一电极层21上的各电极区域时，压电本体1就会同时在X方向和Y方向上激发两个正交的第一阶弯曲振动，它们的合成便产生了一个椭圆轨迹运动，如图2D所示。本实施例中，由于压电本体1整体的极化方向相同，为使得压电本体1上，相互对称的两个电极区域对应的部分产生弯曲振动，只需要在相互对称的电极区域施加方向相反的两个交流电压即可；同时，为使得压电本体1整个可产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，相邻的两个电极区域施加的交流电压应为正交电压。本领域技术人员可以理解，上述各输入电压的幅值，即电压V的大小，可根据需要而设定合适的值，以确保压电驱动器工作时，可驱动压电马达上的滑动部件运动；同时，为使得压电驱动器可同时激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，压电马达中的驱动电路应为压电驱动器提供两路或两对正交的驱动电压，在每路或每对驱动电压作用下压电驱动器均可产生第一阶弯曲振动，且每路或每对驱动电压下产生的两个第一阶弯曲振动正交。本实施例中，压电本体1的形状为正方形，可以是由多个压电片层叠而成，其中，压电本体1的材料可以为压电陶瓷材料或压电单晶材料，或者该压电本体1的材料可以是压电陶瓷材料或压电单晶材料；压电本体1的结构也可以是弹性金属片与压电陶瓷或压电晶体片构成的复合板结构。本实施例中，压电本体1为压电陶瓷材料制作而成的压电陶瓷板。本实施例中，如图2A所示，第一电极层21上的第一电极区域211、第二电极区域212、第三电极区域213和第四电极区域214均为梯形区域结构，且该4个电极区域的中心位置还可设置有中心电极区域215，该中心电极区域215的形状为正方形，且与其它电极区域电隔离。本领域技术人员可以理解，这部分也可为空白区域，即不具有电极的区域。实际应用中，为便于各电极区域的制作，可首先在压电本体1第一端主平面的整个表面涂覆电极层，并通过刻蚀的方式得到各电极区域；也可以通过丝网印刷电极的方法，一次制备出所有电极图案。综上可以看出，本发明实施例提供的压电驱动器，通过采用方形板结构的压电本体，并沿厚度方向极化该压电本体，压电驱动器的结构简单，制作方便，可实现压电驱动器的大规模生产；通过在压电本体端部设置多个电极区域，使得压电驱动器可在预设驱动电压驱动下激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，可有效降低压电驱动器的工作频率，降低驱动电路制作难度和功耗，且压电驱动器仅工作于第一阶弯曲振动模式，可避免工作于两种模式时存在的外界干扰而导致的压电驱动器驱动失效问题。图3为本发明实施例二提供的压电驱动器的结构示意图。与上述图2A所示实施例技术方案不同的是，如图3所示，本实施例中，压电本体1沿厚度方向上相对的2个电极区域对应部分的极化方向相反，即第一电极区域211和第三电极区域213对应部分的极化方向相反，如图3所示的方向Bl和方向B2，同样的，第二电极区域212和第四电极区域214对应部分的极化方向也相反(图中未示出)。本实施例中，对称设置的两个电极区域在压电本体上对应部分的极化方向相反，为使得压电本体1可产生第一阶弯曲振动，对称设置的两个电极区域可施加相同的输入电压，具体地，如图3所示，第一电极区域211和第三电极区域213可同时连接交流电压Vsin ω t，第二电极区域212和第四电极区域214同时连接交流电压Vcos ω t，第二电极层22仍旧接地，在施加的交流电压Vsincot作用下，压电本体1可产生如图2B所示的第一阶弯曲振动，在施加的交流电压Vcoson作用下，压电本体1可产生如图2C所示的第一阶弯曲振动，这样，在施加的两个交流电压Vsin ω t和Vcos ω t作用下，压电本体1就可同时产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，并通过两个相互正交的第一阶弯曲振动合成产生椭圆轨迹运动。本实施例中，压电马达中的驱动电路可为对称设置的两个电极区域提供相同的交流电压，且相邻的两个电极区域施加的交流电压应为正交电压，以便压电本体在两个交流电压作用下产生两个相互正交的第一阶弯曲振动。图4为本发明实施例三提供的压电驱动器的结构示意图。与上述图2A所示实施例技术方案不同的是，如图4所示，本实施例中，第一电极层21上设置的4个电极区域均为弧形，实际应用中，可在压电本体1的第一端主平面涂覆电极层，并通过刻蚀将其划分成4个电隔离的弧形区域；或直接通过丝网印刷电极的方法，一次制备出所有电极区域。