专利名称：声表面波滤波器的双通道隔离线的制作方法
技术领域：
声表面波滤波器的双通道隔离线技术领域[0001]本实用新型涉及集成于压电晶体材料上的声表面波滤波器，特别涉及传输型声表面波吸声材料的涂敷工艺，具体来说是一种声表面波滤波器的两个通道间的隔离线。
背景技术：
[0002]当电压加载在具有压电特性的基片材料的电极上，会在压电体材料的晶格中形成机械形变。当加载在压电晶体材料电极上的电压为输入的电信号，会在压电晶体材料表面的晶格中形成声表面波，该声表面波是一种在压电晶体材料表面传播，振幅随深入基片材料深度的增加而迅速减少的弹性机械波。[0003]声表面波滤波器的基本结构是在压电特性的基片材料上通过半导体工艺形成交叉成对的梳状金属结构(称之为叉指换能器)，在叉指换能器上施加电信号，压电材料表面产生机械振动同时产生声表面波，这种声表面波在压电材料表面传播。两个具有基本结构的声表面波滤波器集成在同一基片上则形成双通道声表面波滤波器，其两个通道产生的声表面波相互干扰，通常采用涂敷吸声材料形成隔离线的办法来减轻干扰。现有双通道声表面波滤波器的两个通道间的吸声材料隔离线为直线状，如图I所示。吸声材料通常为半流体的油墨，在油墨凝固之前的一段时间内，会有一定程度的流动，特别是叉指之间的微小空隙会存在毛细效应，加剧油墨的流动。如果油墨流淌至叉指换能器的切指加权包络线区域内，则会吸收有用声波，使得器件的性能变差，降低器件成品率。这是声表面波滤波器生产过程中影响成品率最关键的一个因素。实用新型内容[0004]本申请人针对现有声表面波滤波器吸声材料涂敷后形成的直线状隔离线所存在的上述问题进行了研究改进，提供一种边缘成凹凸相间状的声表面波滤波器的双通道隔离线，既提高滤波器性能，又提高成品率，从而降低生产成本。[0005]本实用新型的技术方案如下[0006]一种声表面波滤波器的双通道隔离线，所述隔离线设置在集成于同一基片上的两个并行排列的两个滤波器通道之间，所述隔离线为边缘具有凹凸相间状的吸声材料。[0007]其进一步的技术方案为所述吸声材料为半流体的油墨。[0008]以及，其进一步的技术方案为[0009]所述隔离线上相邻的凸起之间的距离为O. I O. 2mm ;优选为O. 15mm。[0010]所述隔离线上的每个凸起的宽度为O. I O. 3mm ;优选为O. 2mm。[0011]所述隔离线上的每个凸起的高度为O. 05 O. Imm ;优选为O. 06mm。[0012]本实用新型的有益技术效果是[0013]本实用新型由于在油墨隔离线的边缘形成凹凸相间的锯齿状，破坏了声表面波对原有油墨边界的反射效果，抑制了波导效应，提高了声表面波滤波器的性能；另一方面，又减少了油墨的量，并且改变了部分油墨的流淌方向和距离，如图3所示，使油墨向叉指换能器内的流动得到很大程度的抑制，提高了成品率。
图1是现有技术中声表面波滤波器的双通道隔离线的示意图。图2是本实用新型的声表面波滤波器的双通道隔离线的示意图。图3是图2中隔离线的局部放大。图4是本实用新型隔离线尺寸的范围。图5是本实用新型隔离线尺寸的一个实施例。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
做进一步说明。图2示出了一个具有本实用新型的隔离线的双通道声表面波滤波器。如图2所 示，一个双通道声表面波滤波器包括集成于同一基片上的两个并行排列的滤波器通道1和 滤波器通道2，每个滤波器通道由输入端叉指换能器11/21、输出端叉指换能器12/22以及 输入端和输出端之间的屏蔽条13/23构成。在滤波器通道1和滤波器通道2之间涂敷有一 条由吸声材料(本实施例中为油墨)形成的隔离线3。如图2、图3所示，隔离线3的边缘为 凹凸相间状。如图4所示，隔离线3上相邻的两个凸起之间的距离范围为0. 1 0. 2mm ;每个凸 起的宽度范围为0. 1 0. 3mm ;每个凸起的高度范围为0. 05 0. 1mm。如图5所示，在一个实施例中，隔离线3上相邻的两个凸起之间的距离优选为 0. 15mm ;每个凸起的宽度优选为0. 2mm ;每个凸起的高度优选为0. 06_。以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型不限于以上实施例。可 以理解，本领域技术人员在不脱离本实用新型的基本构思的前提下直接导出或联想到的其 他改进和变化，均应认为包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种声表面波滤波器的双通道隔离线，所述隔离线设置在集成于同一基片上的两个并行排列的两个滤波器通道之间，其特征在于所述隔离线为边缘具有凹凸相间状的吸声材料。
2.根据权利要求I所述声表面波滤波器的双通道隔离线，其特征在于所述吸声材料为半流体的油墨。
3.根据权利要求I或2所述声表面波滤波器的双通道隔离线，其特征在于所述隔离线上相邻的凸起之间的距离为O. I O. 2mm。
4.根据权利要求3所述声表面波滤波器的双通道隔离线，其特征在于所述隔离线上相邻的凸起之间的距离为O. 15mm。
5.根据权利要求I或2所述声表面波滤波器的双通道隔离线，其特征在于所述隔离线上的每个凸起的宽度为O. I O. 3mm。
6.根据权利要求5所述声表面波滤波器的双通道隔离线，其特征在于所述隔离线上的每个凸起的宽度为O. 2mm。
7.根据权利要求I或2所述声表面波滤波器的双通道隔离线，其特征在于所述隔离线上的每个凸起的高度为O. 05 O. 1mm。
8.根据权利要求7所述声表面波滤波器的双通道隔离线，其特征在于所述隔离线上的每个凸起的高度为O. 06mm。
专利摘要本实用新型公开一种声表面波滤波器的双通道隔离线，隔离线设置在集成于同一基片上的两个并行排列的两个滤波器通道之间，隔离线为边缘具有凹凸相间状的吸声材料，吸声材料为半流体的油墨。本实用新型由于在油墨隔离线的边缘形成凹凸相间的锯齿状，破坏了声表面波对原有油墨边界的反射效果，抑制了波导效应，提高了声表面波滤波器的性能；另一方面，又减少了油墨的量，并且改变了部分油墨的流淌方向和距离，使油墨向叉指换能器内的流动得到很大程度的抑制，提高了成品率。
文档编号H03H9/25GK202818247SQ20122052107
公开日2013年3月20日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者梅从祥 申请人:无锡市好达电子有限公司