技术总结
本发明公开了一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，包括：薄膜压电驱动器、静电驱动器、不可压缩流体、底座、基体、固定壁面等组成。结构的驱动部件为薄膜压电驱动器和静电驱动器。在交变驱动电压信号下，压电驱动器产生周期性驱动力，通过不可压缩流体将此驱动力传递至柔性薄膜，使柔性薄膜获得一定的驱动力；同时柔性薄膜在静电力驱动下向固定壁面贴合，实现静电驱动。以上压电和静电同时进行，通过调节压电驱动器与传递液体的接触面积大于柔性薄膜与液体的接触面积，在一定程度上放大压电薄膜驱动器的驱动力，即可获得较大的驱动力，本发明具有复合驱动结构响应速度快，驱动力高的特点。 1
技术研发人员：胡院林;王文
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2017.12.25
技术公布日：2018.06.15