本实施例中，压电本体1上可施加与如图2A所示相同的驱动电压，使得压电本体1的第一电极层21上的第一电极区域211、第二电极区域212、第三电极区域213和第四电极区域214，可在施加的驱动电压作用下，激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，并在两个相互正交的第一阶弯曲振动合成作用下，整体产生椭圆轨迹运动。图5为本发明实施例四提供的压电驱动器的结构示意图。与上述图2A所示实施例技术方案不同的是，如图5所示，本实施例中，第一电极层21上设置的4个电极区域均为矩形区域。实际应用中，可在压电本体1的第一端主平面涂覆电极层，并通过刻蚀将其划分成4个电隔离的矩形区域；或直接通过丝网印刷电极的方法，一次制备出所有电极区域。本实施例中，压电本体1上可施加与如图2A所示相同的驱动电压，使得压电本体1的第一电极层21上的第一电极区域211、第二电极区域212、第三电极区域213和第四电极区域214，可在施加的驱动电压作用下，激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，并在两个相互正交的第一阶弯曲振动合成作用下，整体产生椭圆轨迹运动。图6为本发明实施例五提供的压电驱动器的结构示意图。与上述图2A所示实施例技术方案不同的是，如图6所示，本实施例中，第一电极层21上设置的4个电极区域均为三角形区域，实际应用中，可在压电本体1的第一端主平面涂覆电极层，并通过在压电本体1的第一端主平面上通过相互交叉的两条对角线分割得到。本实施例中，压电本体1上可施加与如图2A所示相同的驱动电压，使得压电本体1的第一电极层21上的第一电极区域211、第二电极区域212、第三电极区域213和第四电极区域214，可在施加的驱动电压作用下，激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，并在两个相互正交的第一阶弯曲振动合成作用下，整体产生椭圆轨迹运动。本领域技术人员可以理解，上述第一电极层上设置的4个电极区域除了可以是矩形区域、梯形区域、弧形区域和三角形区域外，也可为其他形状，在此并不做特别限制。图7为本发明实施例六提供的压电驱动器的结构示意图。与上述图2A所示实施例技术方案不同的是，本实施例中，第二电极层与第一电极层相同，即也具有4个电极区域。具体地，如图7所示，其中a表示压电本体1的整体示意图，b表示压电本体1前后两端面的电极层即第一电极层21和第二电极层22的示意图，第一电极层21和第二电极层22具有相同的结构，即第二电极层22也具有4个电极区域，分别为第五电极区域221、第六电极区域222、第七电极区域223和第八电极区域224。本实施例中，可将第三电极区域213、第四电极区域214、第五电极区域221和第六电极区域222电连接在一起，并作为接地电极，将第一电极区域211、第七电极区域223电连接在一起，接输入电压Vsin ω t，将第二电极区域212和第八电极区域2M电连接在一起，接输入电压Vcos ω t。这样，在仅有输入电压Vsin ω t时，压电本体1可产生如图2B所示的第一阶弯曲振动，在仅有输入电压或Vcoson时，压电本体1可产生如图2C所示的第一阶弯曲振动，因此，在施加的两个输入电压Vsin ω t和或Vcos ω t作用下，压电本体1整体就可以产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，并在两个相互正交的第一阶弯曲振动合成作用下产生椭圆轨迹运动。本实施例中，第一电极层21上位于各电极区域中心位置的中心电极区域215，以及第二电极层22上位于各电极区域中心位置的第二中心电极区域225可作为电压反馈电极。图8为本发明实施例七提供的压电驱动器的结构示意图。与上述图2A所示实施例技术方案不同的是，如图8所示，本实施例中压电驱动器可包括多个层叠设置的压电本体1，而且各压电本体1之间的电极层在电路上为并联连接。这样，在相同的预设电压驱动下，每个压电本体1均可产生由两个相互正交的第一阶弯曲振动合成的椭圆轨迹运动，整个压电驱动器就可以通过该多个压电本体1产生所需要的椭圆轨迹运动。其中，图8中的c表示压电驱动器的整体结构示意图，d表示压电驱动器组装结构示意图。本实施例中，如图8所示，包括4个层叠的压电本体，各压电本体上可具有相同的电极层，具体可与上述图2A相同，并且对应形状的电极层对合设置在一起，如其中的第一压电本体10和第二压电本体20，具有4个电极区域的端面对合设置，第三电压本体30和第四电压本体40也具有相同的设置方式。