技术总结
本发明描述了用于基于状态的功率和频率调节的系统和方法。系统的主发生器包括用于将主射频（RF）信号提供给电极的主功率供应器。主发生器进一步包括自动频率控制单元（AFC）以在脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给主功率供应器。该系统的从发生器包括用于将从RF信号提供给电极的从功率供应器。从发生器还包括AFC以在脉冲信号处于第一状态时将第二频率输入提供给从功率供应器。从发生器包括AFC以在脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给从功率供应器。该系统包括用于产生脉冲信号的数字脉冲源。
技术研发人员：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克
受保护的技术使用者：朗姆研究公司
文档号码：201310057220
技术研发日：2013.02.22
技术公布日：2017.04.12