一种石墨等离子源的制作方法

文档序号:12646046阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨等离子源,其特征在于:包括石墨阳极环、阳极盖板、石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板、第二绝缘板、进水管、出水管、第一紧固件和第二紧固件;所述石墨阳极环与阳极盖板相连形成顶部开口的容纳空腔,石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板均设于容纳空腔内;所述石墨阴极设于冷却池的顶部;所述冷却池为空腔结构,其内底部设有极靴,极靴上置有磁钢和磁钢环,磁钢的N极和S极呈上下分布,与磁钢环的磁极分布方向相反,且磁钢置于磁钢环的中心位置;所述冷却池盖板和第一绝缘板顺次设于冷却池和阳极盖板之间;所述第二绝缘板设于阳极盖板下方;所述进水管和出水管均依次贯穿冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板,且进水管和出水管与冷却池盖板固定连接,进水管和出水管的顶端位于冷却池内,进水管和出水管的底端分别与第一紧固件和第二紧固件连接,用于实现将冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的一种石墨等离子源,其特征在于:所述阳极盖板与进水管和出水管之间设有空隙,空隙间距为2-10mm。

3.根据权利要求1所述的一种石墨等离子源,其特征在于:所述石墨阳极环与石墨阴极之间具有间隙,间隙间距为1-10mm。

4.根据权利要求1所述的一种石墨等离子源,其特征在于:所述冷却池盖板与冷却池通过螺钉连接,且冷却池底面设有第一密封圈凹槽,第一密封圈凹槽嵌入有第一密封圈。

5.根据权利要求4所述的一种石墨等离子源,其特征在于:所述冷却池盖板在远离冷却池的一面上设有第二密封圈凹槽,第二密封圈凹槽嵌入有第二密封圈;所述阳极盖板靠近第一绝缘板的一面上设有第三密封圈凹槽,第三密封圈凹槽嵌入有第三密封圈;所述阳极盖板上位于石墨阳极环外侧处设置有第四密封圈凹槽,第四密封圈凹槽嵌入有第四密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种石墨等离子源,其特征在于:所述石墨阴极靠近冷却池的表面为光滑表面,其远离冷却池的表面为通过机械加工或激光蚀刻形成的粗糙表面。

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