基于状态的功率和频率调节的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种用于基于状态的功率和频率调节的系统，其包括：耦合到电极的主发生器，所述主发生器包括用于将主射频信号提供给所述电极的主功率供应器，所述主发生器进一步包括第一自动频率控制单元以在脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给所述主功率供应器；耦合到所述电极的从发生器，所述从发生器包括用于将从射频信号提供给所述电极的从功率供应器，所述从发生器包括第二自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第二频率输入提供给所述从功率供应器，所述从发生器包括第三自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给所述从功率供应器，其中，在训练例程期间，所述第二频率输入和所述第三频率输入是预定的；以及数字时钟脉冲源，其用于产生所述脉冲信号并耦合到所述主发生器和从发生器。2.如权利要求1所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述从发生器包括选择器以将接收自数字信号处理器的所述第二频率输入传递给所述从功率供应器或者将接收自所述数字信号处理器的所述第三频率输入传递给所述从功率供应器。3.一种用于基于状态的功率和频率调节的系统，其包括：等离子体室，其包括具有用于支撑衬底的表面的下电极以及位于所述下电极上方的上电极，所述上电极被电气接地；耦合到所述下电极的主发生器，所述主发生器包括用于将主射频信号提供给所述下电极的主功率供应器；耦合到所述下电极的从发生器，所述从发生器包括用于将从射频信号提供给所述下电极的从功率供应器；用于产生脉冲信号的数字脉冲源，所述数字脉冲源被耦合到所述主发生器和所述从发生器，其中所述脉冲信号在两个状态之间转变，所述主发生器包括第一自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给所述主功率供应器；所述从发生器包括第二自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第二频率输入提供给所述从功率供应器；所述从发生器包括第三自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给所述从功率供应器，其中，在训练例程期间，所述第二频率输入和所述第三频率输入是预定的。4.如权利要求3所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其进一步包括耦合在所述数字脉冲源和所述第二自动频率控制单元及第三自动频率控制单元之间的选择器以在所述第二自动频率控制单元和所述第三自动频率控制单元之间进行选择以将所述第二频率输入或所述第三频率输入提供给所述从功率供应器，所述选择器被配置来基于所述脉冲信号的所述状态在所述第二自动频率控制单元和所述第三自动频率控制单元之间进行选择。5.如权利要求3所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述两个状态中的一个是导通状态而所述两个状态中的另一个是截止状态。6.如权利要求3所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主射频信号比所述从射频信号具有较低的频率。7.如权利要求3所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，其中所述从射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第三功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第四功率电平，所述第三功率电平低于所述第四功率电平。8.如权利要求7所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述第三功率电平是零或正数。9.如权利要求3所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，其中所述从射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第三功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第四功率电平，所述第三功率电平与所述第四功率电平相同。10.如权利要求9所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述第三功率电平是正数。11.如权利要求3所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，其中所述从射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第三功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第四功率电平，所述第三功率电平高于所述第四功率电平。12.如权利要求11所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述第三功率电平是零或正数。13.如权利要求3所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述数字脉冲源包括时钟振荡器或晶体管-晶体管逻辑电路。14.