本领域技术人员可以理解，本实施例中压电本体上电极层的结构还可与图3-图6相同，其形成的驱动器的驱动电压可参考上述图3-图6中单个压电本体的驱动电压，只要可使得整个驱动器产生椭圆轨迹运动即可。本实施例中，利用多层压电体结构可以获得如下效果(1)在各层压电本体的厚度不变情况下，可以提高压电驱动器的输入功率，从而获得更大的驱动力；( 在压电驱动器总厚度不变情况下，多层结构可以有效的降低压电驱动器的工作电压。上述图2A-图8提供的各压电驱动器可应用在如图1所示的压电马达中，可在压电马达中驱动电路提供的预设驱动电压下工作，产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，并在两个相互正交的第一阶弯曲振动合成下，整体产生驱动滑动部件运动的椭圆轨迹运动。最后应说明的是以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
权利要求
1.一种压电驱动器，其特征在于，包括压电本体，所述压电本体为方形板结构，所述压电本体沿厚度方向极化；所述压电本体在厚度方向上的第一端主平面设置有第一电极层，所述压电本体在厚度方向上的第二端主平面设置有第二电极层；所述第一电极层包括电隔离设置的多个电极区域，使得施加在各电极层的预设驱动电压作用下，所述压电驱动器同时激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，所述两个相互正交的第一阶弯曲振动合成产生椭圆轨迹运动。
2.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述第一电极层包括4个电极区域，相对的2个电极区域沿与所述第一端主平面的边平行的对称中心线对称设置。
3.根据权利要求2所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电本体整体具有相同的极化方向；或者，所述压电本体沿厚度方向上，相对的一对电极区域对应部分的极化方向相反。
4.根据权利要求2所述的压电驱动器，其特征在于，还包括位于所述4个电极区域的中心位置的中心电极区域，所述中心电极区域与其他4个电极区域电隔离。
5.根据权利要求2所述的压电驱动器，其特征在于，所述4个电极区域均为矩形区域；或者，所述4个电极区域均为弧形区域；或者，所述4个电极区域均为梯形区域；或者，所述.4个电极区域均为三角形区域。
6.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电驱动器包括多个层叠设置的压电本体；各压电本体之间也设置有电极层，且在电路上并联连接的。
7.根据权利要求1-6任一所述的压电驱动器，其特征在于，所述第二电极层为一体形状的电极区域；或者，所述第二电极层与第一电极层具有相同的结构。
8.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电本体的材料为压电陶瓷材料或压电单晶材料；或者，所述压电本体为弹性金属片与压电陶瓷片或压电单晶片组成的复合板。
9.一种压电马达，其特征在于，包括压电驱动器和滑动组件，所述压电驱动器为采用权利要求1-8任一所述的压电驱动器；所述滑动组件包括导轨，以及沿所述导轨滑动设置的滑动部件；所述压电驱动器上设置有摩擦头和弹性压紧部件，所述摩擦头在所述弹性压紧部件提供的压紧力作用下与所述滑动部件弹性接触；所述摩擦头固设在所述压电驱动器的压电本体上未设置电极层的侧面上。
10.根据权利要求9所述的压电马达，其特征在于，还包括驱动电路，用于为所述压电驱动器上的各电极层提供预设驱动电压。
全文摘要
本发明提供一种压电驱动器及压电马达。该压电驱动器包括压电本体，所述压电本体为方形板结构，所述压电本体沿厚度方向极化；所述压电本体在厚度方向上的第一端主平面设置有第一电极层，所述压电本体在厚度方向上的第二端主平面设置有第二电极层；所述第一电极层包括电隔离设置的多个电极区域，使得施加在各电极层的预设驱动电压作用下，所述压电驱动器同时激发产生两个相互正交的第一阶弯曲振动，所述两个相互正交的第一阶弯曲振动合成产生椭圆轨迹运动。本发明提供的压电驱动器结构简单，制作方便，可在预设驱动电压下工作于第一阶弯曲振动模式，可有效减少驱动电路功耗。
文档编号H02N2/02GK102569637SQ20121001477
公开日2012年7月11日 申请日期2012年1月17日 优先权日2012年1月17日
发明者董蜀湘, 陈治江 申请人:北京大学