技术总结
本公开内容的实施方式提供一种用于处理腔室的适配器。在一个实施方式中，所述适配器包括：中空主体，所述中空主体具有第一端部和第二端部，所述第二端部与所述第一端部相反；第一块体和第二块体，所述第一块体和所述第二块体关于所述主体的纵轴对称设置在所述中空主体内，其中所述第一块体和所述第二块体在两者之间限定中心开口；以及保持装置，所述保持装置被设置成与所述第一块体和所述第二块体接触，以约束所述第一块体和所述第二块体相对于所述中空主体的移动。所述中心开口的大小设定成使得所述第一块体和所述第二块体提供与所述灯的压密封件的直接接触。
技术研发人员：约瑟夫·M·拉内什;阿伦·米勒;欧乐·瑟热比亚夫
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201610893994
技术研发日：2016.10.13
技术公布日：2017.06.27