1.一种层流等离子发生器阴极结构，其特征在于：包括阴极保护罩(11)、阴极连接柱(12)、阴极头(13)和进气环(14)，所述阴极保护罩(11)套在阴极连接柱(12)上，所述进气环(14)设置在阴极连接柱(12)的一端，所述阴极头(13)通过连接件固定在阴极连接柱(12)的一端，所述连接件上设置有阴极弹簧(15)，所述阴极弹簧(15)一端连接在阴极头(13)底部，另一端连接在阴极连接柱(12)上。
2.如权利要求1所述的一种层流等离子发生器阴极结构，其特征在于：所述阴极保护罩(11)与阴极连接柱(12)之间设置有气流通道(16)，所述气流通道(16)用于输送工作气体，所述进气环(14)一端套在阴极连接柱(12)上，进气环(14)一端设置有工作气体进口(141)，所述气流通道(16)与进气环(14)的工作气体进口(141)连通。
3.如权利要求2所述的一种层流等离子发生器阴极结构，其特征在于：所述进气环(14)的里另一端设置有工作气体出口(142)，所述工作气体出口(142)与电离腔(400)连通，工作气体通过进气环(14)进入电离腔(400)。
4.如权利要求1所述的一种层流等离子发生器阴极结构，其特征在于：所述阴极保护罩(11)上设置有冷却水通道，所述冷却水通道包括进水通道(111)和出水通道(112)，所述进水通道(111)靠近阴极连接柱(12)设置，所述出水通道(112)远离阴极连接柱(12)设置；所述进水通道(111)与出水通道(112)的端部相互连通，进水通道(111)连接有进水管(113)，出水通道(112)连接有出水管(114)，冷却水从进水管(113)进入到进水通道(111)内，再经出水通道(112)和出水管(114)流出。
5.如权利要求1-4任意一项所述的一种层流等离子发生器阴极结构，其特征在于：所述进气环(14)包括进气部(143)和出气部(144)，所述进气部(143)伸入阴极保护罩(11)内，并包裹在阴极连接柱(12)外侧，所述工作气体进口(141)设置在进气部(143)上。
6.如权利要求3或5所述的一种层流等离子发生器阴极结构，其特征在于：所述进气环(14)内设置有螺旋式气体通道(145)，所述气体通道(145)沿进气环(14)进气部(143)的轴向螺旋分布，所述气体通道(145)沿进气环(14)的出气部(144)的径向螺旋分布。
7.如权利要求6所述的一种层流等离子发生器阴极结构，其特征在于：所述进气环(14)出气部(144)与电离腔接触的表面上设置有一层绝缘层(146)。