如权利要求3所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述第一频率输入不同于所述第二频率输入和所述第三频率输入。15.如权利要求4所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述选择器包括复用器。16.一种用于基于状态的功率和频率调节的系统，其包括：用于产生脉冲信号的数字脉冲源；主发生器，其包括：耦合到电极用于将主射频信号提供给所述电极的主功率供应器；耦合到所述数字脉冲源用于接收所述脉冲信号的主处理器，所述主处理器用于识别所述脉冲信号的两个状态中的第一状态和所述两个状态中的第二状态；耦合到所述主处理器以基于所述脉冲信号是处于所述第一状态还是所述第二状态确定是否将主功率值提供给所述主功率供应器的功率控制器；以及耦合到所述主处理器以从所述主处理器接收状态识别信息的自动频率控制单元，所述自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第一状态时提供所述主射频信号的频率；从发生器，其包括：耦合到所述电极用于将从射频信号提供给所述电极的从功率供应器；耦合到所述数字脉冲源用于接收所述脉冲信号以识别所述脉冲信号是处于所述第一状态还是所述第二状态的从处理器；耦合到所述从处理器以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第一从功率值提供给所述从功率供应器的第一功率控制器；耦合到所述从处理器以在所述脉冲信号处于所述第二状态时将第二从功率值提供给所述从功率供应器的第二功率控制器；耦合到所述从处理器以从所述从处理器接收状态识别信息的第一自动频率控制单元，所述第一自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第一状态时提供所述从射频信号的第一频率输入；以及耦合到所述从处理器以从所述从处理器接收状态识别信息的第二自动频率控制单元，所述第二自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第二状态时提供所述从射频信号的第二频率输入，其中，在训练例程期间，所述第一频率输入和所述第二频率输入是预定的。17.如权利要求16所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述从发生器包括选择器以将接收自所述从处理器的所述第一频率输入传递给所述从功率供应器或者将接收自所述从处理器的所述第二频率输入传递给所述从功率供应器。18.一种用于基于状态的功率和频率调节的系统，其包括：等离子体室，其包括具有用于支撑衬底的表面的下电极以及位于所述下电极上方的上电极，所述上电极被电气接地；用于产生脉冲信号的数字脉冲源，其中所述脉冲信号在两个状态之间转变；主发生器，其包括：耦合到所述下电极用于将主射频信号提供给所述下电极的主功率供应器；耦合到所述数字脉冲源用于接收所述脉冲信号的主处理器，所述主处理器用于识别所述脉冲信号的所述两个状态中的第一状态和所述两个状态中的第二状态；耦合到所述主处理器以基于所述脉冲信号是处于所述第一状态还是所述第二状态确定是否将主功率值提供给所述主功率供应器的功率控制器；以及耦合到所述主处理器以从所述主处理器接收状态识别信息的自动频率控制单元，所述自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第一状态时提供所述主射频信号的频率；以及从发生器，其包括：耦合到所述下电极用于将从射频信号提供给所述下电极的从功率供应器；耦合到所述数字脉冲源用于接收所述脉冲信号以识别所述脉冲信号是处于所述第一状态还是所述第二状态的从处理器；耦合到所述从处理器以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第一从功率值提供给所述从功率供应器的第一功率控制器；耦合到所述从处理器以在所述脉冲信号处于所述第二状态时将第二从功率值提供给所述从功率供应器的第二功率控制器；耦合到所述从处理器以从所述从处理器接收状态识别信息的第一自动频率控制单元，所述第一自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第一状态时提供所述从射频信号的第一频率；以及耦合到所述从处理器以从所述从处理器接收状态识别信息的第二自动频率控制单元，所述第二自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第二状态时提供所述从射频信号的第二频率，其中，在训练例程期间，所述第一频率和所述第二频率是预定的。19.如权利要求18所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述两个状态中的一个是导通状态而所述两个状态中的另一个是截止状态。20.如权利要求18所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，其中所述第一从功率值低于所述第二从功率值。21.如权利要求18所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，其中所述第一从功率值与所述第二从功率值相同。22.如权利要求18所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主射频信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，其中所述第一从功率值高于所述第二从功率值。23.如权利要求18所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主功率值在所述脉冲信号处于所述第一状态时是正功率值。24.