用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明描述了用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法。通过以逐步方式调谐阻抗匹配网络，而不是直接实现射频(RF)和组合可变电容的最佳值，使用调谐的最佳值来处理晶片变得可行。

技术研发人员：亚瑟·M·霍瓦尔德;约翰·C·小瓦尔考;安德鲁·方;大卫·霍普金
受保护的技术使用者：朗姆研究公司
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.09.12