如权利要求18所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述第一从功率值低于、等于、或者高于所述第二从功率值。25.一种用于基于状态的功率和频率调节的系统，其包括：用于产生脉冲信号的数字脉冲源；主发生器，其包括：耦合到电极用于将主射频信号提供给所述电极的主功率供应器；耦合到所述数字脉冲源用于接收所述脉冲信号的主处理器，所述主处理器用于识别所述脉冲信号的两个状态中的第一状态和所述两个状态中的第二状态；耦合到所述主处理器以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第一主功率值提供给所述主功率供应器的第一主功率控制器；耦合到所述主处理器以在所述脉冲信号处于所述第二状态时将第二主功率值提供给所述主功率供应器的第二主功率控制器；耦合到所述主处理器以从所述主处理器接收状态识别信息的第一主自动频率控制单元，所述第一主自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第一主频率输入提供给所述主功率供应器；以及耦合到所述主处理器以从所述主处理器接收状态识别信息的第二主自动频率控制单元，所述第二主自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第二状态时将第二主频率输入提供给所述主功率供应器；从发生器，其包括：耦合到所述电极用于将从射频信号提供给所述电极的从功率供应器；耦合到所述数字脉冲源用于接收所述脉冲信号以识别所述脉冲信号是处于所述第一状态还是所述第二状态的从处理器；耦合到所述从处理器以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第一从功率值提供给所述从功率供应器的第一从功率控制器；耦合到所述从处理器以在所述脉冲信号处于所述第二状态时将第二从功率值提供给所述从功率供应器的第二从功率控制器；耦合到所述从处理器以从所述从处理器接收状态识别信息的第一从自动频率控制单元，所述第一从自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第一从频率输入提供给所述从功率供应器；以及耦合到所述从处理器以从所述从处理器接收状态识别信息的第二从自动频率控制单元，所述第二从自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第二状态时将第二从频率输入提供给所述从功率供应器，其中，在训练例程期间，所述第一从频率输入和所述第二从频率输入是预定的。26.如权利要求25所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述主发生器包括选择器，所述选择器被配置来将接收自所述主处理器的所述第一主频率输入传递给所述主功率供应器或者将接收自所述主处理器的所述第二主频率输入传递给所述主功率供应器，其中所述从发生器包括选择器，所述选择器被配置来将接收自所述从处理器的所述第一从频率输入传递给所述从功率供应器或者将接收自所述从处理器的所述第二从频率输入传递给所述从功率供应器。27.一种用于基于状态的功率和频率调节的系统，其包括：等离子体室，其包括具有用于支撑衬底的表面的下电极以及位于所述下电极上方的上电极，所述上电极被电气接地；用于产生脉冲信号的数字脉冲源，其中所述脉冲信号在两个状态之间转变；主发生器，其包括：耦合到所述下电极用于将主射频信号提供给所述下电极的主功率供应器；耦合到所述数字脉冲源用于接收所述脉冲信号的主处理器，所述主处理器用于识别所述脉冲信号的所述两个状态中的第一状态和所述两个状态中的第二状态；耦合到所述主处理器以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第一主功率值提供给所述主功率供应器的第一主功率控制器；耦合到所述主处理器以在所述脉冲信号处于所述第二状态时将第二主功率值提供给所述主功率供应器的第二主功率控制器；耦合到所述主处理器以从所述主处理器接收状态识别信息的第一主自动频率控制单元，所述第一主自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第一状态时提供所述主射频信号的第一主频率；以及耦合到所述主处理器以从所述主处理器接收状态识别信息的第二主自动频率控制单元，所述第二主自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第二状态时提供所述主射频信号的第二主频率；从发生器，其包括：耦合到所述下电极用于将从射频信号提供给所述下电极的从功率供应器；耦合到所述数字脉冲源用于接收所述脉冲信号以识别所述脉冲信号是处于所述第一状态还是所述第二状态的从处理器；耦合到所述从处理器以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第一从功率值提供给所述从功率供应器的第一从功率控制器；耦合到所述从处理器以在所述脉冲信号处于所述第二状态时将第二从功率值提供给所述从功率供应器的第二从功率控制器；耦合到所述从处理器以从所述从处理器接收状态识别信息的第一从自动频率控制单元，所述第一从自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第一状态时提供所述从射频信号的第一从频率；以及耦合到所述从处理器以从所述从处理器接收状态识别信息的第二从自动频率控制单元，所述第二从自动频率控制单元被配置来在所述脉冲信号处于所述第二状态时提供所述从射频信号的第二从频率，其中，在训练例程期间，所述第一从频率和所述第二从频率是预定的。28.如权利要求27所述的用于基于状态的功率和频率调节的系统，其中所述第一主功率值等于、高于、或者低于所述第二主功率值。